반응성 이온 비임 에칭 또는 플라즈마 부착장치를 위한 입자원 document_id 1019890000773

[청구항 2] 제1항에 있어서,자기장 발생기(32, 33)는 중공체(90)로 완전히 둘러싸여있는것을특징으로 하는입자원. [청구항 3] 제1항에 있어서,중공체(90)로부터 떨어져서 면하는 자기장 발생기(32, 33)의 극은 강자성요오크(34)를 통해서로연결되어있는것을특징으로 하는입자원. [청구항 4] 제1항에 있어서,플레어드방사기(29)는원추형호온방사기인것을특징으로 하는입자원. [청구항 5] 제1항에 있어서,플레어드방사기는피라미드형호온방사기인것을특징으로 하는입자원. [청구항 6] 제1항에 있어서,플레이드방사기(29)와 중공체(90)간의 전위분리를 위해절연층제공되는것을특징으로 하는입자원. [청구항 7] 제1항에 있어서,자기장 발생기의 자기장의 강도는전자사이클로트론공진전개되도록하는것을특징으로 하는입자원. [청구항 8] 제1항에 있어서,자기장 발행기는 하나가 다른 하나의 위에 구성되고 용기(26)의 주변을 둘러싸는 적어도 2개의 영구자석(32, 33)을 함유하며, 용기(26)를 향하는 한 영구자석(32)의 극은 북극인 한편, 용기(26)를 향한 다른 영구자석(33)의 극은 남극이며 두 영구자석(32, 33)의 자력선은 전자가속수행하는것을특징으로 하는입자원. [청구항 9] 제1항에 있어서,용기(26)의 상면(27)에 용기(26)로 투사하는 환상자기장(69)을 발생시키는추가의자석제공되는것을특징으로 하는입자원. [청구항 10] 제1항에 있어서,용기(26)는 원통형코일(=솔레노이드)의 방식으로 형성된 전자석(36)에 의해추가로둘러싸이는것을특징으로 하는입자원. [청구항 11] 제1항에 있어서,용기(26)의 개구에서 용기(26)에 위치된 입자의 조절된 추출을 위한 적어도 한배열제공되는것을특징으로 하는입자원. [청구항 12] 제1항에 있어서,플레어드방사기(29)는 비강자성물질의 전기전도성 중공체(90)와 전기전도성으로 연결되며 이 중공체(90)는 냉각성 지지체(41)를 전기절연되어인접하는것을특징으로 하는입자원. [청구항 13] 제11항에 있어서,용기(26)에 위치된 입자의 조절된 추출을 위한 배열(4)은 냉각성 지지체(41, 42, 43)상에 배열되는 3개의 제어그릿(38, 39, 40)을 가지며 이들 지지체(41, 42, 43)는 냉각제가 통해 흐르는 중공체형성되는것을특징으로 하는입자원. [청구항 14] 제13항에 있어서,지지체(41)는 용기(26)로 기체가 통해 흐르는기체입구갖는것을특징으로 하는입자원. [청구항 15] 제1항에 있어서,자기장 발생기는 북극과 남극이 용기(26)의 내부를 향해있는말굽자석인것을특징으로 하는입자원. [청구항 16] 제1항에 있어서,용기(26)의 개구에서 연속해서 하나뒤에 다른 하나가 배열된 3개의제어그릿(38, 39, 40)이 제공되며 양이온을 추출하기 위한 유효가속전압의 발생을 위해 플라즈마에 가장 가까운 그릿(38)은 양의 전위에 있으며 중심그릿(39)은 음의 전위에 있고 플라즈마로부터 가장 멀리 이동된 그릿(40)은제로전위에있는것을특징으로 하는입자원. [청구항 17] 제1항에 있어서,용기(26)의 개구에서 하나뒤에 다른 하나가 배열된 3개의 제어그릿(38, 39, 40)이 제공되고 전자와 음이온을 추출하기 위한 유효가속전압의 발생을 위해 플라즈마에 가장 가까운 그릿(38)은 음의 전위에 있고, 중심그릿(39)은 양의 전위에 있으며, 플라즈마로부터 가장 멀리 이동된 그릿(40)은제로전위에있는것을특징으로 하는입자원. [청구항 18] 제1항에 있어서,용기(26)의 개구에서 하나뒤에 다른 하나가 배열된 3개의 제어그릿(38, 39, 40)이 제공되고 중성입자의 추출을 위한 유효가속전압의 발생을 위해 플라즈마에 가장 가까운 그릿(38)은 양의 전위에 있고, 중심 그릿(39)은 음의 전위에 있으며, 플라즈마로부터 가장 멀리 이동돈 그릿(40)은양전위에있는것을특징으로 하는입자원. [청구항 19] 제1항에 있어서,용기(26)의 개구에서 적어도 한자기추출장치제공되는것을특징으로 하는입자원. [청구항 20] 제1항에 있어서,용기(26)내의 압력범위는 10-3mbar와수십사이인것을특징으로 하는입자원.