회전이동장치 document_id 1019880009538

[청구항 2] 제1항에 있어서,피반송물이 웨이퍼 시험용의 고주파 시험헤드인회전이동기구. [청구항 3] 제1항에 있어서,의 가동링크가 4마디 크랭크 체인의 윗쪽형성되어 있는회전이동기구. [청구항 4] 제1항에 있어서,라이드 수단이 실린더기구인회전이동기구. [청구항 5] 제4항에 있어서,실린더 기구가 복동식 실린더있는회전이동기구. [청구항 6] 제1항에 있어서,실린더 기구가 4마디 크랭크 체인을 통하여 실린더 기구에 도입하는 부하에 따라서 실린더 기구의 작동유체의 압력을 정적으로 제어하는 수단갖는회전이동기구. [청구항 7] 제4항에 있어서,압력제어 수단이, 전자밸브, 압력센서, 레귤레이터 및 릴리프 밸브갖는회전이동기구. [청구항 8] 제4항에 있어서,실린더 기구의 작동 유체가공기인회전이동기구. [청구항 9] 제4항에 있어서,실린더 기구의 작동 유체가기름인회전이동기구. [청구항 10] 제4항에 있어서,실린더 기구를 수평 방향으로 지지 안내하는 수단이, 실린더의 피스톤 로드에 착설된 로울러와, 로울러주행하기 위한가이드 레일과를 가지고 았는 회전이동기구. [청구항 11] 제5항에 있어서,복동식 실린더 기구을 수평방향으로 지지 안내하는 수단이, 실린더에 착설된 리니어 가이드와, 리니어 가이드를 슬라이드 시키기 위한 가이드 레일과있는회전이동기구. [청구항 12] 제1항에 있어서,4마디 크랭크체인의 고정링크에 타이밍벨트를 착설하고, 고정링크와를 연결하는 피버트착설축의 래치트휘일에 타이밍 벨트있는회전이동기구. [청구항 13] 제12항에 있어서,피버트착설축의 래치트 휘일에 록크 기구형성되어 있는회전이동기구. [청구항 14] 제1항에 있어서,의 가동 링크가 고정링크보다 높은 위치형성되어 있는회전이동기구. [청구항 15] 제1항에 있어서,의 가동 링크가 고정링크보다 낮은 위치형성되어 있는회전이동기구. [청구항 16] 웨이퍼 카세트 레이블과; 메인 처크위에 웨이퍼를 형성하고 또한 메인 처크에 웨이퍼를 반송하는 카세트의 외부로 웨이퍼를 수용하는 수단과 메인 처크위에 웨이퍼의 위치를 자동적으로 조정하는 수단과 메인 처크위에 착설된 웨이퍼 내의 칩패드와 맞닿도록 하는 프로우브 를 구성하는 프로우브 카아드와 프로우브와 전기 테스터와의 사이에서 전송하는 허락신호를 위한 프로우브를 구성하는 프로우브 전기적으로 접속된 시험헤드와 시험헤드를 회전 이동하는 상기 기구와를 구비하고 피 반송물을 지지하기 위하여 실질적으로 수직면내에 배열된 4마디 크랭크 체인과 4마디 크랭크 체인의 고정링크에 대하는 면에 맞닿는 제1의 이동링크에 연결된 슬라이드 수단과, 수직방향으로 제1의 이동링크를 슬라이드안내하는 상기 슬라이드 수단과 수평방향으로 슬라이드 수단을 지지하여 안내하는 수단과, 제1의 이동링크가 수직적으로 슬라이드 될때에 피반송물이 수직면내에서 제2의 이동링크와 함께 회전 이동하도록 상기 4마디 크랭크 체인의 고정링크의 인접면에 대응하여 제2의 이동 링크가 착설되어 있는 피반송물로 이루어지는 웨이퍼 프로우빙 장치