웨이퍼 처리 시스템 document_id 1019870003642

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 아암은 중심쪽 지지편과, 중심쪽 신장편과, 말단부상의 작업물을 지지하는 수단을 가진 말단쪽 지지편과, 말단쪽 신장편 및 상기 아암에 동력을 전달하여 제어하기 위해 제1축에 관해 회전하는 한쌍의 동심축을 포함하며, 상기 중심쪽 지지편은 제1의 상기 동심축에 직각으로 고정 부착되고, 상기 중심쪽 신장편은 제2의 상기 동심축에 직각으로 고정 부착되고, 상기 중심쪽 신장편은 제2축에서 상기 말단쪽 신장편에 피버트 가능하게 부착되고, 상기 중심쪽 지지편과 상기 말단쪽 신장편은 각각 제3 및 제4축에서 상기 말단쪽 지지편에 피버트 가능하게 부착되며, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4축은 평행하고, 상기 축 사이의 공간은평행사변형형성하는것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 말단쪽 지지 아암nan은평블레이드인것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 중심쪽 신장편은 상기 중심쪽 지지편보다 짧은 것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 5] 제4항반도체 웨이퍼의 카세트를 수용하는 상기 제1로드록 수단은 문을 가지는 진공실과, 밀접한 평행 방사빔을 보내는 전송수단과, 평행 방사 빔을 지나 일정 속도비로 카세트를 이동시키는 수용 수단과, 시간의 함수로서 평행 방사 빔에서의 방해 위치 정보를 변환하는 신호 처리 수단과, 상기 신호 처리 수단으로부터의 정보로 받아서 저장하는 컴퓨터 수단과, 문과 대면한 개구를 가지면서 진공실의 벽내에 있는 작은 진공 셀과, 진공실에 문을 밀봉시키는 밀봉 수단과, 상기 작은 진공 셀을 진공 펌핑 수단에 연결시키는수단포함하는것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 6] 제4항상기 운반 수단은 수평면에 있는 웨이퍼를 구비한 카세트를 승강시키는엘리베이터인것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 7] 제5항에 있어서,상기 연결 수단은 작은 진공 셀로부터 진공 펌핑수단을 차단시키는펌핑차단밸브포함하는것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 연결 수단은 상기 차단 밸브가 폐쇄될 때 상기 작은 진공 셀을 대기로 배기시키도록 하는배출밸브포함하는것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 차단 밸브와 배출 밸브는 문의 핸들에 설치된 스위치 수단으로부터전기적작동되는것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 컴퓨터 수단은 작업 결정 시스템으로부터 기계를 작동시키는수단포함하는것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 11] 제1항에 있어서,웨이퍼 중심을 두어 클램핑 시키는 척 수단을 포함하며, 상기 척 수단은 작업물을 지지하기 위한 상부면 수단을 가진 플랫포옴과, 플랫포옴상의 공작물을 중심에 두어 유지시키고, 상기 플랫포옴 주의 둘레에 분포되고, 그 각각이 작업물상에 끼워지도록된 형상의 상부 립, 하부 립 및 상승 슬롯을 가진 얇은 평면 훅부재와 스프링 부재를 포함하는 다수의 클램프 수단과, 상기 상부면 수단 주의에 그리고 그 아래에 배치되면서 상기 각 얇은 평면 훅 부재의 상기 상승 슬롯이 결합하는 승강 링과, 상기 상부면 수단 주의및 그 아래에 그리고 상기 승강 링 위에 배치되면서 상기 얇은 평면 훅 부재의 상기 하부 립이 결합하는 확전식 링과, 상기 승강 링을 이동시키는 수단 및 상기 확전식 링을 이동시키는수단포함하는것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 12] 제11항에 있어서,작업물 취급 기구로부터 작업물을 받아 상기 작업물을 상기 플랫포옴에 내려 놓는 승강 핀수단포함하는것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 작업물이 상기 플랫포옴에 유지되는 동안 상기 작업믈의 온도 제어를 위한수단포함하는것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 온도 제어 수단은 상기 플랫포옴의 상기 상부면 수단 작업물의 이면 사이에 헬륨 가스를 보내는 수단을 포함하여열접촉보증하는것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 클램프를 적소에 두면서 서비스를 하기 위해 상기 클램프를 제거하는수단포함하는것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 16] 제 15항에 있어서,상기 컴퓨터 수단은 작업 결정 시스템으로 부터 기계를 작동시키는수단포함하는것특징인반도체 웨이퍼 처리기. [청구항 18] 제17항에 있어서,작업 결정 시스템을 통해 상기 에칭 시스템을 작동하는 수단을 가지는제어컴퓨터포함하는것특징인에칭시스템. [청구항 19] 반도체 작업물을 처리하기 위한 처리 시스템에 있어서, 입구 카세트 수용실, 출구 카세트 수용 실, 상기 카세트 수용실 중간에 있는 적어도 하나의 처리실 및 연속 체인으로 각 2개의 다른 형버의 실 사이에 위치하는 이송 실을 포함하는 연속 체인의 상호 연결된 실을 포함하며, 상기 각 카세트 수용 실은 작업물 카세트를 제거 가능하게 밀봉하는 문 수단, 지지된 카세트에 수직이동을 제공하는 엘리베이터 수단 및 상기 엘리베이터 수단상에 위치된 카세트내의 각 반도체 작업물의 실제 수직 위치를 검출하는 수단을 가지며, 벽 수단은 작업물 통로가 상기 각 이송실의 내부와 이송 실에 인접한 다른 각 실의 내부 사이에 형성되도록 상기 실을 형성하며, 상기 각 이송 실은 각 이송 실로 개구하는 통로 양쪽을 동시에 개방 또는 폐쇄하도록 가동할 수 있는 밸브 수단을 포함하며, 상기 각 이송 실은 작업물을 해제 가능하게 지지하도록 되어 있는 작업물 이송 수단과, 각 이송 실과 인접 실 사이의 통로를 통해 상기 이송 수단을 이동시켜 상기 인접 실의 하나로부터 이송 실을 통해 상기 다른 인접 실로 공작물을 이동시키도록 하는 수단을 포함하며, 상기 처리 실은 상기 작업물 이송 수단에 의해 현 작업물을 해제 가능하게 지지하는 수단을 가지는 것이 특징인 처리 시스템 [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 작업물 이송 수단은 중심쪽 지지편과, 중심쪽 신장편과, 말단부상의 작업물을 지지하는 수단을 가진 말단쪽 지지편과, 말단쪽 신장편 및 상기 아암에 동력을 전달하여 제어하기 위해 제1축에 관해 회전하는 한쌍의 동심축을 포함하며, 상기 중심쪽 지지편은 제1의 상기 동심축에 직각으로 고정 부착되고, 상기 중심쪽 신장편은 제2의 상기 동심축에 직각으로 고정 부착되고, 상기 중심쪽 신장편은 제2축에서 상기 말단쪽 신장편에 피버트 가능 하게 부착되고, 상기 중심쪽 지지편과 상기 말단쪽 신장편은 각각 제3및 제4축에서 상기 말단쪽 지지편에 피버트 가능하게 부착되며, 상기 제1, 제2, 제3, 및 제4축은 평행하고, 상기 축 사이의 공간은평행사변형형성하는것특징인처리 시스템. [청구항 21] 제19항에 있어서,상기 지지 및 클램핑 수단은 작업물을 지지하기 위한 상부면 수단을 가진 플랫포옴과, 플랫포옴상의 공작물을 중심에 두어 유지시키고, 상기 플랫포옴 주위 둘레에 분포되고, 그 각각이 작업물상에 끼워지도록 된 형상의 상부 립, 하부 립 및 상승 슬롯을 가진 얇은 평면 훅 부재와 스프링 부재를 포함하는 다수의 클램프 수단과, 상기 상부면 수단 주위에 그리고 그 아래에 배치되면서 상기 각 얇은 평면 훅 부재의 상기 상승슬롯이 결합하는 승강 링과, 상기 상부면 수단 주위 및 그 아래에 그리고 상기 승강 링 위에 배치 되면서 상기 얇은 평면 훅 부재의 상기 하부 립이 결합하는 확전식 링과, 상기 승강 링을 이동시키는 수단 및 상기 확전식 링을 이동시키는수단포함하는것특징인처리 시스템. [청구항 22] 제19항에 있어서,상기 벨브 수단은 입력포트와 출력 포트를 가지는 밸브 하우징과, 상기 입, 출력 포트를 밀봉하는 면, 즉 서로에 대해 경사진 밸브 웨지 밀봉면을 가지며 또 상기 밀봉면 사이에 저장 노치를 가진 밸브 웨지 와, 상기 밸브 웨지가 상기 입ㆍ 출력 포트를 통해 라인 시계를 벗어나도록 상기 하우징내에서 상기 밸브웨지를 밀봉 위치로부터 개방 위치로 미끄럼 시키는수단포함하는것특징인처리 시스템. [청구항 23] 제22항에 있어서,작업 결정 시스템을 통해 상기 처리 시스템을 작동시키는 수단을 가진제어컴퓨터포함하는것특징인처리 시스템.