문맥 (context)
[청구항 21]
제20항에 있어서,상기 용융가능한 재료층이텅스텐또는티타늄텅스텐또는티타늄텅스텐포함하는것을특징으로 하는구조체.
[청구항 22]
제20항에 있어서,상기 마스킹 재료층이 산화물,질화물또는산화물과질화물의혼합물포함하는것을특징으로 하는구조체.
[청구항 23]
제20항에 있어서,상기 금속화층이 알루미늄, 알루미늄 합금 또는 반사억제 피복물을 포함한다층구조체포함하는것을특징으로 하는구조체.
[청구항 24]
제20항에 있어서,상기 응용가능한 재료층이 약 200å 내지 500å 범위내의 두께로 형성된텅스텐포함하는것을특징으로 하는구조체.
[청구항 25]
제20항에 있어서,상기 용융가능한 재료층이 약 200å 내지 500å 범위내의 두께로 형성된티타늄텅스텐포함하는것을특징으로 하는구조체.
[청구항 26]
제20항에 있어서,상기 금속화층, 상기 용융가능한 재료층 및 패턴된 마스킹 재료층 사이에 형성된장벽재료층포함하는것을특징으로 하는구조체.
[청구항 27]
제26항에 있어서,상기 마스킹 재료층이 산화물,질화물또는산화물과질화물의혼합물포함하는것을특징으로 하는구조체.
[청구항 28]
제26항에 있어서,상기 금속화층이 알루미늄, 알루미늄 합금 또는 반사억제 피복물을 포함한다층구조체포함하는것을특징으로 하는구조체.
[청구항 29]
제26항에 있어서,상기 용융가능한 재료층이 텅스텐을 포함하고, 상기 장벽 재료층이티타늄텅스텐포함하는것을특징으로 하는구조체.
[청구항 30]
제29항에 있어서,상기 텅스텐층이 약 200å 내지 500å범위의두께형성되어있는것을특징으로 하는구조체.
[청구항 31]
제29항에 있어서,상기 티타늄 텅스텐층이 약 1000å 내지 2000å범위내의두께형성되어있는것을특징으로 하는구조체.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제26항의 구조체에서 장벽재료층이 형성되는 위치와, 제29항에 따라 용융가능한 재료층이 텅스텐이고 장벽재료층이 티타늄 텅스텐일 때 각 층의 두께 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제26항에 따른 장벽재료층의 위치와 제29항의 특정 재료 조건(용융가능한 재료층: 텅스텐, 장벽재료층: 티타늄 텅스텐) 하에서의 각 층 두께를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction제26항에서 장벽재료층은 금속화층, 용융가능한 재료층, 패턴된 마스킹 재료층 사이에 형성됨을 확인하고, 제30항과 제31항에서 각 층의 두께 조건을 추출한다.
- 상기 금속화층, 상기 용융가능한 재료층 및 패턴된 마스킹 재료층 사이에 형성된장벽재료층
- 상기 텅스텐층이 약 200å 내지 500å범위의두께형성되어있는것
- 상기 티타늄 텅스텐층이 약 1000å 내지 2000å범위내의두께형성되어있는것
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3근거 선택
evidence_selection장벽재료층의 위치를 명시한 제26항과 두께 조건을 명시한 제30항, 제31항의 구절을 선택한다.
- 상기 금속화층, 상기 용융가능한 재료층 및 패턴된 마스킹 재료층 사이에 형성된장벽재료층
- 상기 텅스텐층이 약 200å 내지 500å범위의두께형성되어있는것
- 상기 티타늄 텅스텐층이 약 1000å 내지 2000å범위내의두께형성되어있는것
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4논리 통합
logical_integration제26항을 통해 위치를 정의하고, 제29항의 조건이 제30항(텅스텐층 두께)과 제31항(티타늄 텅스텐층 두께)에 연결됨을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation장벽재료층은 금속화층, 용융가능한 재료층, 패턴된 마스킹 재료층 사이에 위치하며, 텅스텐층은 200~500Å, 티타늄 텅스텐층은 1000~2000Å의 두께를 가진다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 명시된 두 가지 요구사항(위치, 두께 조건)을 구조화하여 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
1. 장벽재료층의 위치: 금속화층, 용융가능한 재료층 및 패턴된 마스킹 재료층 사이에 형성된다.
2. 각 층의 두께 조건:
- 용융가능한 재료층(텅스텐): 약 200Å 내지 500Å 범위의 두께
- 장벽재료층(티타늄 텅스텐): 약 1000Å 내지 2000Å 범위 내의 두께
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 금속화층과 마스킹 재료층 사이의 장벽재료층의 위치와, 특정 재료 조합(텅스텐 및 티타늄 텅스텐) 시 각 층의 최적화된 두께 범위를 규정하여 구조체의 특성을 정의한다.