냉각순환통로를 구비한 기판반송용 로봇의 구동장치 document_id A220623065290

반도체 웨이퍼나 액정기판 등의 피처리체를 각각의 처리실로 반송하기 위해 처리실과 연장설치되는 반송실에서 반송로봇이 사용되고 있다. 반도체 웨이퍼나 액정기판 등의 피처리체는 미세입자(즉, 파티클-particle)을 꺼려하여 정교한 처리를 필요로 한다. 이 때문에 반송로봇은 진공환경하에서 사용된다. 또 진공환경하에서 파티클이 발생하는 일이 없도록 반송로봇의 메인테넌스(maintenance)가 실행된다. 종래의 반송로봇에 사용되는 구동장치로서는 반송실의 격벽에 베어링 하우징을 배설하고, 베어링 하우징에 2개의 베어링을 통해 회전입력축을 회전이 자유롭게 배설하며, 회전입력축은 2개의 베어링 사이에 배설된 자성유체 밀봉체에 의해 기밀하게 밀봉되며, 이들에 의해 밀실유닛을 구성하고 있다. 또한, 회전입력축의 하단에는 감속기를 통해 구동모터를 연결하고 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 또 반송로봇의 기타 구동장치로서는 모터 스테이터와, 모터 로터의 사이를 금속격벽에 의해 밀봉기능을 구비한 진공구동장치가 일반적으로 널리 사용되고 있다(예컨대, 특허문헌 2 참조). 그러나, 특허문헌 1과 같은 종래의 진공환경하에서 사용하는 구동장치에서는 진공상태의 기밀성능을 확보하기 위해서는 자성유체 밀봉체를 복수개 직렬로 배치할 필요가 있기 때문에 구조가 복잡하여 대형화되고, 또한 고가가 된다. 또 자성유체 밀봉체는 특수한 유체를 사용하기 위해 최종 사용자에서의 메인테넌스는 불가능하고, 진공 중에 자성유체의 미스트(mist)가 상시 방출되기 때문에 반송실이 오염된다는 문제가 있었다. 또 특허문헌 2와 같은 모터 스테이터와 모터 로터와의 사이를 금속격벽에 의해 밀봉기능을 구비한 진공구동장치에서는 기밀성능은 좋으나, 외부 부하가 작용하는 출력회동부재를 회전지지하기 위한 베어링을 진공 중에 배치하지 않을 수 없다. 이 때문에 고가인 진공용 베어링이 필요해지며, 진공에 노출되는 면적이 커져서 진공을 끌기 위한 런닝 코스트가 높아져서 구동장치가 고가가 되어 있었다. 게다가 또 출력이 큰 토오크 전달을 필요로 하는 경우는 다이렉트 드라이브 모터 자체가 감속기와 비교해서 대형화하는 문제가 있었다. 이와 같은 특허문헌 1 또는 2에 개시된 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 특허문허 3에는 반도체 웨이퍼나 액정기판 등의 피처리체를 진공환경하에서 제조하는 제조장치의 구동부로서 사용하는 것이 가능하며, 소형으로 또한 염가로 메인테넌스성이 뛰어난 진공용 기어장치를 제공하는 것이 개시되어 있다. 특허문헌 3의 진공용 기어장치에 의하면, 진공환경하에서 사용하는 진공용 기어장치의 고정부재와 출력부재와의 사이에 접촉식 진공 밀봉체(vacuum seal)를 배설한 것을 특징으로 한다. 이와 같은 구성으로 함으로써 진공환경하에서 사용하는 구동장치를 소형으로 하는 것이 가능하다. 또 진공밀봉체는 진공용 기어장치의 고정부재와 출력부재의 중심에 따라서 배치할 수 있기 때문에 종래의 밀봉체유닛과 감속기와의 중심만들기 작업이 불필요해져서 메인테넌스성이 향상된다. 특허문헌 1: 일본국 특개 평6-285780호 공보 특허문헌 2: 일본국 특허등록 제2761438호 공보 특허문헌 3: 일본국 특개 2004-84920호 공보