실리콘 단결정 성장(Pull-up)장치 document_id 1019870015146

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 판상부재가 상기 실린더의 원주 측면부위와 곡률반경이 동일한 호상(弧狀)단면갖는실리콘 단결정 성장장치용 열절연 실린더. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 판상부재가 종방향을 따라서 양분시킨 튜브구성되는실리콘 단결정 성장장치용 열절연 실린더. [청구항 4] 제1항 내지 제3항중 어느 하나에 있어서,상기 열절연물질이 실리콘 카바이드제조되는실리콘단결정 성장장치용 열절연 실린더. [청구항 5] 제1항 내지 제3항중 어느 하나에 있어서,상기 열절연물질이 탄소제조되는실리콘 단결정 성장장치용 열절연실린더. [청구항 6] 용융실기콘물질이 담기는 도가니 상기 도가니 내의 실리콘물질을 가열하기 위하여 이 도가니를 둘러싸도록 배치된 환상 가열기 열절연 물질로 제조되고 측면모서리에서 서로 연결되며 실린더 형상으로 조립되어 상기 가열기를 둘러싸도록 배치되는 다수의 판상 부재로 구성되는 실리콘 단결정 성장장치 [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 판상부재가 상기 실린더의 원주 측면부위와 곡률반경이 동일한 호상(弧狀)단면갖는실리콘 단결정 성장장치. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 판상부재가 종방향을 따라서 양분시킨 튜브구성되는실리콘 단결정 성장장치. [청구항 9] 제6항 내지 제8항중 어느 하나에 있어서,상기 열절연물질이 실리콘 카바이드제조되는실리콘 단결정 성장장치. [청구항 10] 제6항 내지 제8항중 어느 하나에 있어서,상기 열절연물질이 탄소제조되는실리콘 단결정 성장장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,다수의 관상부재가 2중벽 실린더 형상조립된실리콘 단결정 성장장치용 열절연실린더. [청구항 13] 제11항 또는 제12항에 있어서,세라믹 섬유가 관상부재의 중공부분충전되는실리콘 단결정 성장장치용 열절연실린더. [청구항 14] 제11항 또는 제12항에 있어서,상기 열절연물질이 석영유리, 알루미나, 실리콘 카바이드 및 탄소로 구성되는 군선정되는실리콘 단결정 성장장치용 열절연실린더. [청구항 15] 용융실리콘 물질이 담기는 도가니 상기 도가니 내의 실리콘 물질을 가열하기 위하여 상기 도가니를 둘러싸도록 배치된 환상 가열기 열절연물질로 제조되고 그 원주측면에서 서로 접촉되어 실린더 형상으로 조립되며 상기 가열기를 둘러싸도록 배치되는 다수의 관상부재로 구성되는 실리콘 단결정 성장장치 [청구항 16] 제15항에 있어서,다수의 상기 관상부재가 2중벽 실린더 형상조립된실리콘 단결정 성장장치. [청구항 17] 제15항에 또는 16항에 있어서,세라믹 섬유가 관상부재의 중공부분충전되는실리콘 단결정 성장장치. [청구항 18] 제15항 또는 16항에 있어서,상기 열절연물질이 석영유리, 알루미나, 실리콘 카바이드 및 탄소로 구성되는 군선정되는실리콘 단결정 성장장치용 열절연실린더. [청구항 24] 용융실리콘물질이 담기는 도가니 상기 도가니내의 실리콘 물질을 가열하기 위하여 상기 도가니를 둘러싸도록 배치된 환상 가열기 실린더 형상으로 권취된 탄소섬유를 성형시켜서 제조되고 상기 가열기를 둘러싸도록 배치되는 복합탄소재로 구성되는 실리콘 단결정 성장장치 [청구항 26] 용융실리콘물질이 담기는 도가니 상기 도가니내의 실리콘 물질을 가열하기 위해 상기 도가니를 둘러싸도록 배치된 환상가열기 다중층 실린더형으로 권취되어 상기 가열기를 둘러싸도록 배치된 탄소섬유제의 실린더형 부재 상기 실린더형 부재의 내측 표면과 밀접되는 1개이상의 권취탄소섬유제의 실린더형 복합 탄소재로서 구성되는 실리콘 단결정 성장장치