이온 주입장치용 열량측정식 주입선량 측정장치 document_id 1019870008080

[청구항 2] 기계작업물(12,12')의 이온이식중에 이온비임투약을 결정하는 부속장치가 다음과 같은것으로 구성된것으로, 이온비임(13,113)을 이식장소(100)로 유도하는 이온원과 하나 또는 더이상의 기계작업물을 이온비임을 통하여 상기한 웨이퍼를 처리하게 움직이기 위한 반도체웨이퍼 지지부(11,172)와, 열량계수단(10)으로 상기한 작업물 지지부에 연결되어서, 상기한 비임을 차단하는 비임대면(16a)을 가지고 있는 것을 특징으로하며, 상기한 열량계는 상기한 면에서 떨어져 있는 열량계에서 발생된 열을 유도하기 위한 열통로를 포함하고있고 상기한 열통로와 함께 열접촉에서 관련온도를 얻는 열싱크(18,118)와, 상기한 열통로에 따른 2점 사이의 온도차를 측정하기위한 온도감지수단과, 그리고 상기한 온도차를 비임투약에 변환하는 실수단으로 하는 특징을 가진 이온비임투약결정장치 [청구항 3] 제2항에 있어서,작업물 지지부가 주기적으로 상기한 비임을 통하여 회전하는 여러개의 이식장소를 갖는 회전과 열량계는 상기한 이온비임을 주기적으로 차단하는 2개의 이식장소사이의 작업물지지부에 고정되어회전하기설비된디스크(11)장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기한 열량계의 비임대면(16a)은 일반적으로 직각형이고, 길이가 상기한기계작업물의최대폭거의동일하게있는장치. [청구항 5] 제2항에 있어서,온도감지수단은 온도를 전기적 출력으로 변환하기 위하여 열통로에 따라 간격을 둔 2조의 더어미스터구성되어 있는장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,열통로는 열량계량기 한끝에 텅스텐봉(17,117)이 연결되고 반대쪽끝에는 열싱크가 연결되게 구성된장치. [청구항 7] 제4항에 있어서,열량계수단이 은제열량계블록을 미복한 실리큰층구성된장치. [청구항 8] 제2항에 있어서,열량계수단이 각기 분할된 열통로를 가진 이온비임의 상이한 부분을 차단하도록 간격을 두고 있는 수많은 상이한 열량계구성된장치. [청구항 11] 기계작업물의 이온이식중에, 이온비임투약을 결정하는 장치가 다음과 같은 것으로 구성되어 있는 것으로, 이온(13,113)의 비임을 이식장소(100)로 유도하기 위한 이온원과, 하나 또는 그 이상의 기계작업물을 상기한 웨이퍼를 처리하는 이온비임을 통하여 움직이기 위한 반도체웨이퍼 지지부(11,172)와 상기한 비임을 차단하기 위한 비임대면(16a)을 가진 열량계수단(10)에 의한 특징을 가지고 있으며, 상 열량계는 상기한 면에서 떨어져 있는 열량계에 발생된 열을 유도하기 위한 열통로(17,117)를 구성하고 있으며, 상기한 열통로와의 열접촉에서 관련 온도를 얻는 열싱크(18,118)와 상기한 열통로에 따른 열변화율 측정을 위한 온도감 지수단과 그리고 비임투약에 대한 상기한 온도변화율을 변환하는 수단등 특징을 가진 이온비임투약결정 장치 [청구항 12] 제11항에 있어서,웨이퍼지지부는 상기한 비임을 통하여 주기적으로 회전하는 다수의 이식장소를 갖는 회전을 위하여 설비된 디스크(11)이며 열량계는 이온비임을 주기적으로 차단하기 위한 2개의 이식장소사이의 상기한 작업물지지부고정되어 있는장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,열량계수단은 이온의 비임의 상이한 위치를 발취하기 위한 디스크회전의 축으로 부터 상이한 거리에 간격을 두고있는 다수의 열량계구성하고 있는장치. [청구항 14] 제11항에 있어서,변환하는 수단이 소망하는 수준으로 비임투약을 조정하도록조정수단추가하여구성하고 있는장치.