이온비임 주입장치와 그 주사방법 document_id 1019870010536

[청구항 1] 작업대상물을 조정가능하게 조치하는 이온비임 이식장치로서 다음과 같이 구성되어 있는 것으로, 가) 작업대상물을 처리하는 이온(14)을 마련하는 전원수단과 나) 전원수단에 관련한 위치에 작업대상물을 향하게하는 지지수단과, 다) 상기한 이온을 제1궤도 내로 움직여서 이온비임을 형성하여, 상기한 이온비임이 상기한 작업대상물범위에 충돌하게 하기위한 비임성형수단(16)과, 그리고, 라) 상기한 이온비임이 작업대상물의 다른 범위에 충돌하게 되는 제1궤적에서 떨어져 구부러지게 되는 검사수단(26,28,214)과, 상기한 검사 수단이 하나 또는 그 이상의 전장형성전극을 포함하여, 다음과 같은 특징을 가진 것으로, 마) 상기한 전극에 조정전압을 공급하기 위하여, 하나 또는 그 이상의 전장형성 전극에 연결된 출력을 가진 조정수단(130)과, 상기한 조정수단은 다음과 같은 것을 포함하는데, i) 상기한 작업대상물의 다른 범위에 걸쳐, 상기한 비임을 움직여서 하나 또는 그 이상의 전장형성전극을 통전하는데 적합한 전압파형과 합치하는 굴절신호를 저류하기 위한 저류수단(210, 212)과, ⅱ) 상기한 검사수단에 연결된 시간적 변화 전압출력에 대하여 저류 수단내에 저류된 값을 변환하기 위한 변환수단(220, 222, 230, 232, 240, 242, 250, 252)과 그리고, ⅲ) 상기한 작업대상물에 걸친 상기한 비임검사같은 속성 이온투약에 영향을 주는 검사수단에 공급된 시간적변화전압을 조정하는, 보완수단 (240,242,280,282)을 가진 이온비임이식장치 [청구항 2] 제1항이온비임이 검사방향을 변경하고, 상기한 끝점이 상이한 검사형식을 만드는 것에 대하여 조정될 수 있는 검사형에서, 끝점(a,b,c,d등)에 일치하는 저류값을 위하여 기억장치구성하는저류수단(210, 212). [청구항 3] 제1항검사장치가 제1방향에 이온비임(14)을 굴절하는 제1전극수단 (26)을 구성하며, 상기한 제1방향에 직교하는 제2방향에 그 이온비임을 굴절하는, 제2전극수단을 구성하고, 더욱이 저류수단내(210, 212)에, 변환수단(250,252)의 조정하에 시간적연속으로, 제1, 제2전극수단에 공급되게되는 전압을 나타내는다수셋트의신호쌍저류하게있는장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,변환수단이 다음과 같은 것으로 구성되어 있는데 ; 제1계산기값을 증가 또는 감소하는 제1계산기 수단(230)과, 제2단계산기값을 증가 또는 감소하는 제2계산기 수단(240)과, 상기한 저류수단에서 저류된 신호쌍과 함께 제1, 제2계산기를 시작하게하며, 상기한 계산기가 다음 계속되는 신호쌍에 대하여 증가 또는 감소하는 것을 시작하게 하는 계시수단(220,222)과, 상기한 계산기의 하나의 셈을 다음 연속끝점과 비교하며, 상기한 제1,2계산기 수단의 다음 셈 계속을 시작케하는 비교측정수단(270)과, 그리고, 상기한 제1,제2계산기가 증가 또는 감소하는 시간수단에 따라 상기한 제1,제2전극수단에 연결된 검사전압에 대한 상기한 계산기의 셈을 변환하는 수치계산수단구성하는장치. [청구항 5] 제4항보완수단이 제1,제2계산기수단(230,232)사이에 삽입되어 있는 제1,제2가시가산회로(240,242)를 구성하고, 상기한 검사전압을 변환하기에 앞서 셈을 수정하는 상기한 수치계산수단구성하는장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,보완수단이 기억장치 위치에서 저류된 값을 가진 제1,제2보완 기억장치수단(290,292)을 추가 구성하며, 각 상기한 보완기억장치가 대상작업물 위의 속성비임 위치와 관계된 입력을 포함하고, 상기한 제1,제2계산기의 셈으로부터 가산 또는 감산되게하는 가시가산회로에 연결된출력포함하게있는장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,보완수단이 상기한 작업대상물 위의 비임위치의 요인에 따라 작업대상물에 걸쳐, 상기한 검수단이 비임을 검사하는 속도를 변하게 하는 수단포함하는장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,이온비임이 비직각에서 작업대상물위에 충돌하도록 상기한 작업대상물의 방향을 잡는 지지수단인장치. [청구항 9] 제6항에 있어서,보완기억장치수단(290,292)이, 상기한 작업대상물의 면에 걸처 조정된이식변화조절할수있는장치. [청구항 17] 제15항에 있어서,상기한 병행검사분열의 길이가, 상기한 일반적으로 원형인 작업대상물을 보통 원형 봉투형중복으로 중복하도록조정하게있는방법.