기판 보지구, 기판 반송 장치 및 기판 처리 시스템 document_id A220623061426

액정 디스플레이(Liquid Crystal Dislay; LCD)로 대표되는 FPD의 제조 과정에 있어서는, 진공하에서 유리 기판 등의 기판에 에칭, 성막 등의 각종 처리가 실시된다. FPD의 제조에는, 기판 처리실을 복수 구비한 이른바 멀티 챔버 타입의 기판 처리 시스템이 사용되고 있다. 이러한 기판 처리 시스템은 기판을 반송하는 기판 반송 장치가 배치되어 구비된 반송실과, 이 반송실의 주위에 마련된 복수의 프로세스 챔버를 갖고 있다. 그리고, 반송실 내의 기판 반송 장치에 의해, 기판이 각 프로세스 챔버 내에 반입되거나, 또는 처리 완료된 기판이 각 프로세스 챔버로부터 반출된다. 기판의 반송에는 통상적으로 포크라 불리는 기판 보지구가 사용된다. 포크는 진출·퇴피가 가능한 반송 아암부에 장착된 공통의 기부에 복수의 지지 픽이 빗살 형상으로 형성된 구조를 갖고 있다. 최근, FPD용의 기판에 대한 대형화의 요구가 강해지고 있어, 한 변이 2m를 넘는 거대한 기판을 처리 대상으로 하는 경우도 있다. 그리고, 기판의 대형화에 대응해서 상기 포크도 대형화하고 있다. 포크가 대형화하면, 기판을 탑재하고 있지 않은 상태에서도, 그 자중에 의해 지지 픽의 기단에서부터 선단부에 걸쳐 활 형상으로 휘어짐이 생긴다. 또한, 대형 기판을 포크에 탑재한 상태에서는 추가로 기판의 하중도 더해진다. 이러한 휘어짐를 방지하기 위해서, 고강성의 세라믹스로 포크를 형성하는 것도 행해지고 있다. 그러나, 세라믹스 부품의 제조에는 소성 공정이 필요하기 때문에, 대형의 포크를 세라믹스에 의해 제조하기 위해서는 대형의 소성 화로가 필요하게 된다. 이 문제를 해결하기 위해서, 특허 문헌 1에서는 리스트부와, 리스트부와 결합한 복수의 엔드 이펙터를 구비하고, 상기 엔드 이펙터가 리스트부와 결합한 기부와, 기부와 결합한 선단부에 의해 형성되어 있는 엔드 이펙터 어셈블리가 제안되어 있다. 즉, 특허 문헌 1에서는 포크의 지지 픽을 그 절반 정도의 길이로 기부와 선단부로 분할하고, 양자를 맞붙인 구조로 함으로써, 선단부로서 이용하는 세라믹스 부품의 제조를 용이하게 하고 있다. 그런데, 포크에 있어서의 지지 픽의 재질로서, CFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastics; 탄소 섬유 강화 플라스틱)가 이용되고 있다. 경량 또한 고강성의 CFRP는 지지 픽의 재질로서 바람직한 특성을 갖고 있다. 그러나, CFRP의 결점으로서, 탄소 섬유를 굳힌 복합 재료이기 때문에, 파손한 경우의 수리·수복이 어렵다는 문제가 있었다. 또한, CFRP는 탄소 섬유가 층 구조를 하고 있기 때문에, 상처가 생기면 그 부분으로부터 탄소 섬유가 벗겨지거나, 층 구조의 섬유가 벗겨지거나 하여, 파티클 발생 원인이 되기 쉽다는 문제도 있었다. 또한, 예를 들면 CFRP제의 지지 픽을 이용하여 반송 도중에 유리 기판이 파손한 경우에는, 지지 픽에 상처가 있으면 그곳에서부터 미소한 유리 조각이 탄소 섬유 사이에 들어가서 제거가 곤란하게 되어, 새로운 파티클 발생 원인이 될 수 있다는 문제도 있었다. 이상에 거론한 문제때문에, 고가의 CFRP재료로 형성된 지지 픽은 그 일부분이라도 파손하면, 지지 픽의 전체를 교환하지 않으면 안되었다. 특허 문헌 1 : 일본 특허 공개 공보 제 2006-41496 호