표시장치용 기판의 제조장치 및 제조방법 document_id A220623034491

일반적으로 사용되고 있는 표시장치들 중의 하나인 CRT(Cathode Ray Tube)는 TV를 비롯해서 계측기기, 정보 단말기기 등의 모니터에 주로 이용되고 있으나, CRT의 자체 무게와 크기로 인해 전자 제품의 소형화, 경량화의 요구에 적극적으로 대응할 수 없었다. 표시장치 시장은 CRT를 대신해 평판 디스플레이(FPD: flat panel display) 위주로 급속히 변화해 왔다. 평판 디스플레이(FPD)에는 액정표시장치(LCD: Liquid Crystal Display), 가스방전을 이용한 플라즈마 표시소자(PDP : Plasma Display Panel) 및 전계 발광 효과를 이용한 EL 표시소자(ELD : Electro Luminescence Display) 등이 있다. 평판 디스플레이(FPD)는 제조 공정 중 발생하는 높은 열을 견딜 수 있도록 유리 기판을 사용하므로 경량 박형화 및 유연성을 부여하는데 한계가 있었다. 따라서, 플라스틱(plastic) 또는 메탈 포일(metal foil) 등과 같이 유연성 있는 재료를 사용하여 종이처럼 휘어져도 표시 성능을 그대로 유지할 수 있게 제조된 플렉서블(flexible) 표시장치가 차세대 표시장치로 급부상중이다. 플렉서블 표시장치에 사용되는 플렉서블 기판은 표시 소자들이 형성되는 베이스 기판으로써, 일반적으로 0.3t 이하의 두께를 가지는 플라스틱 또는 메탈 포일이 사용된다. 도 1은 종래의 플렉서블 기판의 제조방법을 개략적으로 나타내는 흐름도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 플랙서블 기판의 제조방법은 크게 점착 공정(S1), 표시소자 형성 공정(S2) 및 박리 공정(S3)으로 나뉜다. 점착 공정(S1)은 플렉서블 기판의 배면에 비가요성(non-flexible) 지지판을 점착하는 공정이다. 점착 공정(S1)은 플렉서블 기판이 공정(예를 들면, 표시소자 패턴형성) 중에 쉽게 휘거나 뒤틀리지 않고 고정되도록 한다. 표시소자 형성 공정(S2)은 플렉서블 표시장치를 구성하는 각종 패턴을 형성하는 공정을 포함한다. 예를 들어, 플렉서블 표시장치가 박막 트랜지스터 어레이를 포함하는 경우, 플렉서블 기판 상에는 표시소자 형성 공정(S2)을 통해 박막 트랜지스터 어레이가 형성된다. 박리 공정(S3)은 표시소자 형성 공정(S2) 후 플렉서블 기판으로부터 점착제에 의해 점착된 비가요성 지지판을 박리하는 공정이다. 이와 같은 종래 플렉서블 표시장치의 제조 공정에 포함된 박리 공정(S3)은 플렉서블 기판으로부터 점착제를 완전히 제거하는데 어려움이 있고, 박리하는 힘에 의해 플렉서블 기판의 휘어짐으로 플렉서블 기판에 형성된 패턴들이 손상될 수 있다. 박리 공정(S3) 중 손상된 패턴들은 표시장치의 구동 시에 구동되지 않아 표시장치의 불량을 야기하여 생산성 및 신뢰성을 저하시키는 문제가 있었다.