제1 이미징 광학 소자의 이미징 움직임 조사 방법 및 장치 document_id A220623107998

광학 시스템의 이미징 특성의 에뮬레이션 동안, 부정확성은 에뮬레이션에서 나타날 수 있다. 몇 가지의 오류는 예를 들어, 고-개구(high aperture) 이미징 광학소자가 저-개구 이미징 광학소자에 의해 에뮬레이션되는 경우, 특히 명백하다. 예를 들어, 편광기(polarizer) 또는 격자(grating)와 같은, 편광 소자는 통합적 효과에 관해 실질적으로 지금까지 조사되고 평가되어 왔다. 그러나, 마이크로- 또는 나노-구조된 광학 구성소자의 개발과 함께, 국부적 광학 특성의 결정은 제품 품질의 보장 및 제조 공정의 개발 및 개선에 대해 더 많은 중요성을 얻고 있다. 이와 같은 광학 구성소자의 예로서, 예를 들어, WO 03/001272 A3에 설명되어 있는 하이브리드 대물렌즈(hybrid objective)에서, 사용된 유형의 DOE(diffractive optical element)가 언급되어 있다. 이 DOE의 광학 효과는 광축 주위에 동심형으로 배열되어 있는 웹에서 발생한다. 이 경우에, 2 개의 웹 사이의 거리는 일정하지 않으나, 반경에 좌우하여 변한다. 이 소자의 목적은 대물렌즈 내의 분산 이미징 색 보상이며, 이 경우에 대물렌즈의 광학 품질은 굴절 렌즈와 DOE 사이의 협력에 기인한다. 대물 렌즈의 마지막 조립까지 DOE의 광학 특성을 판단할 수 없는 것을 피하기 위해, 사전에 광학 효과를 상세하게 연구하는 것이 바람직하다. 이는 대물렌즈의 독립성, 또는 이미징 광학소자, 예를 들어, 개별 대물렌즈의 에뮬레이션을 위한 제 2 이미징 광학소자, 및 제 1 이미징 광학소자으로 에뮬레이션 이미징 시스템의 빔 경로로의 삽입에 의해, 달성될 수 있다. DOE의 삽입은 보통은 빔 경로의 적응성(adaptation)을 요하며, 이는 2 개의 이미지 광학소자가 적어도 이 점에서 다르기 때문이다. 또한, 제 2 이미징 광학소자는 대물렌즈에 관한 크기에서 확대 또는 감소되도록 대상체를 이미지화하도록 설계될 수 있다. 이와 같은 구성소자의 다른 예는 전형적인 선형 회절 격자이다. 전자통신에서 사용된 격자의 경우, 예를 들어, 표면 영역의 단위 당 증가하는 수의 라인 쌍(line pair)은 에너지 비율에서 증가를 가져와, 회절의 0 차수에서 효율성의 증가를 가져온다. 격자에서의 편광 효과는 증가하는 수의 라인, 즉 더 작은 구조적 치수를 가지며 증가한다. 편광 효과는 또한 더욱 커지는 개구수(numerical aperture) 및 점점 작아지는 마스크 구조에 대한 경향이 있는 광리소그래픽(photolithographic) 스캐너에서 더욱더 중요한 역할을 한다. 그러나, 종래 기술에서 지금까지 공지된 에물레이션 이미징 방법 및 시스템은 이와 같은 편광 효과의 불완전한 설명만을 허용하며, 이는 간략하게만, 즉, 이미지 영역을 통해 통합되어 있는 편광 효과만을 고려하기 때문이다.