문맥 (context)
[청구항 7]
피처리기판의 표면에 포토레지스트를 도포하는 장치에 있어서
(ⅰ) 상기 기판을 반송하기 위한 반송 장치와
(ⅱ) 상기 기판에 대해서 밀착강화제를 공급하기 위한 밀착강화제 공급장치와
(ⅲ) 상기 밀착강화제 공급장치의 후단에 배설된 추가 가열장치와
(ⅳ) 상기 추가 가열장치의 후단에 배치되어진, 기판을 상온까지 냉각하는 냉각장치와, (ⅴ) 또한 상기 냉각장치의 후단에 배치되어진, 기판표면에 대해서 포토레지스트를 공급하는 포토레지스트 공급장치를 갖으며, 상기 밀착강화제 공급장치는 기판의 주위를 위요하는 처리 챕버와
상기 처리 챔버에 밀착강화제를 공급하기 위한 공급용 배관과
상기 처리 챔버내에서 기판에 대해서 대향으로 배설되어진, 복수의 소공을 가진 정루판과
상기 처리 챔버의 주위에 배설된 보조챔버와
상기 보조챔버에 접속되어진 배기용 배관과
기판을 가열하기 위한 가열장치로 구성되며, 상기 추가가열장치는 기판의 주위를 위요하는 챔버와
상기 챔버에 접속되어진 배기용 배관과
기판을 추가 가열하기 위한 추가 가열장치로 구성되어진 것을 특징으로 하는 포토레지스트의 도포장치
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 밀착 강화제 공급장치의 전단에 자외선 조사장치 혹은 오존 공급장치 또는 그양자배설하여서된것을특징으로 하는포토레지스트의 도포장치.
[청구항 9]
제7항에 있어서,상기 밀착 강화제공급장치와 상기 추가 가열장치를 일체적으로구성된것을특징으로 하는포토레지스트의 도포장치.
[청구항 10]
제7항에 있어서,상기 포토레지스트 공급장치가 로울 코오터로 구성되며, 상기 로울 코오터는 일대의 로울과 상기 로울대의 사이에 포토레지스트를 공급하기 위한 노즐을 가지며, 기판의 반송에 수반하여 상기 로울대를 회전시키는 것이 의해서 기판 표면에포토레지스트피막형성하도록된것을특징으로 하는포토레지스트의 도포장치.
[청구항 11]
제7항에 있어서,상기 포토레지스트 공급장치가 스핀코오터로 구성되며, 상기 스핀 코오터는 기판을 지지하기 위한 지지대와 ; 상기 지지대를 소정속도로서 회전하고, 승강자재의 회전축과 ; 상기 지지대에 대해서 기판을 반송하기 위한 반송장치와 ; 상기 지지대상에 지지되어진 기판에 대해서 포토레지스트를 공급하는노즐구성된것을특징으로 하는포토레지스트의 도포장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
포토레지스트를 도포하는 장치에서 밀착강화제 공급장치, 추가 가열장치, 냉각장치, 그리고 포토레지스트 공급장치가 배치되는 순서는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation포토레지스트 도포 장치 내에서 밀착강화제 공급장치, 추가 가열장치, 냉각장치, 포토레지스트 공급장치가 배치되는 순서를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 각 장치의 전단/후단 관계를 나타내는 문구를 추출한다.
- 상기 밀착강화제 공급장치의 후단에 배설된 추가 가열장치와 (ⅳ) 상기 추가 가열장치의 후단에 배치되어진, 기판을 상온까지 냉각하는 냉각장치와, (ⅴ) 또한 상기 냉각장치의 후단에 배치되어진, 기판표면에 대해서 포토레지스트를 공급하는 포토레지스트 공급장치
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3근거 선택
evidence_selection장치 간의 선후 관계를 명시한 핵심 구절을 선택한다.
- 상기 밀착강화제 공급장치의 후단에 배설된 추가 가열장치
- 추가 가열장치의 후단에 배치되어진, 기판을 상온까지 냉각하는 냉각장치
- 냉각장치의 후단에 배치되어진, 기판표면에 대해서 포토레지스트를 공급하는 포토레지스트 공급장치
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 바탕으로 장치들의 배치 순서를 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation연결된 순서가 질문에서 요구한 모든 장치를 포함하는지 확인한다.
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6답변 생성
answer_generation확정된 순서를 리스트 형식으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
1. 밀착강화제 공급장치, 2. 추가 가열장치, 3. 냉각장치, 4. 포토레지스트 공급장치
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 밀착강화제 공급, 추가 가열, 냉각, 포토레지스트 도포가 순차적으로 이루어지는 공정 흐름을 갖는 포토레지스트 도포 장치에 관한 것이다.