판재의 세정설비 document_id A220623031022

종래에는 여러 분야에서 판유리가 사용되고 있다. 특히 액정 디스플레이와 플라즈마 디스플레이 등에 사용되고 있는 판유리(유리 기판이라고도 한다)는 매우 얇은 것이다. 예를 들면 두께가 0.7㎜ 정도이며 크기가 550㎜ X 650㎜ 정도의 것이 많이 생산되고 있다. 이와 같은 유리 기판의 트리밍(trimming)과 분단(分斷) 등의 가공은, 일반적으로 판유리를 수평 상태(횡방향 상태)로 하여 벨트 콘베이어(belt conveyor) 등에 의해 반송하고, 각 장치에 있어서 수평 상태에서 처리한다. 가공 후의 판유리의 세정에 대해서도 수평 상태에서 처리된다. (예를 들면 특개평11-44877호 공보 및 특허제2699911호 공보 참조). 또한 이러한 수평 상태에서 세정하는 장치 중에서도 한층 더 세정효과 향상을 목표한 초음파 세정장치를 구비한 세정설비도 제안되어 있다(예를 들면 특개평9-19667호 공보 참조). 또한 판유리를 롤러(roller) 열에 기대어 세워 놓은 자세로 반송하고, 이 기대어 세워놓은 상태에서 판유리의 각 단변(端邊)을 연마하는 장치가 제안되어 있다(예를 들면 특허 제2623476호 공보 참조). 한편 최근에는 유리 기판 등의 분야에 있어서, 생산성을 향상시키기 위하여 수율을 좋게 할 목적으로, 또한 더욱 대형의 디스플레이 등에 대응함을 목적으로 복수의 유리 기판의 원판이 되는 모재 유리(mother glass)의 사이즈를 대형화하고 싶다고 하는 요구가 나오고 있다. 모재 유리의 사이즈를 크게 하면 1장의 모재 유리에서 얻을 수 있는 유리 기판의 장수가 많아지고, 수율이 향상한다. 더욱이 대형 디스플레이용 유리 기판을 제조하는 것도 가능해진다. 아울러 유리 기판을 더욱 얇게 함으로써 디스플레이 등의 성능을 향상시키고자 하는 요구도 있고, 모재 유리가 더욱 박형화하는 경향이 있다. 게다가, 유리 기판의 품질에 대한 요구는 해를 거듭할 때마다 까다로워지고, 또한 저비용화의 요구도 있다. 그러나 상술한 바와 같은 수평 상태로 판유리를 반송하여 세정하는 기술 및 어떠한 구조부재에 기대어 세워놓은 상태로 반송하는 기술에서는 대형화, 박형화한 판유리를 가공할 경우, 그 자체 무게에 기인하는 휨 등에 의한 깨어짐, 판유리의 면을 지지하는 구조부재로부터의 반력(反力)에 의한 깨어짐 등이 발생할 우려가 있다. 물론 판유리를 세정할 경우에도 동일한 문제가 발생한다. 또한 판유리가 구조물에 접촉한 상태에서는 그 부분의 세정이 곤란하다. 더욱이 초음파 세정에 의해 얻어지는 청정도 이상의 것이 요구되도록 되고 있다.