문맥 (context)
본 발명은 표시 기판, 이의 제조 방법 및 이를 갖는 표시 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 생산성을 향상시킬 수 있는 표시 기판, 이의 제조 방법 및 이를 갖는 표시 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 표시 장치는 전기적 신호를 입력받아 영상을 표시하는 장치로서, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display: LCD), 유기 전계 발광 표시 장치(Organic Electro-Luminescent Display: OELD) 및 전기 영동 표시 장치(Electrophoretic Display: 이하, EPD) 등이 있다.
상기한 표시 장치는 기판을 포함한다. 상기 기판에는 영상을 표시하는 최소 단위를 나타내는 복수의 화소 영역들이 정의된다. 상기 복수의 화소 영역들 각각에는 박막 트랜지스터와 화소 전극이 구비된다. 상기 박막 트랜지스터와 화소 전극은 기판상에 도전성의 막을 형성한 후 이를 패터닝하여 형성된다.
상기 기판상에는 상기 박막 트랜지스터의 상하 또는 상기 화소 전극의 상하에 여러가지 절연막들이 형성된다. 상기 여러가지 절연막들 중 일부는 패터닝된다. 따라서, 표시 장치용 기판을 제조함에 있어서 도전성의 막 및 절연막에 대한 다수의 패터닝 공정이 진행된다. 상기 패터닝시 노광 및 현상을 포함하는 포토 공정이 진행된다. 일반적으로, 포토 공정은 패터닝 대상막들 각각에 대해 별도로 진행되며, 상기 대상막들이 증가될수록 전체 공정의 절차나 비용이 증가된다.
지시문 (instruction)
주어진 원문을 읽고 필요한 정보를 파악하여, 원문에 근거해 질문에 답하라.
질문 (question)
표시 장치용 기판 제조 시 포토 공정의 절차나 비용이 증가하게 되는 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation포토 공정의 절차 및 비용 증가를 유발하는 원인(조건)을 파악한다.
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2정보 추출
information_extraction포토 공정과 비용/절차 간의 관계를 설명하는 문장을 추출한다.
- 일반적으로, 포토 공정은 패터닝 대상막들 각각에 대해 별도로 진행되며, 상기 대상막들이 증가될수록 전체 공정의 절차나 비용이 증가된다.
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3근거 선택
evidence_selection비용과 절차가 증가하는 직접적인 조건인 '대상막의 증가'를 확인한다.
- 상기 대상막들이 증가될수록 전체 공정의 절차나 비용이 증가된다.
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4논리 통합
logical_integration포토 공정이 대상막 각각에 대해 별도로 진행된다는 특성과 대상막 수의 증가를 연결한다.
- 포토 공정은 패터닝 대상막들 각각에 대해 별도로 진행되며
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5결론 도출
conclusion_formulation패터닝 대상막의 수가 늘어날수록 공정 절차와 비용이 늘어난다는 결론을 도출한다.
- 대상막들이 증가될수록 전체 공정의 절차나 비용이 증가된다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 문맥에 근거하여 명확하게 답변을 작성한다.
- 대상막들이 증가될수록 전체 공정의 절차나 비용이 증가된다.
최종 답변 (final_answer)
포토 공정은 패터닝 대상막들 각각에 대해 별도로 진행되므로, 패터닝 대상막들이 증가할수록 전체 공정의 절차나 비용이 증가한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
패터닝 대상막들이 증가할수록 각각의 포토 공정으로 인해 전체 공정의 절차나 비용이 증가한다.