감광성 수지 조성물, 감광성 수지 전사 재료, 포토 스페이서와 그 제조 방법, 표시 장치용 기판, 및 표시 장치 document_id A220623110705

종래, 액정 표시 장치는 고화질 화상을 표시하는 표시 장치에 널리 이용되고 있다. 액정 표시 장치는 일반적으로 한쌍의 기판 사이에 소정의 배향에 의해 화상 표시를 가능하게 하는 액정층이 배치되어 있다. 이 기판 간격, 즉 액정층의 두께를 균일하게 유지하는 것이 화질을 결정하는 요소의 하나이다. 그것을 위해서 액정층의 두께를 일정하게 유지하기 위한 스페이서가 설치되어 있다. 이 기판 사이의 두께는 일반적으로 「셀 두께」라고 불려진다. 셀 두께는 통상, 상기 액정층의 두께, 바꿔 말하면, 표시 영역의 액정에 전계를 가하고 있는 2매의 전극 간의 거리를 나타내는 것이다. 스페이서는 종래 비드 산포에 의해 형성되어 있었지만, 최근에서는 감광성 수지 조성물을 이용하여 포토리소그래피에 의해 위치 정밀도가 높은 스페이서가 형성되도록 되어 왔다. 이러한 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 스페이서는 포토 스페이서라고 불리고 있다. 감광성 수지 조성물을 이용하여 패터닝, 알칼리 현상, 및 베이킹을 거쳐 제작된 포토 스페이서에 대해서는, 셀 두께를 일정하게 하기 위해서 상기 포토 스페이서의 높이를 균일하게 할 필요가 있지만, 현실적으로는 감광성 수지 조성물을 도포했을 때의 도포막 두께가 균일하지 않으므로 높이를 균일하게 하는 것은 매우 곤란하다. 도포막 두께가 균일하게 되지 않는 이유는 기판상에 도포액을 도포하고 건조 공정을 통해 용제가 제거될 때에, 도포액이 유동되어 버리는 것이 원인이다. 이렇게 하여 생긴 막두께 불균일은 막두께 변화가 좁은 영역내에서 급격하게 발생하고 있기 때문에, 포토 스페이서로 했을 때에도 표시 불균일으로서 시인되기 쉽다. 지금까지, 스트라이프 불균일의 발생이 매우 적어 균일한 착색층 표면을 형성하는 것을 목적으로 해서, 슬릿 다이 코터법에 의해 착색층을 형성하기 위한 착색층 형성용 도포액으로서, 동적 표면 장력이 표면 수명 10ms이며, 31mN/m∼50mN/m의 범위내에 있는 것을 특징으로 하는 착색층 형성용 도포액이 일본 특허 공개 2004-70352호 공보에는 개시되어 있다. 그 외에도, 스트라이프 불균일의 발생이 매우 적어 균일한 도막 표면을 얻는 것을 목적으로 해서, 슬릿 다이 코터 구금을 이용하여 도막을 형성하는 도막의 제조 방법에 있어서, 특정의 캐필러리수(Ca)와, 특정의 무차원 막두께(X)가 소정의 관계를 만족하도록 설정되어 도막이 형성되는 것을 특징으로 하는 도막의 제조 방법이 일본 특허 공개 2004-66232호 공보에는 개시되어 있다. 한편, 감광성 수지 조성물층을 지지체 상에 형성하여 필름상으로 하고, 감광성 수지 조성물층만을 기판 상에 가열 압착해서 전사함으로써 감광성 수지 조성물층을 형성하는 감광성 수지 전사 재료가 제안되어 사용되고 있다. 감광성 수지 전사 재료를 사용할 때에, 감광성 수지 조성물층을 보호하기 위해서 설치되어 있는 커버 필름이 박리 제거된다. 이 때에 커버 필름에 감광성 수지 조성물층의 일부가 전사되어 버리는 불량이 발생하는 문제가 있었다. 또한 이 불량은 감광성 수지 전사 재료를 제조후, 경시와 함게 점차 발생하기 쉬워진다는 문제도 있었다.