초음파 세정 장치 document_id 1019890009632

[청구항 2] 제1항에 있어서,쌍의 로울러 부재는 수평으로 평행하게 배열되어 있고 수직으로 서로 마주보게 배열되어 있는상하측로울러부재구비됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 협지력보강수단은 상기한 기판보다 실질적으로 더 많은 하중을 갖는 고체상태의 원형의 매끄러운 굴립부분을 가지는 상기한상측로울러부재구비됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 협지력보강수단은 상기한 상, 하측 로울러 부재의 각 단부에 결합된인장부재구비됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 5] 제2항에 있어서,쌍의 로울러부재는 상기 상.하측 로울러 부재의 양단부에 설치된 o링부재구비됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 6] 제2항에 있어서,상기 복수개쌍의 로울러부재는 상기 상하측 로울러부재의 양단부에 배설된 매끄러운벨트부재구비됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 7] 제2항에 있어서,상기 기판의 사행동작을 방지하기 위한 수단은 상기 로울러부재의 양단부에 배설된안내링부재구비됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 기판의 사행동작을 방지하기 위한 수단은 상기한 복수쌍의 로울러부재사이에 배열된안내로울러부재구비됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 제1저장수단은 이 제1저장수단의 내외로 상기한 기판을 이송하기 위한반입구와반출구구비됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 반입구와 반출구에는 셧터부재배설됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,부가하여 상기 셧터부재를 수직방향으로 움직이게 하기 위한 수단을 구비하고, 상기한 수직방향으로 움직이게 하는 수단은 상기 셧터부재의 양단부에 형성된 랙크부재와 회전하기 위하여 구동되어지는 동안 상기 랙크부재와 함께 맞물리도록 결합되어 있는피니언부재구비됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 제1저장수단은 하나의 밑벽을 가지며, 상기 초음파발생수단은 상기한밑벽의상하측표면중의한쪽배설됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 세정액을 순환시키기 위한순환수단을부가설치됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 순화수단은 상기 제1저장수단으로부터 상기 세정액을 수취하기 위하여 제1저장수단 아래에 배치되어 있는 액체수취수단과, 상기 액체수취수단과 접속되어진 제2저장수단과, 제2저장수단으로부터 상기한 세정액을 인출해내고 상기한 제1저장수단으로 동일 세정액을 공급하기 위하여 상기 제1저장수단과 제2저장수단에 접속되어 있는펌프수단구비됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 세정액의 불순물을 제거하고 온도를 조정하기위한 수단이부가설치됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 불순물제거와 온도조절을 위한 수단은 가열부재와 상기 제2저장수단안에 배설된 제1여과부재가 구비되고, 제2여과부재는 상기 펌프수단과 제1저장수단 사이에접속되게구성됨을특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기제1여과부재가 실질적으로 세정액으로부터 굵은 불순물을 제거하고, 상기 제2여과부재는 실질적으로 동일세정액으로부터 작은 불순물을 제거하기에 적합하도록 설치되어짐특징으로 하는초음파세정장치. [청구항 18] 제1항에 있어서,상기 기판상에 작용하는 힘은 상기 진동이나, 상기 세정액속에 담궈진 상기 기판에 인가되는 부력, 그리고 상기 세정액의 미끄러짐동작중의 어느 하나특징으로 하는초음파세정장치.