유기전계발광 표시장치의 제조장치 및 그 제조방법 document_id A220623050564

정보 통신의 발달과 함께 정보를 표시할 수 있는 표시장치가 널리 사용되고 있다. 표시장치는 액정표시장치(liquid crystal display device), 유기전계발광 표시장치(organic electro-luminescence), 플라즈마 표시 패널(plasma display panel) 및 전계방출 표시장치(field emission display device)를 포함한다. 이러한 표시장치 중에서, 유기전계발광 표시장치는 액정표시장치에 구비된 백라이트 광원이 요구되지 않고 스스로 광을 발생시키는 능동형 표시장치로서, 경량 박형을 가질 수 있다. 또한, 유기전계발광 표시장치는 공정이 단순하여 가격 경쟁력이 높으며, 저전압 구동, 높은 발광효율, 넓은 시야각을 가질 수 있다. 이에 따라, 유기전계발광 표시장치는 차세대 표시장치로서 급상승하고 있다. 유기전계발광 표시장치는 제1 기판상에 다수의 제1 전극과 유기발광층이 형성되고, 유기발광층 상에 제2 전극이 형성된다. 제1 전극은 각 화소에 서로 상이한 전압이 공급되는 화소전극이며, 제2 전극은 모든 화소에 동일한 전압을 공급하는 공통전극일 수 있다. 제1 기판은 제2 기판과 실재(sealant)를 사이에 두고 합착될 수 있다. 상기 실재는 자외선(UV)에 의해 경화될 수 있다. 실재는 제1 및 제2 기판 사이의 갭을 유지하는 한편, 수분이 제1 및 제2 기판 사이의 공간으로 침투되는 것을 방지하는 역할을 한다. 일반적인 상기 제1 및 제2 기판의 합착공정은 상기 제2 기판을 흡입 플레이트(suction plate)가 제2 기판을 흡입하여 상기 제1 기판상에 안착시키고, 기계적인 힘으로 프레싱(pressing)하는 방법이 사용되고 있다. 그러나, 일반적인 유기전계발광 표시장치의 제조장치는 제1 기판 및 제2 기판을 기계적인 힘으로 프레싱하여 합착하는 공정에 있어서, 제1 및 제2 기판의 모든 영역이 고르게 합착시키기 어려움이 있었다. 즉, 기계적인 힘으로 프레싱을 하는 합착공정은 흡입 플레이트를 지지하는 주름진 구조의 다수의 벨로우즈(bellows)에 의해 영역별로 프레싱되는 정도가 다른 문제가 있었다. 또한, 일반적인 유기전계발광 표시장치의 제조장치는 기계적인 힘으로 프레싱함으로써, 제1 및 제2 기판의 가장자리에 도포된 실재가 프레싱의 정도에 따라 프레싱이 많이 되는 영역에서 프레싱 힘에 의해 유실되는 문제가 있었다. 결국, 일반적인 유기전계발광 표시장치의 제조장치는 합착공정에 있어서, 이상에서 설명한 바와 같이, 균일하지 못한 프레싱 및 이에 따른 실재의 유실등의 문제로 인해 불량률이 높은 문제가 있었다.