반송 시스템, 반송 방법 및 반송차 document_id A220623055914

반도체 디바이스 또는 액정 표시기의 제조 라인에서는 미세 가공의 고정밀도화 및 공정수의 증가에 따라 각 공정의 작업 및 공정간의 워크 교환을 무인화 및 자동화로 하고 있는 케이스가 증가하고 있다. 특히, 공정간의 워크 교환에서는 무인 반송차가 각 처리 장치와 상호 통신을 하면서 공정에 따라서 워크를 이송 적재하고 있다. 예를 들면, 반도체 디바이스의 제조 라인에서는 결정된 반송로를 차륜에 의해 자주하는 AGV(Automated Guided Vehicle)가 무인 반송차로서 사용되고 있다. 이 AGV는 그 반송로의 양측에 배치된 반도체 처리 장치에 대해서 암과 핸드를 돌출시켜 웨이퍼 카세트를 교환한다. 상술한 웨이퍼 카세트의 교환은 반도체 디바이스 제조 라인 전체를 제어하는 컨트롤 시스템의 지시에 기초해서 무인 반송차와 반도체 처리 장치 각각에 탑재된 컴퓨터에 의해 실현된다. 이 실현에 있어서는 무인 반송차와 반도체 처리 장치의 쌍방에 설치한 광데이터 통신 장치를 채용하고 있는 케이스가 많다. 또한, 반도체 디바이스의 제조 라인의 이송 적재물인 웨이퍼 등은 고가이며 깨지기 쉬운 것이기 때문에 충격을 주지 않도록 자동 반송을 안전하게 행할 필요가 있다. 이 때문에 상기 광데이터 통신 장치를 활용함으로써 이송 적재 상대를 특정하고, 상대의 상태를 타진하여 상대로부터의 회신을 확인한 후에 이송 적재 작업을 진행시킨다는 인터록 통신 시스템이 채용되고 있다. 여기에서, 종래의 인터록 통신에 의한 이송 적재 동작을 설명한다. 도 10은 무인 반송차가 웨이퍼 카세트를 반도체 처리 장치에 싣고 내리는 경우의 광신호에 의한 인터록 통신을 나타내는 타이밍 차트이다. 우선, 무인 반송차가 처리 장치 스테이션 앞에 도착하면 무인 반송차는 이송 적재 요구 신호를 온으로 함과 아울러 반도체 처리 장치로 발신한다(S81). 이것에 의해 인터록 통신이 개시된다. 이송 적재 요구 신호를 수신한 반도체 처리 장치는 웨이퍼 카세트 탑재부에 다른 웨이퍼 카세트가 이미 존재하는지의 여부의 확인을 행하고, 웨이퍼 카세트가 탑재부에 없는 경우에는 웨이퍼 카세트가 수용할 수 있는 것을 나타내는 이송 적재 허가 신호를 온으로 해서 무인 반송차에 발신한다(S82). 이 이송 적재 허가 신호를 무인 반송차가 수신한 시점에서 인터록이 성립된다. 그 후, 무인 반송차는 이송 적재 동작 신호를 온으로 하고, 여기에서 처음으로 이송 적재 동작을 개시한다. 이 이송 적재 요구 신호 송신으로부터 이송 적재 동작 개시까지의 시간(Ta)은 반도체 디바이스의 제조 라인에 있어서는 예를 들면 5초 정도이며, 무인 반송차가 동작하지 않는 대기 시간으로 되어 버린다. 이윽고, 무인 반송차의 이송 적재 동작이 완료되면 무인 반송차는 이송 적재 동작 신호를 오프로 함과 동시에 이송 적재 종료 요구 신호를 온으로 해서(S83) 반도체 처리 장치에 대해서 송신한다(S84). 이송 적재 종료 요구 신호를 수신한 반도체 처리 장치는 그 탑재부에 웨이퍼 카세트가 존재하는 것을 확인하고, 이송 적재 종료 허가 신호를 온으로 해서 무인 반송차에 대해서 송신한다(S85). 이송 적재 종료 허가 신호를 수신한 무인 반송차는 이송 적재 종료 요구 신호 및 이송 적재 요구 신호를 오프로 한다(S86). 이 때, 인터록이 해제됨과 아울러 인터록 통신이 종료된다. 이 무인 반송차가 이송 적재 종료 요구 신호를 송신하고 나서 이송 적재 종료 허가 신호를 수신할 때까지의 시간(Tc)도 Ta와 마찬가지로 예를 들면 5초 정도이며, 이 동안에 무인 반송차는 동작하지 않아 이송 적재 동작 개시전과 마찬가지로 대기 시간으로 되어 버린다. 또한, 웨이퍼 카세트를 반도체 처리 장치 스테이션으로부터 무인 반송차로 싣는 경우도 상기 동일한 순서로 행해지고, 무인 반송차의 이송 적재 동작이 개시되기 전 및 이송 적재 동작이 종료된 후에 있어서 동일한 대기 시간이 발생된다. 이 대기 시간은 프로세스 처리수가 많은 반도체 디바이스의 제조 라인에서는 처리 공정마다 발생되기 때문에 대기 시간의 발생이 제조 라인 전체적인 제조 효율을 저하시켜 제조 비용 저감에의 장해로 된다. 이것을 해결하는 수단으로서 무인 반송차가 처리 장치 스테이션 앞에 도착할 때까지 즉, 무인 반송차의 이동중에 무인 반송차가 상대 반도체 처리 장치에 이송 적재 요구 신호를 송신해서 인터록 통신을 개시한다는 광데이터 전송 시스템이 제안되고 있다(특허문헌1). 구체적으로는 무인 반송차의 이동중에 광통신을 실현시키기 위해서 무인 반송차 및 이송 적재 상대인 반도체 처리 장치의 쌍방에 설치된 각 광통신 디바이스의 투광 영역 및 수광 영역을 크게 하고, 또한 이들 영역을 크게 한 것에 의한 처리 장치간의 혼신을 피하기 위해서 자기의 ID를 설정한다는 것이다. 즉, 이 광데이터 전송 시스템은 무인 반송차가 상대 처리 장치 스테이션 앞에 도착할 때까지 다른 반도체 처리 장치와 혼신되는 일 없이 인터록 통신을 개시하고, 무인 반송차의 대기 시간을 없애거나 또는 단축시킴으로써 제조 효율을 향상시킨다는 것이다. [특허문헌1] 일본 특허공개 2000-299364호 공보