문맥 (context)
[청구항 10]
제9항에 있어서,식별부 검출수단이, 보우트(40)를 제2스테이지(13)에 얹어 놓은 경우에 보우트(40)의 식별부에 의하여 밀어내리는 부재를 갖고, 이 부재가 상기 제어수단에 전기적접속되어 있는웨이퍼 이동교체 장치.
[청구항 11]
제9항에 있어서,로우딩 수단이, 웨이퍼(45)를 카세트(46a∼46d)의 윗쪽으로 돌출되는 실린더기구 (27),(30)와, 돌출된 웨이퍼(45)를 사이에 두고 지지하고 해제하는 처크기구(31)와, 처크기구(31)를 보우트 (40)의 길이방향으로 이동시키는 x축 구동기구와, 를있는웨이퍼 이동교체 장치.
[청구항 12]
제9항에 있어서,의 스테이지(12) 및 제2의 스테이지(13)가, 보우트(40)의 길이방향에 직렬있는웨이퍼 이동교체 장치.
[청구항 13]
제9항에 있어서,제어수단이, 매뉴얼 조작에 의하여 보우트(40)의 각종 정보를 입력할 수 있는 키이보오드를 갖는 컴퓨터시스템인웨이퍼 이동교체 장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,지지판(41a),(41b)의 각각에 손잡이형성되어 있는웨이퍼 열처리용 보우트.
[청구항 16]
제14항에 있어서,식별부재가, 한쪽의 손잡이착설되어 있는웨이퍼 열처리용 보우트.
[청구항 17]
제14항에 있어서,식별부재가, 한쪽의 지지판착설되어 있는웨이퍼 열처리용 보우트.
[청구항 18]
제14항에 있어서,식별부재가,로드부재브리지된보강부재인웨이퍼 열처리용 보우트.
[청구항 19]
제14항에 있어서,식별부재가, 보우트(40) 전체를 지지하는 다리부재인웨이퍼 열처리용 보우트.
[청구항 20]
제14항에 있어서,식별부재가, 한쪽의 지지판의 구멍지는핀인 웨이퍼 열처리용 보우트.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
웨이퍼 이동교체 장치에서 로딩 수단이 웨이퍼를 카세트 위로 돌출시키고 이를 지지 및 해제하기 위해 포함하는 기구들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation웨이퍼 이동교체 장치의 로딩 수단이 웨이퍼를 카세트 위로 돌출시키고 지지 및 해제하기 위해 포함하는 구체적인 기구들을 찾는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 11에서 로딩 수단과 관련된 구성 요소들을 추출한다.
- 로우딩 수단이, 웨이퍼(45)를 카세트(46a∼46d)의 윗쪽으로 돌출되는 실린더기구 (27),(30)와, 돌출된 웨이퍼(45)를 사이에 두고 지지하고 해제하는 처크기구(31)와, 처크기구(31)를 보우트 (40)의 길이방향으로 이동시키는 x축 구동기구와, 를있는
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '돌출', '지지 및 해제' 기능과 직접적으로 연결된 기구들을 선택한다.
- 웨이퍼(45)를 카세트(46a∼46d)의 윗쪽으로 돌출되는 실린더기구 (27),(30)와, 돌출된 웨이퍼(45)를 사이에 두고 지지하고 해제하는 처크기구(31)
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4논리 통합
logical_integration추출된 실린더기구(27, 30)는 돌출 기능을 담당하고, 처크기구(31)는 지지 및 해제 기능을 담당함을 확인하여 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation로딩 수단에 포함된 기구는 실린더기구(27, 30)와 처크기구(31)임을 결론짓는다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변을 리스트 형식으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
실린더기구 (27), (30), 처크기구 (31)
핵심 해석 (core_interpretation)
웨이퍼 이동교체 장치의 로딩 수단은 실린더기구를 통해 웨이퍼를 카세트 위로 돌출시키고, 처크기구를 통해 돌출된 웨이퍼를 지지하거나 해제하는 구조를 갖는다.