주위 전자 주사 현미경용 대물렌즈 조립체 document_id 1019890001963

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 구멍 수단들은 상기 격막의 중앙 개구부내에 제거가능하게 장착되고 밀봉될 수 있는 구멍 지지체내에 있는대물렌즈 조립체. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 구멍 지지체는 대물렌즈 조립체의 아래부분안에 나사결합수용되는대물렌즈 조립체. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 2개의 진공실들에는 다른 압력들로 기체있는대물렌즈 조립체. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 2개의 비자성 환형 격막들 사이에 저압 진공실위치되는대물렌즈 조립체. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 비자성 격막들중 하나와 최종 자성 격막사이에 고압 진공실위치되는대물렌즈 조립체. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 구멍 수단들은 상기 격막들의 중앙 개구부들내에 제거가능하게 장착되고 밀봉될 수 있는 구멍 지지체내에 있는대물렌즈 조립체. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 구멍 지지체는 대물렌즈 조립체의 아래부분내에 나사결합수용되는대물렌즈 조립체. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 중간 및 하부 구멍 수단들은 상기 중간 및 하부 격막들의 중앙 개구부들내에 제거 가능하게 수용되어 밀봉되는 구멍 지지체내에 있는대물렌즈 조립체. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 구멍 지지체는 상기 환형 하부 격막내에 나사결합수용되는대물렌즈 조립체. [청구항 14] 제11항에 있어서,상기 중간 수단이 직경인대물렌즈 조립체. [청구항 15] 제11항에 있어서,상기 하부 구멍 수단의 직경은인대물렌즈 조립체. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 절연 수단은 상기 주몸체 하단부의 요홈부내에 수용되는 부싱이며, 상기 검출기는 상기 절연 부싱내에 수용되어 보유되는 보유 수단들금속판인구멍 지지체와 전자 검출기 조합체. [청구항 19] 제17항에 있어서,상기 절연 수단은 바람직하게 델린지는구멍 지지체와 전자 검출기 조합체. [청구항 20] 제17항에 있어서,상기 절연 수단은 바람직하게 테프론지는구멍 지지체와 전자 검출기 조합체. [청구항 21] 제17항에 있어서,상기 절연 수단에는 입구 개구부와 출구 개구부가 있으며, 상기 입구 개구부는 상기 도관내보유되는구멍 지지체와 전자 검출기 조합체. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 전자 검출기에는 기부 부분과 스템부분이 있으며, 상기 스템 부분은상기절연수단의출구 개구부내수용되어보유되는구멍 지지체와 전자 검출기 조합체. [청구항 26] 제25항에 있어서,상기 검출기에 의해 검출된 정보를 기록하는 수단이 있는 것특징으로 하는주위 전자 주사 현미경. [청구항 27] 제25항에 있어서,상기 기록 수단에는 상기 검출 수단에 수집된 전류를 받는 전류 증폭기가 있으며, 상기 전류 증폭기는 검출기 바이어스 전압에서 부동하며 접지된 비디오 회로들에최대대역폭접속되는것을특징으로 하는주위 전자 주사 현미경. [청구항 29] 제28항에 있어서,상기 구멍 지지체는 최종 격막에제거가능하게고정되는대물렌즈 조립체.