이온화 장치 document_id A220623036440

청정실에서의 청정화나 부유 입자의 대전 방지 등, 공기 중의 정전기 제어를 위하여 정전기를 제거(제전)하고 있는데, 이 비접촉의 제전에, 코로나 방전식의 이온화 장치가 많이 이용되고 있다. 코로나 방전식의 제전 장치는, 방전용 전극침에 고전압 전원으로부터의 직류 고전압 또는 교류 고전압을 인가하여 코로나 방전을 일으킨다. 도 23에 제전 장치의 개략도를 나타낸다. 이 도면에 나타내는 제전 장치는 코로나 방전을 일으키는 방전 전극(1)과, 교류 전원에 접속된 고압 전원부(2)와, 방전 전극(1)과 고압 전원부(2)를 접속하는 커플링 콘덴서(3)를 구비한다. 제전 장치는 교류 전원으로 고압 전원부(2)인 고압 변압기(2A)를 구동하고, 방전 전극(1)에 고전압을 인가하여 코로나 방전을 일으킨다. 코로나 방전에 의해 방전 전극(1)의 주변에 존재하는 공기는 전리되어, 플러스 또는 마이너스의 이온을 발생시킨다. 전리된 공기의 이온은 제전 장치에 설치된 팬 등으로 송풍되어서 대상물까지 반송된다. 플러스 이온이나 마이너스 이온으로 대상물의 대전 전위가 중화됨으로써, 대상물에 축적되어 있는 대전 전하는 제로에 근접하여 제전된다. 제전 장치에서 발생되어 공기 중에 흐르는 플러스, 또는 마이너스의 이온 흐름은 고전압 전원과 접지 사이의 전류로서 생각할 수 있다. 즉, 고전압 전원으로부터 접지를 향하여 흐르는 전류는 마이너스의 이온 흐름에 상당하고, 접지로부터 고전압 발생부를 향하여 흐르는 전류는 플러스의 이온 흐름에 상당한다. 이러한 이온 흐름과 전류의 상호 관계에 의해, 제전 장치로부터 발생하고 있는 플러스, 마이너스의 이온량이 같아지면, 중화되어 전류는 제로가 된다. 따라서, 제전 장치는 발생되는 플러스, 마이너스의 이온량의 밸런스(이온 밸런스)를 유지함으로써 올바르게 제전을 실행할 수 있다. 예를 들면, 종래의 이온화 장치로서 도 24～도 27에 나타내는 바와 같은 소위 바(bar) 타입의 제전기가 알려져 있다. 이들 도면에 있어서 도 24는 이온화 장치의 외관을 나타내는 사시도, 도 25는 분해 사시도, 도 26은 단면도, 도 27은 블록도를 각각 나타내고 있다. 이들 도면에 나타내는 이온화 장치는 방전 전극 바로 구성되며, 본체 케이스(10) 내의 상방 영역에, 고전압 유닛(213) 등이 배치되고, 하방 영역에 이온을 반송하는 공기를 공급하는 공기 공급 유닛(211)이 배치되어 있다. 전극 조립체(236)를 공기 공급 유닛(211)에 장착하면, 고전압 배전판(258)의 컷업 접촉편(259)과 전극침(212)의 상단면이 접촉한다. 전극침(212)과 컷업 접촉편(259)과의 접촉 부분을 포함하는 영역은, 지지 플레이트의 제1 슬리브(229) 안에 전극 조립체(236)의 소직경의 내부통 부분(240)의 선단 부분이 끼워 넣어짐으로써, 공기 공급 유닛(211)의 밀폐 공간 다시 말하면 주 공기 통로(S1) 및 원통 형상 분기 공기 통로(245)로부터 격절된 독립된 밀폐 공간(S2)이 된다. [특허 문헌 1] 일본 특허 공개 2002-216996호 공보