플라즈마 장치 document_id 1019870015216

[청구항 2] 제1항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는 전기한 재치대(5)에 대하여 전기한 플라즈마인출창(ld)과반대측배설되어있는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,전기한 자계생성기는 전기한 시료(100)와 전기한 재치대(5)와의사이배설되어있는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는 전기한 시료실(3)의외부배설되어있는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는원통형의자성체포함하고있는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,전기한 자성체(6)의 외경은 전기한 시료(100)의 직경과 거의 같든가 또는 이것보다 큰것특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 7] 제5항에 있어서,전기한 자성체(6)의 주위에는코일배설되어있는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,전기한 코일은 전기한 자성체(6)의주위있는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는원통형영구자석인것을특징으로 하는플라즈마장치 [청구항 10] 제1항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는 시료둘레가장자리부의 자속밀도와 시료중앙부의 자속밀도를 각독립적조절하는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는 전기한 여자코일(4)에 의하여 형성되는 자계와 같은방향의자계및반대방향의자계생성하는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 12] 제10항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는 2개의 원통형(8)(9)의자성체포함하고있는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,전기한 2개의 자성체(8)(9)는 서로 동심상으로 배설되고 그직경상이한것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 14] 제12항에 있어서,전기한 2개의 자성체(8)(9)의 주위에는코일배설되어있는것을특징으로 하는플라즈마 장치. [청구항 15] 제10항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는 주위에 코일이 배설되고 중앙부가 두꺼운 대략 원기둥형의 자성체(18)와 그 자성체의 지름보다 그 내경이 크고 주위에 코일이 배설된원통형의자성체갖는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 16] 제10항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는 그 편면중앙에 원기둥형부(23c)를, 그 편면둘레가장자리부 가까이에는 편면중앙을 중심으로 하는 원통형부(28d)를 배설하고 있고, 그 원통형부(28d)주위에 코일이 배설되어 있는 원판형의 자성체와 그 자성체의 외경보다 그의 내경이 크고 주위에 코일이 배설된원통형의자성체갖는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 17] 제10항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는2개의원통형영구자석인것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 18] 제1항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는 원통형의 자성체의 안, 바깥둘레에 코일이 일체적으로 배치되었고, 축방향이 전기한 시료(100)의 두께방향과 일치하도록배설되어있는것을특징으로 하는프라즈마장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는 전기한 재치대(5)에 대하여 전기한 플라즈마인출창(ld)과 반대측에 배설있고, 전기한 자성체(6)의 외경은 전기한 재치대(5)의 지름과 거의 같은 것특징으로 하는플라즈마 장치. [청구항 20] 제18항에 있어서,전기한 자성체(6)의 시료(100)와 반대측의 부분이 지름축소되고 이축경부에 전기한코일배치되어있는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 21] 제18항에 있어서,전기한 자성체(6)의 시료(100)와 반대측의 부분이 지름확대되고 이 확경부에 전기한코일배치되어있는것을특징으로 하는플라즈마 장치. [청구항 22] 제18항에 있어서,전기한 자성체(6)의 시료(100)와 반대측의 끝부분에 지름축소방향 및 지름확대방향에장출부부설되어있는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 23] 제1항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는영구자석과자성체조합하여이루어진것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 24] 제23항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는 중심에 봉형의 자성체가, 이것과 동심상에 고리형의 자성체가 배설되고, 봉형의 자성체와 고리형의 자성체와의 사이의 공간안에복수의영구자석배설되어있는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 25] 제24항에 있어서,전기한 고리형의 자성체와 동심상에 별도의 고리형의 자성체가 배설되고, 이 고리형의 자성체는 재치대(5)에 대하여 원근하는 방향으로이동가능한것을특징으로 하는플라즈마 장치. [청구항 26] 제24항에 있어서,전기한 복수의 영구자석(6f)은 봉자석이고, 각 봉자석은 한쪽극을 중심측에, 다른쪽극을 둘레가장자리부측에 위치시켜서방사상배설되어있는것을특징으로 하는플라즈마장치. [청구항 27] 제23항에 있어서,전기한 자계생성기(6)는 원반형의 자성체상의 중심부에 한쪽의 극을 재치대측으로 하여 봉형의 영구자석(26d)이, 또 이것과 동심상에 다른쪽의 극을 재치대측으로 하여고리형의영구자석배설되어있는것을특징으로 하는플라즈마 장치