문맥 (context)
일반적으로 반도체나 평판디스플레이 패널을 제조하기 위하여는 웨이퍼 또는 유리 등의 기판에 다양한 처리를 하게 된다. 이 때, 상기 기판에 소정의 처리를 위하여 각 스테이지로 이송하거나 또는 이송하면서 공정을 수행하게 되는데, 이를 위해 기판 이송장치가 요구된다.
통상적으로 기판 이송장치는 기판을 수평상태로 이송하게 되는데, 이 경우, 기판의 폭만큼의 공간이 필요하므로 기판이 대형화되면서 설치면적 및 설치비가 증가되는 문제점이 있었다.
따라서 종래에도 기판을 수직 또는 수직으로부터 소정각도 기울어지게 기립시킨 상태에서 이송하는 방식이 개시되었는바, 도 1 및 도 2를 참조하여 종래 기립상태의 기판 이송장치(1)를 설명한다.
도시된 바와 같이, 상면에 프레임(20)이 고정설치된 컨베이어밸트(10)와, 상기 컨베이어밸트(10)를 구동하는 구동부(11)와, 기판(S)을 기립상태로 지지하는 지지부(30)로 구성된다.
특히, 상하방향의 충격으로부터 기판(S)을 보호하기 위하여 완충수단이 구비되는 바, 상기 완충수단은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 지지부(30)의 하부에 구비되는 제1자석(31)과, 상기 프레임(20)의 하부에 구비되며 상기 제1자석(31)과 같은 극성을 갖는 제2자석(21)으로 구성된다. 따라서 상기 제1자석(31)과 제2자석(21)의 척력에 의해 상기 지지부(30)를 부상시키고, 이로 인해 상기 지지부(30)는 상하방향으로 움직임이 가능하다. 따라서 외부환경으로부터 지지부(30)에 전달되는 상하방향의 충격을 완화시키 기판(S)을 보호할 수 있는 것이다.
그러나 외부환경으로부터 기판에 전달되는 충격은 상하방향만 있는 것이 아니라 좌우방향 또는 전후방향 등 다양한 방향의 충격이 있을 수 있으며, 따라서 종래의 완충수단으로는 기판을 효과적으로 보호할 수 없는 문제점이 있다.
지시문 (instruction)
주어진 원문을 읽고 필요한 정보를 파악하여, 원문에 근거해 질문에 답하라.
질문 (question)
기판을 수평상태로 이송하는 통상적인 기판 이송장치에서 기판이 대형화됨에 따라 발생하는 문제점은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판을 수평으로 이송할 때 기판 대형화로 인해 발생하는 문제점을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction수평 이송 방식의 특징과 대형화 시의 제약 사항을 추출한다.
- 기판을 수평상태로 이송하게 되는데, 이 경우, 기판의 폭만큼의 공간이 필요하므로
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3근거 선택
evidence_selection대형화와 직접적으로 연결된 문제점 구절을 선택한다.
- 기판이 대형화되면서 설치면적 및 설치비가 증가되는 문제점이 있었다.
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4논리 통합
logical_integration수평 이송 시 기판 폭만큼 공간이 필요하다는 점과 대형화 시 면적/비용이 증가한다는 인과관계를 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation기판 대형화 시 설치면적과 설치비가 증가한다는 결론을 도출한다.
- 기판이 대형화되면서 설치면적 및 설치비가 증가되는 문제점이 있었다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 명확한 문장으로 답변을 작성한다.
- 설치면적 및 설치비가 증가되는 문제점
최종 답변 (final_answer)
기판이 대형화됨에 따라 설치면적 및 설치비가 증가되는 문제점이 발생한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
통상적인 수평 상태의 기판 이송장치에서 기판이 대형화됨에 따라 설치면적 및 설치비가 증가하는 문제가 발생한다.