대면적 기판용 세정장치 document_id A220623046522

본 발명은 평판 디스플레이 등의 제조에 사용되는 대면적 기판을 세정수로 세정하는 대면적 기판용 세정장치에 관한 것이다. 평판 디스플레이의 제조에 사용되는 대면적의 글라스 기판은, 예를 들어 증착공정과 같은 공정의 진행에 따라 외부로부터 도입되는 이물이나 글라스 자체에서 발생하는 파티클과 같은 오염물질에 의해 화소 등에서 불량이 야기될 수가 있다. 따라서, 외래의 이물과 기판 자체의 파티클 등을 제거하기 위한 세정공정이 매우 중요한 공정으로 수행되고 있다. 현재 대면적 기판의 세정공정에 적용되고 있는 세정장치는, 이송 중인 기판 위에 세정액을 분사함으로써 기판 위에 부착된 오염물질이 세정액 입자와의 충돌에 의해 씻겨나가는 방식으로 이루어져 있다. 첨부도면 도 1은 종래의 대면적 기판용 세정장치에 의한 세정 모습을 개략적으로 나타내고 있다. 도 1에서 볼 수 있는 바와 같이, 기판(S)은 이송장치(1) 위에서 한쪽 방향으로 이송이 되는데, 이렇게 이송되는 기판(S)의 위쪽으로 세정액 공급배관(2)이 설치되어 있다. 그리고, 세정액 공급배관(2)은 세정액 탱크(3)와 연결됨으로써, 순수(DI water)와 같은 세정액을 공급받게 된다. 세정액 공급배관(2)의 하부에는 이송되는 기판(S)을 향하도록 노즐(4)이 설치되어 있는데, 노즐(4)은 기판(S)의 좌우 폭방향으로 일정 간격에 맞추어 여러 개가 일렬로 구비되어 있다. 특히, 각각의 노즐(4)은 기판(S)의 세정완료된 면에 대해 예각을 이루는 방향으로 세정액 공급배관(2)에 설치되어 있다. 위와 같은 구성에 따른 기판(S)의 세정은 다음과 같이 이루어진다. 즉, 이송장치(1) 위에서 한쪽 방향으로 이송되고 있는 기판(S)의 피세정면에 대해 세정액 탱크(3)로부터 세정액 공급배관(2)으로 공급된 세정액이 노즐(4)을 통해 분사된다. 그러면, 기판(S)의 피세정면에 부착된 이물이나 파티클 등의 오염물질이 세정액 입자에 부딪혀 기판(S) 이송의 반대방향으로 씻겨나가게 된다. 이때, 노즐(4)은 기판(S)의 세정완료된 면에 대해 예각을 이루고 있기 때문에, 세정완료된 면이 다시 오염되지는 않는다. 그런데, 이상과 같이 구성된 종래의 대면적 기판용 세정장치는, 기판(S)의 진행 방향을 따라서 여러 개의 노즐(4)이 구비되어야 하기 때문에 노즐(4)의 가공 및 설치를 위한 비용과 작업공수가 많이 소요되고, 이에 따라서 세정장치의 가격이 상승하는 문제가 있다. 또한, 세정액이 노즐(4)을 통해 연속적으로 분사되므로 하나의 기판(S)을 세정하는 데에 세정 효율에 비하여 많은 양의 세정액이 소요되는 문제가 있다.