기판 처리 장치 document_id A220623047397

예를 들면, 액정 표시 장치의 제조 공정에 있어서는, 유리제의 기판에 회로 패턴을 형성하는 공정이 있다. 기판에 회로 패턴을 형성하는 경우, 성막된 기판에 레지스트를 도포한 후 노광하고, 노광 후에 현상액에 의해 현상 처리한 후 에칭액으로 에칭 처리함으로써, 기판의 표면에 회로 패턴을 정밀하게 형성한다. 기판에 회로 패턴을 형성한 후, 그 기판의 표면에 부착되어 잔류되는 레지스트막이나 레지스트 잔사(殘渣) 등의 유기물을 박리액에 의해 제거한다. 박리액에 의해 유기물을 제거했으면, 그 기판의 판면(板面)을 세정액으로 세정 처리한 후 다음 공정으로 진행하도록 행해진다. 기판을 현상액, 에칭액, 박리액 및 세정액 등의 처리액으로 처리하는 경우, 상기 기판을 반송 수단에 의해 소정 방향으로 반송하면서, 이 기판의 상면에 상기 처리액을, 기판의 반송 방향과 교차하는 방향으로 직선형으로 공급하여 처리하는 것이 행해지고 있다. 하기 특허 문헌 1에는 반송되는 기판에 처리액을 공급하는 노즐체가 나타나 있다. 하기 특허 문헌 1에 나타낸 노즐체는, 하면에 복수개의 토출구가 길이 방향을 따라 소정 간격으로 형성되어 있다. 이 노즐체에는, 공급된 처리액을 체류시키는 액저장실과, 일단이 상기 토출구에 연통되고, 타단이 상기 액저장실에 연통되어 액저장실에 체류하는 처리액을 토출구에 유통시켜 토출시키는 액토출 유로를 구비하고 있다. 그리고, 상기 구성의 노즐체는, 길이 방향을 상기 기판의 반송 방향과 교차하는 방향을 따르게 하여 반송되는 상기 기판의 위쪽에 배치된다. 그에 따라 상기 토출구로부터 처리액을 유출시키면, 그 처리액을 소정 방향으로 반송되는 기판의 상면에, 반송 방향과 교차하는 방향을 따라 직선형으로 공급할 수 있도록 되어 있다. 상기 노즐체의 액저장실에는 공급관이 접속되고, 이 공급관으로부터 처리액이 액저장실에 공급된다. 처리액은 이 액저장실에 체류하면서 액토출 유로를 통하여 노즐체의 하면에 형성된 토출구로부터 유출된다. 그러나, 이와 같은 구성에 의하면, 처리액이 공급관으로부터 액저장실에 공급될 때, 처리액이 공기를 말려들게 하는 경우가 있다. 처리액이 공기를 말려들게 하면, 그 공기가 기포로 되어 기판에 공급되는 처리액과 함께 토출구로부터 유출된다. 기판에 처리액과 함께 유출된 기포는 파열되지 않고 잔류되는 경우가 있고, 그 경우에는 기판의 기포가 잔류된 부분에 처리액이 부착되지 않은 상태 또는 다른 부분에 비해 부착량이 적은 상태로 되므로, 처리액에 의한 기판의 처리에 불균일이 생기는 경우가 있다. 그래서, 기판에 처리액을 공급할 때, 그 처리액에 포함되는 기포를 제거하는 것이 행해지고 있다. 하기 특허 문헌 2에는 기판에 공급되는 처리액에 기포가 비집고 들어가지 않도록 한 처리 장치가 나타나 있다. 특허 문헌 2에 나타낸 처리 장치는 처리액 토출 노즐을 가진다. 이 처리액토출 노즐의 하우징의 상면에는 액공급관과 액배출관이 접속되고, 하면에는 토출구멍이 형성되어 있다. 상기 액공급관으로부터 상기 하우징에 형성된 액저류부에는 처리액이 공급된다. 액저류부에 공급된 처리액은 상기 토출구멍으로부터 기판의 상면을 향해 공급된다. 상기 액저류부에서 발생하고, 성장한 기포는 부력(浮力)에 의해 액저류부의 천정면에 부착된다. 천정면은 상기 액배출관을 향해 높게 경사진 경사면으로 되어 있다. 그에 따라 액저류부에서 발생, 성장한 기포는 처리액과 함께 상기 액공급관에 흐르기 때문에, 상기 토출구멍으로부터 상기 기판에 공급되는 처리액에 기포가 포함되는 것이 방지되도록 되어 있다. [특허 문헌 1] 일본국 특개 2003-170086호 공보 [특허 문헌 2] 일본국 특개평 11(1999)-156278호 공보 특허 문헌 2에 나타낸 구성은, 전술한 바와 같이 처리액에 포함되는 기포를 하우징에 형성된 액저류부의 상면에 부착시키고, 그 기포를 처리액과 함께 상기 액배출관으로부터 배출시키도록 하고 있다. 그러므로, 하우징에 액배출관을 접속하고, 이 액배출관을 통해 기포와 함께 처리액을 상기 액저류부로부터 배출시키지 않으면 않되므로, 구성의 복잡화를 초래하거나 배출된 처리액의 처리에 많은 수고나 비용이 소요되는 경우가 있었다. 본 발명은, 처리액에 말려 들어간 기포를, 처리액과 분리하여 확실하게 배출할 수 있도록 한 기판 처리 장치를 제공하는 것에 있다.