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박막트랜지스터 기판, 이의 제조 방법 및 이를 갖는액정표시패널 document_id A220623070741

분류
전기전자
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문맥 (context)
평판 표시 장치는 얇고 가벼우며 소비전력이 낮기 때문에 표시장치로서 소비시장이 확대되고 있다. 다양한 형태의 평판 표시 장치 중 액정표시장치는 컬러 표현 능력 및 표시 품질에 있어 다른 표시장치에 비해 그 우수하다. 이 때문에 노트북, 데스크 탑 모니터, TV 에 이르기 까지 액정표시장치의 영역이 확대되고 있다. 상기 액정표시장치는 통상적으로 컬러필터 및 공통전극이 형성되어 있는 제 1 기판, 스위칭 소자 및 화소 전극이 형성되어 있는 제 2기판 및 그 사이에 액정층을 포함한다. 상기 제 1 기판은 녹색, 빨강색, 파란색 등으로 이루어진 컬러필터를 포함한다. 상기 컬러필터는 표시화소 마다 서로 다른 색깔로 교호적으로 또는 반복적으로 배치된다. 상기 제 1 기판 상에는 상기 표시화소 경계 상에 발생하는 빛샘을 방지하기 위해 블랙매트릭스가 형성된다. 상기 공통전극은 상기 컬러필터 및 상기 블랙매트릭스가 형성되어 있는 제 1 기판 상에 형성되며, 공통전압을 인가 받아 상기 화소 전극과 함께 전계를 형성한다. 상기 제 2 기판은 다수개의 박막트랜지스터, 게이트 라인, 게이트 전극, 게이트 패드, 데이터 라인, 데이터 전극, 데이터 패드, 그리고 화소 전극 등을 포함한다. 다수개의 게이트 라인들은 다수개의 데이터 라인과 교차하며, 상기 교차한 영역에 근사한 위치에 박막트랜지스터가 형성된다. 상기 박막트랜지스터는 게이트 전극, 반도체 층, 소스-드레인 전극을 포함한다. 상기 게이트 전극은 상기 게이트 라인으로부터 연장되어 형성된다. 상기 소스 전극은 데이터 라인으로부터 연장되어 형성된다. 상기 드레인 전극은 상기 소스 전극과 마주보며 형성된다. 상기 화소 전극은 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되며, 상기 데이터 라인을 통해 인가되는 데이터 신호를 드레인 전극으로부터 인가 받는다. 상기 화소 전극은 투명한 물질로 높은 투과율을 갖는 물질 예를 들면, 인듐-틴-옥사이드 (ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함한다. 광의 투과율은 상기 공통전극 및 상기 화소 전극을 통해 인가되는 전압을 통해 발생하는 전계에 의해 상기 액정층의 배열이 변함으로써 변화된다. 이를 통해 상기 액정표시 장치에서 화상을 표시하게 된다. 상기 액정 표시장치를 제조하는 공정에 있어서, 제 1 기판과 제 2 기판을 별도의 공정으로 형성한 후 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판을 실런트로 합착한다. 상기 합착 공정 시에 상기 제 1 기판 및 제 2 기판은 프리 베이크 공정, 노광공정, 포스트 베이크 공정 등에서 다수의 열처리 공정에 노출된다. 상기 열처리 공정에 노출된 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판은 소정의 변형을 수반하며, 상기 변형은 상기 제 1 기판 및 제 2 기판의 합착 공정 시에 정렬 오차를 발생시킨다. 상기 정렬 오차가 발생할 경우 각 구성요소가 정확히 정렬되지 않음으로써 빛샘이 발생할 우려가 있고, 상기 빛샘은 원하는 색상을 구현하는데 방해요소가 되어 액정표시장치의 표시품질을 저하시키는 원인이 된다. 따라서, 상기 정렬 오차를 고려하여 블랙매트릭스의 영역을 설정하게 되고, 이는 개구율의 감소를 초래하게 된다. 상기 정렬 오차 문제를 해결하기 위해 상기 컬러필터 및 상기 블랙매트릭스를 박막트랜지스터가 형성되어 있는 제 2 기판에 형성할 수 있다. 그러나, 이러한 경우에도 여전히 상기 게이트 라인과 상기 데이터라인이 전기적으로 쇼트 될 가능성이 존재하고, 상기 게이트 라인과 상기 데이터 라인이 중첩하는 영역에서는 기생용량이 증가한다. 상기 기생용량은 크로스토크 현상의 원인이 된다.
지시문 (instruction)
주어진 원문을 읽고 필요한 정보를 파악하여, 원문에 근거해 질문에 답하라.
질문 (question)
액정표시장치의 제조 공정 중 열처리 공정에 노출된 제 1 기판 및 제 2 기판에서 발생하는 정렬 오차 문제를 해결하기 위해 제안된 방법은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    열처리 공정으로 인한 정렬 오차 문제를 해결하기 위한 기술적 대안을 찾는 것이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    열처리 공정으로 인해 기판이 변형되어 정렬 오차가 발생하며, 이로 인해 빛샘 및 표시품질 저하가 발생함을 확인한다.

    • 상기 열처리 공정에 노출된 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판은 소정의 변형을 수반하며, 상기 변형은 상기 제 1 기판 및 제 2 기판의 합착 공정 시에 정렬 오차를 발생시킨다.
  3. 3근거 선택evidence_selection

    정렬 오차 문제를 해결하기 위해 언급된 구체적인 방법론을 추출한다.

    • 상기 정렬 오차 문제를 해결하기 위해 상기 컬러필터 및 상기 블랙매트릭스를 박막트랜지스터가 형성되어 있는 제 2 기판에 형성할 수 있다.
  4. 4논리 통합logical_integration

    기존의 제 1 기판에 형성하던 구성요소를 제 2 기판으로 옮기는 것이 해결책임을 파악한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    컬러필터와 블랙매트릭스를 제 2 기판에 형성하는 방법이 정렬 오차 해결책임을 도출한다.

    • 상기 정렬 오차 문제를 해결하기 위해 상기 컬러필터 및 상기 블랙매트릭스를 박막트랜지스터가 형성되어 있는 제 2 기판에 형성할 수 있다.
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 명확한 방법론을 기술한다.

    • 상기 컬러필터 및 상기 블랙매트릭스를 박막트랜지스터가 형성되어 있는 제 2 기판에 형성할 수 있다.
최종 답변 (final_answer)
상기 정렬 오차 문제를 해결하기 위해 컬러필터 및 블랙매트릭스를 박막트랜지스터가 형성되어 있는 제 2 기판에 형성할 수 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
액정표시장치의 제조 공정 중 열처리 공정에 노출된 제 1 기판 및 제 2 기판에서 발생하는 정렬 오차 문제를 해결하기 위해 상기 컬러필터 및 상기 블랙매트릭스를 박막트랜지스터가 형성되어 있는 제 2 기판에 형성할 수 있다.