유기ＥＬ패널의 제조방법 및 검사시스템 document_id A220623040647

본 발명은 유기EL패널(organic electro-luminescent panel)의 제조방법 및 검사시스템에 관한 것으로서, 더 상세하게는 대형의 유리기판(mother glass)상에 형성되는 복수 개의 유기EL패널상에 별도로 준비된 자외선발생장치로부터 특정 파장대의 자외선(ultraviolet ray)을 조사함으로써 유기EL패널의 양호 및 불량상태를 한번에 확인하려는 것에 관련된다. 유기EL패널은 저전압 구동, 높은 발광 효율, 넓은 시야각, 빠른 응답속도 등의 장점으로 인해 고화질의 동영상을 표현할 수 있는 차세대 평판디스플레이 기술 중 하나로서 현재에도 활발한 기술개발이 이루어지고 있다. 유기EL 디스플레이소자는 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 투명 전극인 애노드(anode)와 일함수(work function)가 낮은 금속(Ca, Li, Al: Li, Mg: Ag 등)을 사용한 캐소드(cathode) 사이에 유기 발광층이 있는 구조로 형성된다. 이러한 유기EL 디스플레이소자에 순방향의 전압을 인가하면 애노드와 캐소드에서 각각 정공(hole)과 전자(electron)가 주입된다. 그리고 그 주입된 정공과 전자는 결합하여 엑시톤(exciton)을 형성하고, 그 엑시톤이 방사 재결합(radiative recombination) 함으로써 전계발광 현상을 일으킨다. 그런데, 유기EL패널은 제조과정에서 셀의 불량으로 인해 제대로 발광이 되지 않는 경우가 발생하게 되는데, 이와 같은 불량을 검사하기 위하여 종래에는 다음과 같은 방법으로 검사가 이루어졌다. 도 1을 참조하면, 종래의 유기EL패널은 복수 개의 캐소드 라인(11∼17)이 일정 간격을 두고 횡렬(row)로 배열되고, 스크라이빙(scribing) 라인(40)의 외곽에서 그 한쪽 끝은 공통으로 테스트 패드에 연결된다. 각 캐소드 라인(11∼17)은 콘택부(41)에 의해 전극이 연결된다. 또한 애노드 라인(31∼36)이 캐소드 라인(11∼17)에 교차되게 종렬(column) 배열되며, 스크라이빙 라인(40)의 외곽에서 그 한쪽 끝이 공통으로 테스트 패드에 연결된다. 여기에서, 봉인 라인(42)(seal-line) 내부가 실제 유기EL패널이 형성되는 영역이고, 실제 화면이 나타나는 영역은 액티브 어레이(43) 영역이 된다. 그리고 유기EL패널은 테스트 패드들을 포함하여 제조되며 테스트가 완료된 후 스크라이빙 라인(40)의 외부 영역은 커팅(cutting)되고, 내부 영역이 제품화에 이용된다. 이와 같이 유기EL패널은 애노드 라인(31∼36)과 캐소드 라인(11∼17)이 각각 한쪽 방향에서 공통 연결되어 있다. 그러므로, 공정에서 오류로 인하여 각각의 애노드 라인(31∼36) 및 캐소드 라인(11∼17) 사이에 전기적 절연 등의 문제가 생기면, 공통으로 연결된 패드들에 전압을 인가함으로써 전체의 동작 상태를 판단하여 불량을 검출할 수 있다. 그러나 종래의 이와 같은 유기EL패널의 검사방법은 개별 단위의 유기EL패널에 대하여 검사를 수행하게 되므로, 최근의 급격하게 진보하는 기술발전에 적절하게 대처하지 못하게 됨으로써 이에 따른 많은 시간과 노력을 소요하게 된다. 예컨대, 하나의 대형 유리기판(mother glass)상에 박막트랜지스터를 형성하고, 그 박막트랜지스터상에 애노드와 캐소드 패턴 및 그 사이의 유기 발광층을 형성한 다수의 유기EL패널을 형성할 수 있는 단계에까지 이르게 됨으로써 이에 따라 더더욱 신속한 검사방법이 요구되어 지고 있다.