초음파 탐촉자와 초음파 진단 장치 document_id A220623059583

복수의 압전 진동자를 가진 초음파 탐촉자가 있다. 이 초음파 탐촉자의 응용예로서 적어도 한방향으로 2개 이상의 모듈을 결합하여 이루어진 초음파 탐촉자가 있다(예를 들면, 일본 공개특허공보 제2004-41730호 참조). 도 8에 복수의 모듈(90)로 이루어진 초음파 탐촉자(100)의 횡단면도를 도시한다. 초음파 탐촉자(100)는 2개의 모듈(90)을 갖는다. 모듈(90)은 배면재(91)를 갖고 있다. 배면재(91)의 상부는 두께(W90)(전형적으로는 50㎛)를 갖는 플렉시블 PC판(FPC)(93)을 통해 복수의 압전 진동자(95)가 설치되어 있다. 모듈(90)은 제 1 방향을 따라서 12개의 압전 진동자(95)를 갖고 있다. 전형적으로는 압전 진동자(95)의 제 1 방향을 따르는 폭(W91)은 250㎛이다. 또한, 다이싱에 의한 압전 진동자(95) 사이의 홈의 폭(W93)은 전형적으로는 50㎛이다. 따라서 모듈(90) 내부에서 인접하는 2개의 압전 진동자(95b)의 중심간의 거리(P90)는 300㎛이다. 모듈(90)은 실리콘 접착 등으로 제 1 방향에 결합되고, 그 접착층(96)의 두께(W96)는 전형적으로는 50㎛이다. 모듈(90)을 결합시키기 위해 결합되는 면과 면의 사이를 FPC(93)가 관통하므로, 결합되는 2개의 압전 진동자(95a)의 중심간의 거리(P91)는 400㎛가 된다. 즉, 거리(P91)는 거리(P90)에 비해 넓다. 그 결과, 사이드 로브(side lobe)가 상승된다. 이와 같은 구성의 모듈에 있어서, 불요 진동을 억제하기 위해 압전 진동자에 대해 서브 다이싱이 실시되는 경우가 있다. 여기서, 서브 다이스됨으로써 분할되어 폭(W97)을 갖는 압전 진동자(95b)의 일부분을 압전 진동자 부재(95c)라고 부르기로 한다. 서브 다이스됨으로써 생기는 홈의 폭(W98)은 전형적으로는 50㎛이다. 따라서, 압전 진동자 부재(95c)의 폭(W97)은 100㎛가 되므로, 모듈(90) 내부의 압전 진동자(95c)의 실효 폭(W99)(W99=2×W97)은 200㎛가 된다. 도 8에 도시한 바와 같이, 압전 진동자(95b)에 대해 서브 다이스되는 경우에도 기계적 강도를 확보하기 위해 모듈(90) 단부의 압전 진동자(95a)만 서브 다이스되지 않는다. 그러나, 이 경우 압전 진동자(95a)의 폭(W91)이 압전 진동자(95b)의 실행 폭(W99) 보다도 50㎛만큼 넓어진다. 따라서, 압전 진동자(95a)와 압전 진동자(95b)에 동일한 구동 전압을 인가하면, 압전 진동자(95a)로부터 발생되는 초음파의 강도는 압전 진동자(95b)로부터 발생되는 초음파의 강도 보다도 약 2dB 높아진다. 그 결과, 음압 분포가 역 웨이팅이 되어 사이드 로브가 더 상승된다.