광원장치 document_id A220623047657

종래, 반도체 디바이스(IC)나 액정패널(LCD)이나 프린트 배선판(PCB) 등의 제조 공정에 있어서, 자외선을 발생하는 방전 램프를 구비한 광원장치가 노광에 사용된다. 이러한 방전 램프는 도 8에 나타내는 바와 같이, 석영밸브(5)와 양극(53)과 음극 (54)과 내부 리드봉(55)과 외부 리드봉(56)과 봉지관(封止管)(52)과 꼭지쇠 구조체(1)로 구성되어 있다. 석영밸브(5)는 공 모양의 발광관(51)과 2개의 봉지관(52)으로 이루어져 있다. 양극(53)과 음극(54)은 발광관(51) 속에 대향하여 배치되어 있다. 내부 리드봉(55)에서 양극(53)과 음극(54)을 지지하는 동시에 통전을 행한다. 봉지관(52)에서는 내부 리드봉(55)과 외부 리드봉(56)을 몰리브덴 등의 전도성 금속박(57)에 의해 접속하여 기밀(氣密)로 봉지한다. 꼭지쇠 구조체(1)는 봉지관(52)에 고정되어 있다. 종래의 꼭지쇠 구조체(1)는 도 9의 종단면도에 나타나는 바와 같이, 베이스부(11)와 꼭지쇠 돌출부(13)로 구성되어 있다. 베이스부(11)는 일단면을 원판형의 접촉면(12)으로 봉한 큰 지름의 원통형의 부분이다. 꼭지쇠 돌출부(13)는 원판형의 접촉면(12)의 중앙을 관통하여 같은 축 상으로 설치된 작은 지름의 부분이다. 큰 지름의 베이스부(11)는 봉지관(52)에 접착제(58)로 접착되어 있다. 작은 지름의 꼭지쇠 돌출부(13)에는 외부 리드봉(56)이 삽입되어 은 로우(59)로 로우 부착되어 있다. 요면(凹面) 거울(방물면(放物面) 거울)의 초점에 점광원 램프의 휘점을 맞추면 빛을 평행하게 할 수 있다. 방전 램프의 휘점 위치가 바뀌면 규정된 광학적 성능을 얻을 수 없게 되므로, 휘점은 요면(凹面) 거울의 앞면에서 항상 일정한 위치로 설정 해야 한다. 광원장치에 방전 램프를 설치할 때에는 광원장치가 평탄한 접촉면(33)을 가지는 금속제의 꼭지쇠 홀더(3)의 구멍(32)에 꼭지쇠 구조체(1)의 꼭지쇠 돌출부(13)를 삽입하여 방전 램프를 보호 지지시켜, 꼭지쇠 홀더(3)를 통해 통전하고 있다. 방전 램프마다의 휘점 위치에 불균일이 있으면, 방전 램프를 교환할 때마다, 요면 거울에 있어서의 휘점의 위치를 조정할 필요가 있다. 이것은 숙련을 요하는 번거로운 작업이다. 종래의 광원 장치에서는 다음과 같이 하여, 방전 램프를 교환하여도 휘점의 위치가 변화되지 않도록 하고 있다. 꼭지쇠 홀더(3)의 구멍(32)에 방전 램프의 꼭지쇠 구조체(1)의 꼭지쇠 돌출부(13)를 삽입하고, 꼭지쇠 구조체(1)의 원판형의 접촉면(12)을 꼭지쇠 홀더(3)에 접촉시킨다. 방전 램프의 사용에 있어서는 적정한 램프인가 아닌가를 판별하는 것이 필요하고, 광원장치에의 설치가 적정하게 행해지는가 아닌가를 확인하는 것도 필요하다. 광원장치에 적합하지 않은 방전 램프를 잘못 설치하여 점등시키면, 광원장치의 고장 원인이 되어 수명을 단축하고, 방전 램프가 파열하기도 한다. 직류 점등의 쇼트 아크형 방전 램프는 광원장치에 접속하는 극성(음극과 양극)이 정해져 있으므로, 극성을 잘못 접속하면, 음극이 현저하게 소모되고 수명이 현저하게 짧아진다. 그래서, 방전 램프의 꼭지쇠 등에 극성을 명확히 표시하고 방전 램프의 설치 방향에 대한 주의를 촉구하고 있다. 반대의 극성으로 접속할 수 없도록 음극과 양극에서 단자의 형상을 바꾸고 있다. 특허문헌 1에 개시되어 있는 것처럼, 꼭지쇠와 광원장치의 꼭지쇠 홀더와 상대되는 위치에 요철(凹凸)을 마련하고, 적합하지 않은 램프가 광원 장치에서 점등되는 것을 막는 방법이 알려져 있다. 또한, 램프의 꼭지쇠에 램프의 제조자명을 나타내는 요(凹) 또는 철(凸) 형상의 마크를 형성하고, 철(凸) 또는 요(凹)가 형성된 장치 측의 꼭지쇠 홀더에 끼워 넣는 것을 생각할 수 있다. 이들 방법에 의해, 광원장치에 램프를 설치하는 작업자가 꼭지쇠와 꼭지쇠 홀더의 요철이 끼워 맞춰지지 않음으로써, 부적합한 램프라는 것을 알아차릴 수 있다. 광원장치 이외에도 적정한 소모품을 사용하기 위한 수단이 있다. 예를 들면, 프린터 잉크가 소모됐을 때, 잉크를 보충할 필요가 있다. 소비자는 순정품 잉크를 사용하는 것이 바람직하지만, 때때로 비순정품 잉크를 사용하는 경우가 있다. 그러면, 올바른 인쇄를 할 수 없는 것 등을 포함하여, 프린터 본체에 악영향을 끼칠 우려가 있다. 그래서, 순정품 잉크가 충전되어 있는 것을 표시하기 위해, 특허문헌 2에 개시되어 있는 것처럼, 잉크 카트리지에 제조자가 특정할 수 있는 요철 형상의 마크를 설치해 두는 것이 알려져 있다. 이러한 카트리지는 일반적으로 플라스틱으로 성형되어 있기 때문에, 요철 형상의 마크를 형성하는 것은 용이하다. 003c#특허문헌l003e# 일본국 실개소 59-181576호 공보 003c#특허문헌2003e# 일본국 특개평 04-042260호 공보