전극 커버 및 증착장치 document_id A220623046089

본 발명은 박막 형성 장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 증착법에 의해 성막 가능한 재료를 사용하여 증착법에 의해 성막하기 위한 기구를 구비한 증착장치에 관한 것이다. 근년, 텔레비전, 휴대 전화기, 디지털 카메라 등의 표시장치는 평면적이고 박형(薄型)의 표시장치가 요구되고 있고, 이 요구를 만족시키기 위한 표시장치로서, 자기발광형인 발광소자를 이용한 표시장치가 주목받고 있다. 자기발광형 발광소자의 하나로서, 일렉트로루미네슨스(Electro Luminescence: 전계 발광)를 이용하는 발광소자가 있고, 이 발광소자는 발광 재료를 한 쌍의 전극으로 끼우고, 전압을 인가함으로써, 발광 재료로부터의 발광을 얻을 수 있는 것이다. 이와 같은 자기발광형 발광소자는 액정 디스플레이 소자에 비하여 화소의 시인성(視認性)이 높고, 백라이트가 불필요하다는 등의 이점(利點)이 있고, 플랫 패널 디스플레이 소자로서 적합하다고 고려되고 있다. 또한, 이와 같은 발광소자는 박형 경량으로 제조할 수 있다는 것도 큰 이점이다. 또한, 응답 속도가 매우 빠른 것도 특징의 하나이다. 또한, 이와 같은 자기발광형 발광소자는 막 형상으로 형성하는 것이 가능하기 때문에, 대면적의 소자를 형성함으로써, 면 발광을 용이하게 얻을 수 있다. 이것은 백열 전구나 LED로 대표되는 점 광원, 또는 형광등으로 대표되는 선 광원에서는 얻어지기 어려운 특색이므로, 조명 등에 응용할 수 있는 면 광원으로서의 이용 가치도 높다. 일렉트로루미네슨스를 이용하는 발광소자는 발광재료가 유기 화합물인지, 무기 화합물인지에 따라 구별되고, 일반적으로 전자(前者)는 유기 EL 소자, 후자는 무기 EL 소자라고 불리고 있다. 발광재료로서 유기 화합물을 사용하는 유기 EL 소자에 있어서, 발광 재료는 고분자계(폴리머계)와 저분자계(모노머계)의 재료로 크게 구분된다. 고분자계 재료는 스핀 코팅법이나 잉크젯법 등의 습식법에 의해 성막되고, 저분자계 재료는 주로 증착법에 의해 성막되고 있다. 통상, 증착장치는 기판을 보유하는 보유부와 증착재료를 보유하는 증발원 홀더를 가진다. 저항 가열 방식의 증착장치의 경우, 증발원 홀더는 전극들 사이에 설치되고, 이 전극을 사용하여, 증착재료가 보유된 보트나 도가니, 필라멘트 등에 전류를 흘림으로써 증착재료를 가열하고 성막할 수 있다.