이온 주입 장치 및 이온 주입 방법 document_id 1019870004807

[청구항 1] 스캐닝신호에 응답하여 목표물 평면상에 스캔이된 이온의 주입량과 이온 빔의 주입량 균일성을 측정하기 위한 장치에 있어서 다수의 서로 다른 감지위치에서 이온 빔을 감지하여 감지위치에 각각에 수신된 이온빔 전류를 나타내는 빔 심호를 제공하는 수단과 이온주입량을 측정하기 위해 시간에 대해 상기 빔 신호를 누적 합산하는 수단과 스캔 신호와 상기 빔 신호를 응답하여 상기 서로 다른 감지위치에서 빔 전류성분에 응답하여 상기 서로 다른 감지위치에서 빔 전류성분을 측정하고 이로부터 이온주입량 균일성을 측정하는 균일성 모니터 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 이온 주입장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 감지수단은 서로 다른 감지위치 각각에 패러데이 컵을 구비하며, 상기 패러데이 컵은 빔 신호를 전달하는공통전기접속부갖는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,빔 축에 대해 거의 수직인 감지평면에 있는 빔 축에 대해 등거리 간격을 두고 있는4개의패러데이컵포함하는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 감지장치는 상기 빔에 수직인 평면에서 상기 이온 빔의 경로에 배치된 마스크 조립체를 포함하며, 상기 마스크 조립체는; 목표물 판에 이온 빔을 전달히기 위한 제1개구와, 상기 제1개구둘레의 상기 감지위치 각각에 위치된 다수의 빔 감지장치를 갖는 마스크 판과; 상기 감지개구의 각각을 통해 수신된 빔 전류를 감지하여 상기 빔 신호를 제공하기 위해 상기 감지개구와 일치되어 마스크판 뒤편에 위치된환형패러데이컵포함하는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 마스크 판에 있는 제1개구는 원형이며, 빔 축과 동축상태로 구성되어 있으며, 4개의 감지개구는 상기 제1개구의 주변둘레에서 동일한간격있는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 환형패러데이 컵은 상기 제1개구보다 큰 직경을 가지며 제1개구와 동축상태이고 상기 패러데이 컵은 상기 감지개구와 일치하는빔수집구멍갖는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 7] 제4항에 있어서,상기 마스크 판과 상기 환형패러데이 컵 사이에 장치된 흑연 개구판을 포함하여, 상기 개구판은 상기 마스크 판의 감지개구와 칫수가 일치하는 개구를 포함하며, 상기 개구판의 각 개구와 2차 전자를 억제하기 위한 상기 환형패러데이 컵 사이에 장치된최소한하나의바이어스전극포함하는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 균일성 모니터 수단은 각 빔 전류성분의 감지위치를 식별하여 상기 빔 신호를 절환시키기 위해디멀티플렉싱수단포함하는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 이온 빔은 x스캔 및 y스캔 신호로 이루어지는 2차원 라스터 스캔패턴으로 스캔이 되며, 상기 디멀티플렉싱 수단은 각 빔 전류성분의 4분면식별하는 것을특징으로 한느 이온 주입장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 디멀티플렉싱 수단은; 상기 x스캔 신호와 y스캔 신호의 평균값을 측정하는 평균수단과, x스캔 및 y스캔 신호의 평균값을 상기 스캔의 각 순간값과 비교하는 비교기 수단과, 어떤 순간의 시간에 빔이 위치하는 4분면을 측정하기 위해 상기 비교기 수단의 출력에 응답하는 디코더 수단과, 수신된 감지위치에 따라 상기 빔 신호를 소정의 출력으로 절환시키기 위해 상기 디코더 수단의 출력에 응답하는스위칭수단포함하는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 균일성 모니터 수단은 기준값에 대한, 서로 다른 감지위치 각각에서의 빔 신호의 편차를 측정하여 이온주입량 균일성을 측정하기 위해 상기 디멀티플렉싱 수단의 출력에 응답하는수단포함하는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 감지수단은 빔 발생수단과 상기 목표를 평면 사이에 위치된 마스크 조립체를 포함하며, 상기 마스크 조립체는; 이온 빔은 상기 목표물 평면에 전달하기 위한 비교적 큰 제1개구와, 상기 목표물판 둘레에 배치된 다수의 작은 감지개구를 갖는 마스크 판과, 상기 감지개구를 통과하는 빔 전류를 감지하여 상기 빔 신호를 제공하기 위해 상기 감지개구와 일치상태인 상기 제1개구 둘레에서 상기 마스크판의 뒤편에 배치된환형패러데이컵구비하는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 마스크판에 있는 상기 제1개구는 원형이며 상기 빔 축과 동축이고 4개의 감지개구는 상기 제1개구의 주변둘레에등거리 간격배치되는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 환형패러데이 컵은 상기 제1개구보다 큰 직경을 가지며 상기 제1개구와 동축상태이고, 상기 패러데이 컵은 상기 감지개구와 일치하는빔수집구멍갖는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 16] 제13항에 있어서,상기 마스크판과 상기 환형패러데이 컵 사이에 장치된 흑연 개구판을 포함하며, 상기 개구판은 상기 마스크판의 감지개구와 칫수가 일치하는 개구를 포함하며, 상기 개구판의 각 개구와 2차 전자를 억제하기 위한 상기 환형패러데이 컵 사이에 장치된최소한하나의바이어스전극포함하는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 17] 제2항에 있어서,상기 균일성 모니터 수단은 각 빔 전류성분의 감지위치를 식별하여 상기 빔 신호를 절환시키기 위해디멀티플렉싱수단포함하는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 이온 빔은 x스캔 및 y스캔 신호로 이루어지는 2차원 라스터 스캔패턴으로 스캔이 되며, 상기 디멀티플렉싱 수단은 각빔전류성분의4분면식별하는것을특징으로 하는이온 주입장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 디멀티플렉싱 수단은; 상기 x스캔 신호와 y스캔 신호의 평균 값을 측정하는 평균 수단과, x스캔 및 y스캔 신호의 평균 값을 상기 스캔의 각 순간 값과 비교하는 비교기 수단과, 어떤 순간의 시간에 빔이 위치하는 4분면을 측정하기 위해 상기 비교기 수단의 출력에 응답하는 디코더 수단과, 수신된 감지위치에 따라 상기 빔 신호를 소정의 출력으로 절환시키기 위해 상기 디코더 수단의 출력에 응답하는스위칭수단포함하는것을특징으로 하는이온 주입장치.