스톡커 document_id A220623062725

반도체 제조 설비 (fab) 에서 공정 툴 (10) 및 로드 포트 (12) 에 전방 개방형 포드 (FOUPs: Front Opening Unified Pods) 및 표준 기계 인터페이스 (SMIF: Standard Mechanical Interface) 포드 등의 전달 컨테이너 (2) 에 많이 비용이 든다. 공정 툴 사이의 FOUPs 및 SMIF 포드를 운반하는 하나의 방법은 자동화 재료 처리 시스템 (AMHS: Automated Material Handling System) 이다. AMHS 또는 반송 시스템은 팹 (fab) 에서 평판 또는 반도체 웨이퍼의 카세트 또는 컨테이너 (이하에서 모두 컨테이너로 부름) 를 이동시킨다. 팹에서 컨테이너의 이동은 각 툴 베이 (예컨대, 도 1 의 베이 (B1, B2))(인트라베이 AMHS-일반적으로 베이 안에서 컨테이너를 이동시키고 툴의 위치로 컨테이너를 운반하는 반송 시스템을 포함함) 내에서 및 툴 베이 (인터베이 AMHS-일반적으로 공정 툴의 베이를 연결하는 주 통로를 따라 컨테이너를 이동시키는 반송 시스템을 포함함) 사이에서 있을 수 있다. 팹은 종종 컨테이너를 저장하기 위한 스톡커를 포함한다. 공정 툴에서 가능한 많은 공정 툴로 컨테이너를 직접 반송함으로써 AMHS 반송의 지체를 감소시키는 것이 바람직하다. AMHS 의 일부에서 불충분한 작업량 처리 능력은, 부적절한 구성 요소가 다른 부분에 연속적으로 연결되어 있기 때문에 AMHS 의 다른 부분이 포텐셜 이하의 작업량을 갖도록 할 수 있다. 공정 단계가 완료된 후에 컨테이너는 종종 스톡커로 운반된 후에 제거되어 툴이 준비될 때 다른 툴로 운반된다. 종래의 스톡커의 한정된 작업량은 스톡커로부터 컨테이너를 운반하고 제거하는 시스템의 전체 작업량 처리 능력을 제한한다. 따라서, AMHS 의 전체 작업 처리량 능력은 스톡커 작업량으로 제한된다. 예를 들어, 특정 스톡커에 대한 피크 인터베이 반송 작업량은 시간당 700 컨테이너 또는 AMHS 이동일 수 있다. 이 스톡커가 양방향 반송을 위해 두 개의 재료 처리 시스템에 의해 접근되면, 포텐셜 피크 인터베이는 특정 스톡커가 이론적으로 얻어질 수 있도록 1400 CMPH (container moves per hour) 의 속도로 이동한다. 이 스톡커가 인트라베이 AMHS 또는 700 CMPH 피크 능력을 갖는 다른 반송 시스템을 갖는 다른 공정 툴에 더 연결된다면, 스톡커에 대한 피크 이동률은 2100 CMPH 까지 도달할 수 있다. 종래의 스톡커는 스톡커의 피크 작업량을 180 CMPH 까지 제한하면서 평균 매 20 초당 1 개의 컨테이너를 이동시킬 수 있고, 이는 팹에 의해 요구될 수 있는 것보다 한참 이하이다. 베이의 작업량만을 고려하고, 스톡커가 베이로 이동하는 컨테이너만을 처리하더라도, 요구되는 피크는 1400 CMPH (인터베이로부터 700 CPMH, 인트라베이로부터 700 CPMH) 일 수 있다. 이 상황은 스톡커에 의해 엄격하게 제한될 인트라베이의 포텐셜 작업량을 높게 할 수 있다. 종래의 AMHS 또는 반송 시스템의 한 유형은 오버헤드 반송 (OHT) 시스템이다. OHT 시스템에 있어서, OHT 차량은 제작 설비 층으로부터 약 900 mm 높이에서 로드 포트의 동적 플레이트로 FOUPs 를 낮춘다. OHT 시스템은 FOUPs 를 이들 로드 포트까지 반송하기 위해서 케이블 호이스트 차량 및 정교한 천장이 장착된 트랙을 이용한다. 수평 이동, 케이블 호이스트 연장, 및 단방향 작동의 조합은 공정 툴 사이에서 FOUPs 를 신속하게 반송하기 위해서 조화를 이루어야만 한다. OHT 내의 최적 효율을 위해서, OHT 차량은 공정 툴이 부하되거나 부하되지 않을 필요가 있을 때 즉시 이용가능해야만 한다. 이는 언제가 가능한 것은 아니다. 팹 (예컨대, 자동 안내화 차량 (AGV: Automated Guided Vehicle) 시스템, 레일 안내화 차량 (RGV: Rail Guided Vehicle) 시스템, 오버헤드 셔틀 (OHS: Overhead Shuttle) 시스템) 에서 컨테이너를 이동시키기 위해 차량을 이용하는 반송 시스템 또는 다른 비 컨베이어 AMHS 는 운송하는 적재 차량뿐만 아니라 빈 차량의 이용가능성 및 이동을 관리하기 위한 AMHS 스케쥴링 시스템을 필요로 한다. 무거운 짐이 실린 스케쥴링 시스템은 종종 컨테이너 픽업의 지연을 야기하는데, 왜냐하면 비어있는 차량은 픽업 위치로 보내지고 비생산적인 빈 차량의 이동으로 인해 운송이 혼잡해지기 때문이다. 유사한 지연이 OHT 차량으로 발생한다. 예를 들어, OHT 차량은 컨테이너 픽업 또는 적하 단계를 완료하는데 15 초가 소요되고, 이 픽업/적하 시간 동안에, 컨테이너 반송은 AMHS 의 위치에서 차단된다. 많은 경우에 이들 인자는 결합하여 예컨대, 100 ~ 200 의 CMPH 까지 차량에 기초한 인트라베이 AMHS 를 제한한다. 이는 종래의 스톡커 능력과 큰 불일치를 나타낸다. 그러나, 많은 공구 베이는 종래의 스톡커/OHT 구조를 충족시킬 수 없는 훨씬 많은 작업량을 필요로 한다. 따라서, 팹에서 개선된 고 작업 처리량 스톡커 또는 컨테이너 저장 시스템이 필요하다. 본 발명은 이러한 스톡커 및 시스템을 제공한다.