유리시트를 측정하기 위한 장치 및 방법 document_id A220623063338

액정표시장치(LCD)는 청결한 무(無)-결점 표면을 갖는 박막의 편평한 유리판을 포함하는 평판표시장치이다. 적어도 몇개의 박막 유리판이 표시장치의 엔벨로프(envelope)를 형성하기 위해 함께 밀봉된다. 표시장치가 어셈블링될 때 유리층간 적절한 레지스트레이션(registration)이 유지되도록 이들 표시장치를 구성하는 유리시트는 표면형태를 드러내지 않는(무(無)-평면변형) 것이 보다 바람직하다. 좀더 간단하게는, 유리시트가 편평해지는 것이 보다 바람직하다. 무-평면변형(평탄성)은 통상 뒤틀림과 관련된다. 평판표시장치 적용을 위한 예정된 유리시트에서의 뒤틀림 제거에 대한 도전은 현재 진행중이다. 그 노력의 결과에 따른 필수적인 도구는 뒤틀림을 정확하게 측정하기 위한 능력이 있어야 한다는 것이다. 복잡하게 변화되는 뒤틀림을 측정하기 위한 기존의 다수의 방법이 존재한다. 그러나, 극히 소수가 아주 큰 깨지기 쉬운 탄성재료의 박막시트의 측정을 실시하고 있을 뿐이다. 효과적인 뒤틀림 측정의 향상을 위해 고려해야 할 한가지는 유리시트가 측정을 위해 제공되는 방식에 있다. 즉, 유리시트가 측정 과정동안 어떻게 지지(제공)되느냐이다. 표시장치에 사용된 유리시트가 밀리미터 이하로 매우 얇기 때문에, 그 유리시트와의 접촉은 측정에 영향을 미치는 각각의 뒤틀림의 소스를 전달하려는 경향이 있다. 이것은 매우 큰 표시 유리시트에 대한 요구가 증가되는 것에 의해 더 악화된다. 현재, 크기가 몇제곱미터를 초과하는 유리시트가 제조되고 있으며, 그와 같이 큰 박막시트의 뒤틀림이 측정되어야만 한다. 이상적으로, 큰 유리시트가 무-접촉 및 무-중력 환경에서 제공될 것이다. 이는 특히 현재의 제조환경에서 달성하기 어렵기 때문에, 현재의 방법은 추가적인 시트의 뒤틀림을 최소화시키는 것이 보다 바람직하다. 기존의 오프-라인 유리시트 뒤틀림 측정방법은 매끄러우면서 편평하게 연마된 대리석 테이블 상부와 같은 편평한 베이스의 상부에 유리시트를 놓는 단계를 포함하고 있다. 그러나, 그와 같은 편평한 베이스 상면은 무(無)-미립자를 유지하기가 어렵다. 먼지나 미립자의 존재는 뒤틀림 측정이 아주 작은 마이크로미터(미크론) 내의 정확성을 갖기를 기대하는 유리시트의 잘못된 측정을 야기할 수 있다. 따라서, 그 표면이 유리시트와 접촉되는 것을 최소화하고, 오염물질의 잠재성을 없애거나 최소화시키며, 변경되는 측정 요구에 대응하도록 충분한 유연성을 제공하는 유리시트를 제공(지지)하기 위한 장치를 찾는 것이 효과적일 것이다.