클린룸내에서 사용되는 방진저장 캐비넷장치 document_id 1019870013096

[청구항 1] 클린룸내에서, 청정한 분위기가 요구되는 작업물을 저장하는 데 사용되는, 방진 저장 캐비넷 장치로서 이를 통하여 작업물이 하우징으로(에서) 들어가거나, 나올 수 있도록 하는 제1입구(48)를 갖고 있는 앞벽(57)을 갖는 하우징(50),(124), 및 (194)과 상기 하우징(50),(124) 및 (194)의 청정도가, 상기 클린룸의 청정도와 동일하거나, 또는 이보다 더 높게 유지되도록 상기 하우징(50),(124) 및 (194)의 내부로 청정한 공기를 공급하는 공기 공급 수단과 그의 길이 축 주위로 회전하도록 상기 하우징(50),(124) 및 (194)내에 회전 가능하게 배설되는 수직 회전축(70)과 상기 회전축(70)을 회전시키는 제1구동 수단과 그들 사이의 먼지에 의한 상호 오염을 방지하기 위하여 서로 분리되며, 그의 내부에 작업물(44)을 저장하고, 바깥쪽을 향해 방사형으로 개방된 다수개의 수납칸(92)을 구비함과 동시에, 상기 회전축(70)에 동축적으로 유지되는, 대략 원통형상의 구조인 래크 기구부(84),(126) 및 (196)들로 구성되는 클린룸내에서 사용되는 방진 저장 캐비넷 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 래크 기구부(84),(126)는 : 상기 회전축(70)에 동심원적으로 접속되는 원통형지지 프레임(86),(128)과 ; 상기 지지 프레임(86),(128)주위에 수직적으로 동일한 간격을 두고 부착되는 다수개의 평행한 고리형 트레이(88),(132)와 ; 인접하는 2개의 트레이 사이의 모든 공간이, 방사판(90)에 의하여 다수개의 상기 수납칸(92)으로 분할되도록, 인접하는 2개의 트레이의 사이에 연장된 수개의 방사판(90)으로 구성되는 방진저장 캐비넷 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 래크 기구부(196)가, 상기 대략 원통형인 구조를 형성하기 위하여 서로 접속된 다수개의 래크 세그먼트(202)들로 구성되며, 상기한 각각의 래크 세그먼트(202)는, 한쪽 끝단이 개방된 대략 육면체 상자 구조로 구성되며, 상기 상자 구조는 그의 내부를 상기 수납칸(92)으로 구획하는 방진저장 캐비넷 장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 방진 저장캐비넷 장치가 : 상기 하우징(50)의 내부를 앞방(56) 및 뒷방(54)으로 분할하여, 상기 앞방(56)은 상기 제1입구(48)를 통하여 상기 하우징(50)의 외부와 연이어 통하도록 하고, 상기 뒷방(54)은 상기 회전축(70) 및 상기 래크 기구부(84)를 수납하도록 함과 동시에, 그를 통하여 상기 뒷방(54)이 상기 앞방(56)과 연이어 통하도록 하며, 작업물이 상기 옆방(56) 및 상기 뒷방(54)의 사이를 통과할 수 있도록 하는 제 2 입구(46)를 구비하는 분리벽(52)과 ; 상기한 앞방(56)에 배설되어, 상기 제1입구(48)와 상기 래크 기구부(84)사이에서 작업물을 이송하는 이송수단(96)을 더욱 포함하여 구성되는 방진저장 캐비넷 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 이송 수단(96)이 : 그의 길이축 주위로 회전하도록 상기 앞방(56)내에 회전 가능하게 배설되는 수직 가이드 레일(98)과 ; 상기 가이드 레일(98)을 따라서 이동하도록 상기 가이드 레일(98)에 미끄러질 수 있도록 접속되는 미끄럼 부재(100)와 ; 수평방향으로 신장 및 수축이 가능하도록 삽입구조로 되어 있으며, 상기 미끄럼 부재(100)에서 수평방향으로 연장되는 수평아암(102)과 ; 작업물을 해제가능하게 파지하도록, 상기 수평 아암(102)의 가장자리 끝단에 부착되는 파지핸드(104)로 구성되는 방진저장 캐비넷 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 제1구동수단이, 상기 회전축(70)에 동축적으로 부착되는 고리형 제2도체(74)와 ; 상기 제2도체(74)와 마주대하도록 상기 하우징(50)내에 배설되는 다수개의 제1코일(78)로 구성되는 리니어 모우터(76)로 구성되는 방진저장 캐비넷 장치. [청구항 7] 제2항 또는 제3항에 있어서,상기한 각각의 수납칸(92)은 해당 공기 흡입구(136)를 통해 청정한 공기가 상기 각 수납칸(92)으로 도입되도록 상기 공기 공급 수단과 연이어 통하는 공기 흡입구(136)를 구비하고, 상기 공기 흡입구(136)는 상기 공기 흡입구(136)를 통과하는 공기를 여과하는 공기 필터를 구비하며, 상기 수납칸(92) 들에는 상기 수납칸(92)의 개구부의 상부 부분을 덮는 차폐 수단이 마련되어, 상기 개구의 각각의 하부부분들이 각각의 수납칸(92)에 대한 공기 배출구(146),(238)의 역할을 하도록 되어 있는 방진저장 캐비넷 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기한 각각의 수납칸(92)은 상부 내면(140),(206)과 하부 내면(134),(208)을 구비하고, 상기 공기 흡입구(136)는 각각의 수납칸의 상부내면(140),(206)에 형성되어 각 수납칸(92)내의 기류가 해당 하부 내면(134),(208)은 해당 상기 공기 배출구(146),(238)를 향해 아래로 경사지어져 있어, 기류가 상기 공기 배출구(l46),(238)를 향해 완만하게 흐르로록 되어 있는 방진저장 캐비넷 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 차폐 수단이, 그를 통하여 작업물이 지나가도록 상기 하우징(124)의 제1입구(48)에 인접하는 내부벽(130)부분에 형성되는 제3입구(125)와 ; 상기 수납칸(92)의 앞의 상기 내부벽(130)부분에 형성되어, 상기 수납칸(92)의 개구의 아래부분이 개방된 채로 있게 하는 다수개의 구멍(146); 을 구비함과 동시에, 상기 래크 기구부(126)를 동심원적으로 둘러싸는 원통형 내부벽(130)으로 구성되는 방진저장 캐비넷 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 제1구동수단이, 상기 회전축(70)에 동축적으로 부착되는 고리형 제2도체(74)와 ; 상기 제2도체(74)와 마주대하도록 상기 하우징(124)내에 배설되는 다수개의 제1코일(78)로 구성되는 리니어 모우터(76)로 구성되는 방진저장 캐비넷 장치. [청구항 11] 제8항에 있어서,상기 차폐수단이, 다수개의 스윙도어(236)를 구비하고 있고, 각각의 상기한 스윙도어(236)는, 상기 수납칸(92)의 1이상의 개구(220)가, 상기 각 스윙도어(236)의 피버트 운동에 의하여 개방되고 차폐되도록, 상기 래크 기구부(196)에 피버트식으로 접속되는 방진저장 캐비넷 장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기한 각각의 스윙도어(236)가, 상기 해당 수납칸(92)의 개구(220)의 하부 부분이 개방된 채로 있게 하는 1이상의 개구(238)를 구비하는 방진저장 캐비넷 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 방진 저장캐비넷 장치가, 상기 스윙 도어(236)를 피버트 운동시키는 제2구동 수단(242)을 더욱 포함하는 방진저장 캐비넷 장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 제1구동 수단이, 상기 회전축(70)에 동축적으로 부착되는 고리형 제2도체(74)와; 상기 제2도체(74)와 마주 대하도록 상기 하우징(194)내에 배설되는 다수개의 제1코일(78)로 구성되는 리니어 모우터(76)로 구성되는 방진저장 캐비넷 장치.