감광성 수지 조성물, 포토 스페이서 및 그 형성방법, 보호막, 착색 패턴, 표시장치용 기판, 및 표시장치 document_id A220623106631

최근, 액정표시장치의 대면적화나 생산성의 향상 등으로부터 마더 유리기판의 대형화가 진행되고 있다. 종래의 기판 사이즈(680×880㎜정도)에서는 마스크 사이즈보다도 기판 사이즈가 작기 때문에, 일괄 노광방식으로 대응할 수 있었다. 그런데, 최근 장치의 대형화에 따라 대형기판(예를 들면, 1,500×1,800㎜정도)의 수요가 증가하고 있지만, 이와 같은 기판 사이즈와 동일한 정도의 마스크 사이즈를 준비하는 것은 거의 불가능하며, 일괄 노광방식으로의 대응은 어렵다. 그래서, 대형기판 대응 노광방식으로서, 스텝 노광방식이 제창되고 있다. 그런데, 스텝 노광방식으로는, 한 장의 기판에 있어서 복수회 노광하고, 그 때마다 위치맞춤을 행하기 때문에, 스텝 이동에 필요한 시간이 발생한다. 그 때문에, 스텝 노광방식에서는, 일괄 노광방식과 비교하여 스루풋 저감이 염려되고 있다. 또한, 일괄 노광방식에서는, 3,000J/㎡정도에서 패터닝 가능한 노광감도로 허용되고 있지만, 스텝 노광방식에서는, 1,500J/㎡이하에서 양호한 패터닝이 행해지는 노광감도가 요구되고 있다. 그러나, 기존의 재료로는, 1,500J/㎡ 이하의 노광량으로 양호한 스페이서 형상 및 막두께를 얻는 것이 곤란하다. 또한, 스페이서의 형상, 막두께의 제어성에 관한 요구값은, 최근 점점 더 엄격해질 수 있어서, 스페이서를 형성할 때의 프로세스의 변동에 의한 형상, 막두께의 변동, 조성물 용액의 경시변화에 따른 형상, 막두께의 안정성에 관하여는 개선의 여지가 있다. 특히, 1,500J/㎡ 이하의 노광량 영역에서는, 노광량에 대한 스페이서의 형상, 막두께의 제어성에서 과제가 있다. 또한, 최근, 액정표시패널의 제조에 사용되는 감광성의 수지조성물은, 보존기간중이나 사용중에 조성물 중의 성분이 결정화하는 등으로 이물이 발생하고, 장치를 오염시키는 등의 문제가 심각해지고 있으며, 오염의 문제를 저감할 수 있는 감광성의 수지조성물이 요구되고 있다. 감광성 수지 조성물에 관하여는, 종래보다 여러가지의 검토가 이루어지고 있고, 예를 들면, 지방족 환상 탄화수소기를 갖는 구성단위와, 산성 관능기를 갖는 구성단위와, 라디칼 중합성기를 갖는 구성단위가 연결한 분자구조를 갖는 지방족 환상 탄화수소기 함유 공중합체로 이루어지는 경화성 수지를 함유하는 감광성 수지 조성물이 개시되어 있다(예를 들면, 일본특허공개 제 2002-296775 호 공보 참조). 또한, 특정구조의 지방족 환상 탄화수소기를 갖는 구성단위와 산성 관능기를 갖는 구성단위와 라디칼 중합성기를 갖는 구성단위가 연결한 분자구조의 지방족 환상 탄화수소기 함유 공중합체로 이루어지는 경화성 수지가 개시되어 있다(예를 들면, 일본특허공개 제 2002-293837 호 공보 참조).