경사 전송 조명 검사시스템 및 유리시트 검사방법 document_id A220623064997

유리시트 제조자들은 항상 유리시트(예컨대, 액정표시장치(LCD)용 유리기판) 상의 또는 내의 결함(예컨대, 긁힘, 얼룩, 내부 함유 미립자)을 확인하기 위해 사용될 수 있는 새로우면서 향상된 검사시스템을 설계하려 시도하고 있다. 오늘날 현재 사용되고 있는 타입의 검사시스템은 유리시트 상의 또는 내의 결함을 검출하고, 특성화하여, 분류하기 위해 명시야 조명기술(bright field illumination technique)에 의존하고 있다. 이러한 타입의 검사시스템은 이하 도 1(종래기술)을 참조하여 기술한다. 도 1(종래기술)은 유리시트(102)를 검사하여 유리시트(102) 상의 또는 내의 결함(104; 하나만 도시)을 확인하기 위해 현재 사용되는 기존의 명시야 조명 검사시스템을 나타낸다. 상기 검사시스템(100)은 광원(106; 광선로 광원) 및 CCD 카메라(108)를 포함한다. 광원(106) 및 CCD 카메라(108)는 유리시트(102)의 대향측에 위치되고, 광원(106)은 CCD 카메라(108)의 광축(110) 상에 위치된다. 동작시에, 광원(106)은 유리시트(102)의 일부를 통과하는 광선(112)을 방출한다. 도시한 바와 같이, CCD 카메라(108) 및 특히 카메라 렌즈(109)는 투명한 결함을 편향되지 않고 통과하는 직사광(112)을 수신한다. 또한, CCD 카메라(108)/카메라 렌즈(109)는 투명한 결함(104)에 의해 회절되는 광 112a (D+) 및 112a (D-)를 수신한다. 카메라 렌즈(109)는 CCD 카메라(108)의 이미지 평면 상에 광 112a (D+) 및 112a (D-)를 포커스한다. 그러면, CCD 카메라(108)는 결함(104)을 검출하고, 특성화하여, 분류하기 위해 사용되는 이미지를 생성한다. 이러한 조명 타입이 콤팩트한 디자인을 제공하고 산업표준의 조명기술에 채용될 지라도, 실리카(silica), 긁힘, 및 얼룩과 같은 소정의 투명한 유리 결함의 이미지 대비(contrast)는 비교적 약하다(도 5 참조). 상기의 약한 이미지 대비는 투명한 결함(104)의 특성화 및 분류화를 방해하여, 검사공정의 질에 나쁜 영향을 미친다. 이러한 약한 이미지 대비는 주로 투명한 결함(104)을 편향되지 않고 통과하는 광(112)과 투명한 결함(104)에 의해 회절되는 광 112a (D+) 및 112a (D-)간 간섭에 의해 야기된다. 이러한 구성에 있어서, 광 112a (D+) 및 112a (D-)은 이미지의 투명한 결함(104)의 이미지 대비를 본질적으로 제거하기 위해 비편향 광(112)과 간섭하는 양의 회절 차수 D+ 및 음의 회절 차수 D-를 각각 갖는다. 상기 2개의 문제가 있는 회절 차수 D+ 및 D-는 명시야 조명기술에서의 대칭(즉, 광원(106)이 CCD 카메라(108)의 광축(110) 상에 위치된)으로 인해 제공된다. 그 결과의 약한 이미지 대비 및 명시야 조명 검사시스템과 관련된 또 다른 문제는 본 발명에 의해 처리된다.