문맥 (context)
[청구항 1]
가요성 테이프형 구조물 : 가요성 테이프형 구조물에 부착된 다이의 한쪽표면에 형성된 ic
및 테이프형 구조물의 전기 접촉점에 리이드와이어를 본딩하는 동안 테이프형 구조물을 고정된 위치에서 유지시켜 주는 진공장치로 이루어진 것을 특징으로 하는 ic장치의 리이드와이어의 본딩장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,리이드 선을 일정한 위치에서 정확하게 본딩하기 위하여 리이드 와이러를 접촉점에 접합시키는본딩기구포함하는것을특징으로 하는본딩장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,진공장치가 진공 처크 및 테이프를 고정된 위치에서 유지하기 위하여 처크의 한쪽 표면에 있는다수진공 캐비티로이루어진것을특징으로 하는본딩장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,진공 처크가 중심 캐비티, 중심 캐비티를 둘러싸는 지지 셀프 및 셀프를 둘러싸는채널로된것을특징으로 하는본딩장치.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,중심캐비티 내에 설치되는지지포스트들포함하는것을특징으로 하는본딩장치.
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,지지 포스트이 상부표면, 지지 셀프 및 처크의 한쪽 표면이 동일한평면이루는것을특징으로 하는본딩장치.
[청구항 7]
제 3 항에 있어서,진공 처크와 열교환을 위해 설치된히터포함하는것을특징으로 하는본딩장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,진공장치는 진공 처크에 연결된 진공 소오스를 포함하며, 진공 소오스는 본딩 공정동안 약 22in.hg의 부분 진공을 제공하도록있는것을특징으로 하는장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,본딩기구를 제어하는 마이크로컴퓨터포함하는것을특징으로 하는장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
IC장치의 리이드와이어 본딩 시 테이프형 구조물을 고정된 위치에서 유지하기 위해 사용되는 진공장치의 구성 요소와 그 구체적인 구조는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretationIC장치의 테이프형 구조물을 고정하기 위한 진공장치의 구성 요소와 그 구체적인 구조를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3, 4, 5, 7, 8에서 진공장치와 관련된 구성 요소인 진공 처크, 진공 캐비티, 중심 캐비티, 지지 셀프, 채널, 지지 포스트, 히터, 진공 소오스를 추출한다.
- 진공장치가 진공 처크 및 테이프를 고정된 위치에서 유지하기 위하여 처크의 한쪽 표면에 있는다수진공 캐비티로이루어진것
- 진공 처크가 중심 캐비티, 중심 캐비티를 둘러싸는 지지 셀프 및 셀프를 둘러싸는채널로된것
- 중심캐비티 내에 설치되는지지포스트들
- 진공 처크와 열교환을 위해 설치된히터
- 진공 처크에 연결된 진공 소오스
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3근거 선택
evidence_selection진공장치의 구성과 구조를 설명하는 청구항 3, 4, 5, 7, 8의 핵심 구절을 선택한다.
- 진공 처크 및 테이프를 고정된 위치에서 유지하기 위하여 처크의 한쪽 표면에 있는다수진공 캐비티로이루어진것, 진공 처크가 중심 캐비티, 중심 캐비티를 둘러싸는 지지 셀프 및 셀프를 둘러싸는채널로된것, 중심캐비티 내에 설치되는지지포스트들, 진공 처크와 열교환을 위해 설치된히터, 진공 처크에 연결된 진공 소오스
- 진공장치가 진공 처크 및 테이프를 고정된 위치에서 유지하기 위하여 처크의 한쪽 표면에 있는다수진공 캐비티로이루어진것
- 진공 처크가 중심 캐비티, 중심 캐비티를 둘러싸는 지지 셀프 및 셀프를 둘러싸는채널로된것
- 중심캐비티 내에 설치되는지지포스트들
- 진공 처크와 열교환을 위해 설치된히터
- 진공 처크에 연결된 진공 소오스
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4논리 통합
logical_integration진공장치는 진공 처크, 히터, 진공 소오스로 구성되며, 진공 처크는 다수의 진공 캐비티를 포함하고, 그 구조는 중심 캐비티, 지지 셀프, 채널로 이루어지며 중심 캐비티 내에는 지지 포스트가 설치된다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 진공장치의 구성 요소와 구조를 체계적으로 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 리스트 형식의 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
- 진공장치 구성 요소 및 구조:
1. 진공 처크: 한쪽 표면에 다수의 진공 캐비티가 형성되어 있으며, 중심 캐비티, 중심 캐비티를 둘러싸는 지지 셀프, 그리고 셀프를 둘러싸는 채널로 구성됨
2. 지지 포스트: 중심 캐비티 내에 설치됨
3. 히터: 진공 처크와 열교환을 위해 설치됨
4. 진공 소오스: 진공 처크에 연결되어 부분 진공을 제공함
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 IC장치의 리이드 와이어 본딩 공정 중 테이프형 구조물을 안정적으로 고정하기 위해, 다수의 진공 캐비티와 특정 계층적 구조(중심 캐비티, 지지 셀프, 채널)를 갖춘 진공장치를 제공하는 기술이다.