이온 비임 처리 시스템의 작업편 병진 이동장치 document_id 1019890006607

[청구항 2] 제1항에 있어서,각각의 작업편 장착 지점은 일반적으로 평탄한 작업편 장착면을 포함하고 있고, 상기 주사축은 이온 비임을 차단하는 작업면을 포함하고 있고, 상기 주사축은 이온 비임을 차단하는 작업편 장착 지점들중 하나의 작업편 장착면에 거의 수직인 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 진공 외피는 접근 도어를 포함하고 있고, 상기 장치는 상기 주사 구동 수단, 상기 주사 아암 수단, 상기 디스크 구동 수단 및 상기 디스크가 상기 접근 도어에 의해 지지될 수 있게 주사 구동 수단을 장착하도록 상기 접근 도어에 부착된 주사 지지수단을 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 4] 제3항폐쇄 작동 위치와 개방 접근 위치로 그리고 이들 위치 사이로 상기 접근 도어를 운반하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 운반 수단은 한쌍의 레일들을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 디스크 구동 수단은 상기 디스크 회전축상에 위치되어 상기 주사 아암 수단에 의해 지지된 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 디스크 구동 하우징의 내부가 대기압으로 유지되고 상기 진공 챔버로부터 격리되도록, 상기 디스크 구동 수단은 디스크 구동 모터를 에워싸는 밀봉 디스크 구동 하우징을 포함하고 있고, 상기 주사 아암 수단은 상기 하우징의 내부를 외부 대기와 연결시키는 중공부를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 8] 제3항에 있어서,상기 주사 구동 수단은 주사 구동 모터가 여기될때 주사 구동 수단과 상기 주사 아암 수단을 주사축 주위로 피봇되도록 하기 위해,상기 주사 아암 조립체에 연결된 주사 구동 하우징과, 상기 주사 지지 수단과 접촉한 한쪽 단부를 갖는 보올 스크류와 상기 주사 구동 하우징에서의 회전 이동을 위해 장착된 너트를 포함하고 상기 주사 구동 하우징상에 장착되는 보올 스크류 조립체와,너트를 보올 스크류상에 전진시키도록 너트에 접속된 주사 구동 모터를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 주사 지지 수단은 상기 보올 스크류의 한 단부에 접촉하도록 장착된 롤러를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 이온 비임처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 10] 제3항에 있어서,상기 주사 구동 수단은 상기 주사 지지 수다과 상기 주사 구동 수단중의 하나와 접촉하는 한 단부를 갖는 보올 스크류와, 상기 주사 지지 수단과 상기 주사 구동 수단중의 다른 하나에 대해 회전 이동하도록 장착된 너트를 포함하고 있는 보올 스크류 조립체와,상기 주사 구동 모터가 여기될때, 상기 주사 구동 수단과 상기 아암 수단은 상기 주사축 주위에 피봇하도록, 상기 너트를 보올 스크류상으로 전진시키기 위해 상기 너트에 접속된 주사 구동 모터를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 11] 제3항에 있어서,상기 디스크 구동 수단은 상기 디스크 회전축상의 진공 챔버내에서 위치되어 상기 주사 아암 수단에 의해 지지되어 있고, 상기 주사 아암 수단은 상기 피봇축 상의 주사 아암 하우징과, 상기 주사 아암에 대하여 상기 피봇축 주위에서 회전하도록 주사 아암 하우징에 동축으로 장착되는 주사 아암을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 피봇 구동 수단은 피봇 구동 모터와, 상기 피봇 구동 모터가 여기될때 상기 주사 아암, 상기 디스크 구동 수단 및 상기 디스크가 상기 피봇축 주위로 피봇되도록 피봇 구동 모터를 주사 아암에 접속시키는 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 주사아암 수단은 상기 접근 도어의 개구를 통해 연장하고, 상기 개구는 상기 주사 아암 수단에 밀봉된 한쪽 단부를 갖는 벨로우로 밀봉된 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 14] 제3항에 있어서,각각의 작업편 장착 지점은 일반적으로 평면인 작업편 장착면을 포함하고 있고, 상기 주사축은 이온 비임을 차단하는 작업편 장착 지점들중 하나의 작업편 장착면에 거의 수직인 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 주사축에 거의 수직으로 상기 작업편 장착면을 유지시키면서 상기 작업편 장착면에 대해 개방하거나 대기와 연통시키지 않고 상기 피봇축을 중심으로 상기 주사 지지 수단을 회전시키는 주입각 조정 수단을 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 디스크 구동 수단은 상기 디스크 회전축상의 상기 진공 챔버내에 위치되어 상기 주사 아암 수단에 의해 지지되어 있고, 상기 주사 아암 수단은 피봇축 상의 주사 아암 하우징과 상기 주사 아암에 대하여 상기 피봇축 주위로 회전하도록 상기 주사 아암 하우징과 동축으로 장착된 주사 아암을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 디스크 회전축과 상기 주사축의 상대적인 정렬을 설정하기 위해, 상기 주사 아암에 방사상으로 장착된 정지 레버와, 상기 디스크 회전축과 상기 주사축이 바람직한 상대적인 방위를 가질 때 상기 정지 레버와 정지부가 서로 접촉하도록 상기 주사 구동 수단과 상기 주사 아암 하우징중의 하나에 장착된 정지부를 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 18] 제16항에 있어서,상기 로딩 및 언로딩(unloading) 위치에서 상기 디스크의 정렬을 설정하기 위해, 상기 디스크 구동 수단에 장착된 정지 레버와, 상기 디스크가 바람직한 로딩 및 언로딩 위치에 도달할 때 상기 정지 레버와 정지부가 서로 접촉하도록 상기 접근 도어에 장착되는 정지부를 포함하고 있는 정지 수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이온 비임 처리 시스템작업편병진 이동 장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 진공 외피는 접근 도어를 포함하고 있고, 상기 장치는 상기 주사 구동 수단, 주사 아암 수단, 디스크 구동 수단 및 디스크가 접근 도어에 의해 지지되도록 상기 주사 구동 수단을 장착하기 위해 상기 접근 도어에 부착된주사지지수단더포함하고있는것을특징으로 하는이온 주입 시스템의 웨이퍼 병진 이동 장치. [청구항 21] 제20항에 있어서,폐쇄 작동 위치와 개방 접근 위치에 그리고 이들 위치 사이에 상기 접근 도어를 운반하는수단포함하는것을특징으로 하는이온 주입 시스템의 웨이퍼 병진 이동 장치. [청구항 22] 제19항에 있어서,상기 디스크 구동 수단은 디스크 회전축상에 위치되어 상기 주사 아암 수단에 의해있는것을특징으로 하는이온 주입 시스템의 웨이퍼 병진 이동 장치. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 디스크 구동 하우징의 내부가 대기압으로 유지되고 상기 진공 챔버로부터 격리되도록, 상기 디스크 구동 수단은 디스크 구동 모터를 에워싸는 밀봉 디스크 구동 하우징을 포함하고 있고, 상기 주사 아암 수단은 상기 하우징의 내부를 외부 대기와 연통시키는 중공부포함하고있는것을특징으로 하는이온 주입 시스템의 웨이퍼 병진 이동 장치. [청구항 24] 제20항에 있어서,상기 주사 구동 수단은 주사 구동 모터가 여기될때 주사 구동 수단과 주사 아암 수단이 주사축 주위로 피봇되도록 하기 위해,상기 주사 지지 수단과 주사 구동 수단중 하나와 접촉하는 한단부를 갖는 보올 스크류와, 상기 주사 지지 수단과 상기 주사 구동 수단중 다른 하나에 회전 이동하도록 장착된 너트를 포함하고 있는 보울 스크류 조립체와,상기 너트를 보울 스크류상에 저진시키도록 상기 너트에 접속된주사구동모터구비하고있는것을특징으로 하는이온 주입 시스템의 웨이퍼 병진 이동 장치. [청구항 25] 제20항에 있어서,상기 주사축에 거의 수직으로 상기 웨이퍼 장착면을 유지시키면서 상기 웨이퍼 장착면에 대해 상기 이온 비임의 투사각이 변화되도록, 상기 진공 챔버를 개방하거나 연통시키지 않고 상기 주사 아암 수단의 종방향 축을 중심으로 상기 주사 지지수단을 회전시키는 주입각조정수단더포함하고있는것을특징으로 하는이온 주입 시스템의 웨이퍼 병진 이동 장치. [청구항 26] 제25항에 있어서,주입 위치와 로딩 및 언로딩 위치 그리고 이들 위치 사이에서 상기 종방향 축을 중심으로 상기 주사 아암 수단, 상기 디스크 구동 수단 및 상기 디스크를 피봇시키는피봇구동수단더구비하고있는것을특징으로 하는이온 주입 시스템의 웨이퍼 병진 이동 장치. [청구항 28] 제27항에 있어서,상기 주사축은 이온 비임을 차단하는웨이퍼장착지점들중하나의웨이퍼장착면거의수직인것을특징으로 하는이온 주입 시스템의 웨이퍼 병진 이동 장치. [청구항 29] 제27항에 있어서,상기 주사 구동 수단, 주사 아암 수단, 디스크 구동 수단 및 디스크를 지지하도록 상기 접근 도어에 부착된 주사 지지 수단을 더 포함하고 있고, 상기 진공 외피는접근도어포함하고있는것을특징으로 하는이온 주입 시스템의 웨이퍼 병진 이동 장치. [청구항 30] 제29항에 있어서,상기 주사아암 수단은 접근 도어 및 주사 지지 수단의 구멍들을 통해상기진공챔버속연장하는것을특징으로 하는이온 주입 시스템의 웨이퍼 병진 이동 장치. [청구항 31] 제30항에 있어서,상기 주입각 조정 수단은 상기 접근 도어에 대해 주사 지지 수단을 회전시키는수단포함하고있는것을특징으로 하는이온 주입 시스템의 웨이퍼 병진 이동 장치. [청구항 32] 제29항에 있어서,폐쇄 작동 위치와 개방 접근 위치 그리고 이들 위치 사이에 접근 도어를 운반하는수단포함하고있는것을특징으로 하는이온 주입 시스템의 웨이퍼 병진 이동 장치. [청구항 34] 제33항에 있어서,주입 위치와 로딩 및 언로딩 위치 그리고 이들 위치 사이에서 상기 디스크의 평면에 평행한 피봇축을 중심으로 하여 상기 주사 아암 수단, 디스크 구동 수단 및 디스크를 피봇시키는피봇구동수단더포함하는것을특징으로 하는이온 주입 시스템의 웨이퍼 병진 이동 장치. [청구항 35] 제33항에 있어서,상기 주사축은 이온 비임을 차단하는상기웨이퍼장착지점들중하나의웨이퍼장착면거의수직인것을특징으로 하는이온 주입 시스템의 웨이퍼 병진 이동 장치.