문맥 (context)
[청구항 1]
내화성 물질면을 갖는 기체(substrate)와, 상기 물질면상에 반도체 물질로 된 필름과, 상기 필름상에 배열된 내화성 물질의 다공성 캐핑층을 구비하며
상기 캐핑층은 가스를 투과할 수 있도록 충분히 다공성인 것을 특징으로 하는 적층체
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,핑층은 이론적 밀도의 95%이하의밀도구비하는것을특징으로 하는적층체.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,핑층nan은이루어지는것을특징으로 하는적층체.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,핑층nan은실리콘의함유량이루어지는것을특징으로 하는적층체.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 기체는내화성 물질로이루어지는것을특징으로 하는적층체.
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,상기 기체는 sio2로이루어지는것을특징으로 하는적층체.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 기체는 상기 물질면상에 내화성 물질로 된 장벽층을 갖는비내화성물질로이루어지는것을특징으로 하는적층체.
[청구항 13]
제 8 항에 있어서,캐핑층을 용착하는 단계는 캐핑층의 밀도가 이론적 밀도의 약 95% 이하인 상태하에서 캐핑층을 용착하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체성 물질로 된 필름의 면평활도증진하는방법.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1의 적층체 구성 요소 중 가스 투과가 가능하도록 충분한 다공성을 가져야 하는 층은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 1의 적층체 구성 요소 중 가스 투과를 위해 충분한 다공성을 가져야 하는 특정 층을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 적층체의 구성 요소인 기체, 반도체 물질로 된 필름, 내화성 물질의 다공성 캐핑층을 확인한다.
- 내화성 물질면을 갖는 기체(substrate)와, 상기 물질면상에 반도체 물질로 된 필름과, 상기 필름상에 배열된 내화성 물질의 다공성 캐핑층을 구비하며
- 상기 캐핑층은 가스를 투과할 수 있도록 충분히 다공성인 것을 특징으로 하는 적층체
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3근거 선택
evidence_selection가스 투과 및 다공성과 직접적으로 연결된 구성 요소에 대한 설명을 선택한다.
- 상기 캐핑층은 가스를 투과할 수 있도록 충분히 다공성인 것을 특징으로 하는 적층체
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4논리 통합
logical_integration캐핑층이 가스를 투과할 수 있도록 충분히 다공성해야 한다는 문맥을 통해 해당 층이 캐핑층임을 도출한다.
- 상기 캐핑층은 가스를 투과할 수 있도록 충분히 다공성인 것을 특징으로 하는 적층체
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5결론 도출
conclusion_formulation가스 투과를 위해 충분한 다공성을 가져야 하는 층은 '캐핑층'이다.
- 상기 캐핑층은 가스를 투과할 수 있도록 충분히 다공성인 것을 특징으로 하는 적층체
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변으로 '캐핑층'을 제시한다.
- 상기 캐핑층은 가스를 투과할 수 있도록 충분히 다공성인 것을 특징으로 하는 적층체
최종 답변 (final_answer)
캐핑층
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명의 적층체는 가스 투과를 용이하게 하기 위해 충분한 다공성을 갖는 내화성 물질의 캐핑층을 포함하는 구조를 특징으로 한다.