문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,트레이부(21d),(21e),(21f) 및 틀체부(21a),(21b),(21c)가, 동일 중심원 형상으로 단계적형성되어 있는매엽식 캐리어.
[청구항 3]
제1항에 있어서,피처리체를 빼내는 용으이 홈(22)이, 트레이부(21d),(21e),(21f)의 중앙영역까지 절결되어 있는매엽식 캐리어.
[청구항 4]
제1항에 있어서,피처리체를 빼내는 용의 홈(22)의 바닥면이, 트레이부(21d),(21e),(21f)의 피처리 체의 얹어 놓는 면보다도 낮은 레벨위치하는매엽식 케리어.
[청구항 5]
제1항에 있어서,트레이부(21d),(21e),(21f)의 뒤쪽에 위치 맞춤수단있는매엽식 캐리어.
[청구항 7]
제6항에 있어서,샘플링 케이스(20a)의 제1의 개구(24a) 및 제2의 개구있는매엽식 캐리어의 출입장치.
[청구항 8]
제6항에 있어서,시에 인출판(29)이, 샘플링 케이스(20a)내에 착설된 스톱퍼(32)에 맞닿게 하여, 케이스(20a)내의소정위치정지하도록있는매엽식 캐리어의 출입 장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,스톱퍼(32)가, 보올캐치인매엽식 캐리어의 출입 장치.
[청구항 10]
제8항에 있어서,스톱퍼(32)가, 인출판(29)과의 맞닿는 위치는 변경하는 위치 조절 기능갖는매엽식 캐리어의 출입 장치.
[청구항 11]
제6항에 있어서,엽식 캐리어(21)가, 트레이부(21d),(21e),(21f)의 뒷쪽에 위치 맞춤 수단있는매엽식 캐리어의 출입 장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,인출판(29)의 상부핀(33)이, 캐리어(21)의 트레이 뒷쪽의 테이퍼 구멍(35)에 끼워넣고, 캐리어(21)가 인출판(29)에 대하여소정위치고정되도록있는매엽식 캐리어의 출입 장치.
[청구항 13]
제11항에 있어서,인출판(29)을 안내하는 수단이, 먼지를 발생하기 어려운 가이드 로울러갖는매엽식 캐리어의 출입 장치.
[청구항 14]
제13항에 있어서,인출판(29)을 두께 방향에서 사이에 두는 상하 한쌍의 가이드 로울러(26),(27)와, 인출판(29)을 폭방향에서 사이에 두는 상하 한쌍의 가이드 로울러있는매엽식 캐리어의 출입 장치.
[청구항 15]
제13항에 있어서,인출판(29)의 뒷면에 요입부(29a)를 형성하고, 케이스(20a)내에 착설된 코일 스프링(37b)으로 힘이 가해지게 된 가이드 로울러(26)가 요입부(38)에 까워있는매엽식 캐리어의 출입 장치.
[청구항 16]
제6항에 있어서,인출판(29)의 안쪽에 스톱퍼(32)를 착설하고, 인출판(29)을 인출하였을때에 스톱퍼(32)가 케이스(20a)의 일부에 걸리고, 인출판(29)이 인출된위치정지하도록있는매엽식 캐리이의 출입 장치.
[청구항 17]
제6항에 있어서,인출판(29)의 가까운 쪽에, 매뉴얼 조작용의 손잡이로서의 긴홈형성되어 있는매엽식 캐리어의 출입 장치.
[청구항 18]
제6항에 있어서,인출판(29)의 가까운 쪽을 단면이 l자형으로 절곡되게 형성하고, 인출판(29)을 케이스(20a)에 밀어 넣을시에 l자형 절곡부에 의하여 케이스(20a)의 제1의 개구있는매엽식 캐리어의 출입 장치.
[청구항 19]
다수개의 프로우브침을 반도체 웨이퍼(16)의 디바이스 회로의 전극에 접촉시키고, 디바이스회로에 시험적으로 통전을 테스트하는 테스트부와, 테스트부에 인접하여 형성되고, 반도체 웨이퍼(16)를 테스트부에 받아 들이는 로우더/언로우더부와, 반도체 웨이퍼(16)를 로우더/언로우더부 및 테스트부 사이에서 이송하는 수단과, 를 갖고, 상기 로우더/언로우더부에 착설되고, 로우더/언로우더부의 외부에 연이어통하는 제1의 개구(24a) 및 로우더/언로우더부의 내부에 연이어통하는 제2의 개구(24b)가 각각 형성된 샘플링 케이스(20a)와, 제1의 개구(24a)를 개재하여 샘플링 케이스(20a)내에 출입하도록 형성된 인출판(29)과, 샘플링 케이스(20a)의 제1의 개구(24a) 및 제2의 개구(24b)사이에서 인출판(29)을 안내하는 수단과, 인출판(29)위에 얹어지고, 반도체 웨이퍼(16)를 1매만 보호지지하는 매엽식 캐리어(21)와, 를 갖고, 상기 매엽식 캐리어(21)가, 대전하기 어려운 재료로 만들어지고, 반도체 웨이퍼(16)를 얹어 놓기 위한 트레이부(21d),(21e),(21f)와, 트레이부(21d),(21e),(21f)위의 반도체 웨이퍼(16)를 에워싸도록 형성된 틀체부(21a),(21b),(21c)와를 가지며, 상기 트레이부(21d),(21e),(21f) 및 틀체부(21a),(21b,(21c)의 일부가 절결되어, 피처리체를 빼내는 용의 홈(22)이 형성되어 있고, 매엽식 캐리어(21)와 함께 반도체 웨이퍼(16)를 제1의 개구(24a)로부터 샘플링 케이스(20a)내에 삽입하면, 반도체 웨이퍼(16)만이 제2의 개구(24b)를 개재하여 로우더/언로우더부에 반입되도록 되어 있는 매엽식 캐리어의 출입 장치를 갖는 웨이퍼 프로우빙 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
매엽식 캐리어의 출입 장치에서 인출판(29)의 상부핀(33)과 캐리어(21)의 구성 요소 간의 결합을 통해 인출판이 캐리어에 대해 소정 위치에 고정되는 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation인출판(29)의 상부핀(33)과 캐리어(21) 구성 요소 간의 결합을 통해 인출판이 소정 위치에 고정되는 구체적인 방식을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 12에서 인출판(29)의 상부핀(33)과 캐리어(21)의 테이퍼 구멍(35)에 관한 기술적 내용을 추출한다.
- 인출판(29)의 상부핀(33)이, 캐리어(21)의 트레이 뒷쪽의 테이퍼 구멍(35)에 끼워넣고, 캐리어(21)가 인출판(29)에 대하여소정위치고정되도록있는매엽식 캐리어의 출입 장치
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3근거 선택
evidence_selection상부핀이 테이퍼 구멍에 끼워짐으로써 고정된다는 직접적인 문구를 선택한다.
- 인출판(29)의 상부핀(33)이, 캐리어(21)의 트레이 뒷쪽의 테이퍼 구멍(35)에 끼워넣고, 캐리어(21)가 인출판(29)에 대하여 소정위치고정되도록
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4논리 통합
logical_integration상부핀(33)이 캐리어(21)의 트레이 뒷쪽에 위치한 테이퍼 구멍(35)에 끼워지는 결합 구조를 통해 소정 위치에 고정됨을 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation인출판의 상부핀이 캐리어의 테이퍼 구멍에 끼워짐으로써 고정된다는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
인출판(29)의 상부핀(33)이 캐리어(21)의 트레이 뒷쪽의 테이퍼 구멍(35)에 끼워넣어짐으로써, 캐리어(21)가 인출판(29)에 대하여 소정 위치에 고정된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
인출판의 상부핀과 캐리어의 테이퍼 구멍 간의 끼움 결합을 통해 인출판과 캐리어 사이의 상대적인 위치를 정밀하게 고정하는 기술이다.