액정 표시 장치 및 전자기기 document_id A220623072052

최근, 절연 표면을 갖는 기판 위에 반도체 박막을 형성하고, 상기 반도체 박막을 사용하여 반도체 장치를 제작하는 기술이 널리 연구되고 있다. 상술한 반도체 박막을 사용한 반도체 장치는 여러가지 분야에 사용할 수 있지만, 그 중에서도, 화상 표시 장치의 스위칭 소자로서 사용되는 경우가 많다. 상기 화상 표시 장치의 스위칭 소자로서는 비정질 반도체나 다결정 반도체가 사용된다. 비정질 반도체를 사용하는 경우에는 결정화 등에 필요하게 되는 공정을 배제하여 공정수를 최소한으로 억제할 수 있기 때문에, 스위칭 소자를 저가로 제조할 수 있다고 하는 메리트가 있다. 또한, 다결정 반도체를 사용하는 경우에는 고성능인 스위칭 소자를 제작할 수 있다고 하는 메리트가 있다. 스위칭 소자를 사용하는 화상 표시 장치의 예로서는 액정 표시 장치나 일렉트로루미네선스 표시 장치 등을 들 수 있다. 액정 표시 장치는 화소 전극과 대향 전극의 사이에 전위차를 줌으로써, 액정 분자의 배향을 변화시켜 표시를 하는 것이다. 또, 표시에 필요한 전위차를 일정한 시간 유지하기 위해서, 일반적으로 화소에는 유지 용량이 형성된다. 일렉트로루미네선스 표시 장치는 전극간에 형성된 발광재료에 전하를 공급하여, 캐리어의 발광 재결합을 유도함으로써 표시를 하는 것이다. 액정 표시 장치에 있어서, 화소의 개구율은 표시 품질을 결정하는 중요한 파라미터의 하나이다. 개구율이 향상됨으로써 휘도가 향상되고, 고 콘트라스트의 표시가 가능해진다. 또한, 개구율이 향상됨으로써 백 라이트의 출력을 저감하는 것이 가능하다. 개구율을 향상시키는 방법으로서는 예를 들면, 차광막을 사용하여 유지 용량을 형성하는 방법이 있다(예를 들면, 특허문헌1 참조). 그런데, 반도체 재료로서는 비정질 반도체나 다결정 반도체 이외에도 미결정 반도체(microcrystalline semiconductor)가 존재한다. 예를 들면, 미결정 실리콘은 비정질 실리콘과 함께, 옛부터 알려져 있는 재료이다. 미결정 실리콘을 사용한 전계효과형 트랜지스터에 관해서는 1980년대로 거슬러 갈 수 있다(예를 들면 특허문헌 2 참조). 하지만, 오늘날에 이를 때까지 미결정 실리콘을 이용한 트랜지스터는 비정질 실리콘을 이용한 트랜지스터와 다결정 실리콘을 이용한 트랜지스터에 묻혀 실용화가 늦어지고, 학회 등에서 보고가 간혹 보이는 것에 머물렀다(예를 들면, 비특허문헌 1 참조). [특허문헌 1] 일본 공개특허공보 제(평)10-170961호 [특허문헌 2] 미국특허 제5,591,987호 [비특허문헌 1] 도시아키 아라이(Toshiaki Arai) 외, 에스아이디 07 다이제스트(SID 07 DIGEST), 2007, p.1370-1373