가공데이터 · 특허 지식베이스

집속된 이온 비임을 발생시키는 전하결합 장치 및 이의 제조방법 document_id 1019890700001

출원번호
1019890700001
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,산fib 주입부의 폭이 750-1,500å의근사범위내에있는것을특징으로 하는전하 결합 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,스텝의 폭이 250-500å의근사범위내에있는것을특징으로 하는전하 결합 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,도핑 기울기 방향의 셀의 크기가 약5미크론미만인것을특징으로 하는전하 결합 장치. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,도핑 기울기 방향의 셀의 크기가 약3미크론미만인것을특징으로 하는전하 결합 장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,셀이 fib 주입부로서 제공된 측방향 채널 정지부를포함하는것을특징으로 하는전하 결합 장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,채널 정지부가 실제로 단일 fib화소폭있는것을특징으로 하는전하 결합 장치. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,셀이 fib 주입부로서 제공되고 각각의 셀로부터의 역전하 유동을 저지시키도록 배치된 각각의 저지주입부포함하는것을특징으로 하는전하 결합 장치. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,셀이 fib 주입부로서 제공되고 각각의 셀로부터의 역전하 유동을 저지시키도록 배치된 각각의 저지주입부포함하는것을특징으로 하는전하 결합 장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,저지 주입부가 실제로 단일 fib화소폭있는것을특징으로 하는전하 결합 장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,채널 정지부가 실제로 단일 fib화소폭있는것을특징으로 하는전하 결합 장치. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,저지 주입부가 실제로 단일 fib화소폭있는것을특징으로 하는전하 결합 장치. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,저지 주입부의 폭이 750-1,500å의근사범위내에있는것을특징으로 하는전하 결합 장치. [청구항 30] 제 29 항에 있어서,저지 주입부의 폭이 750-1,500å의근사범위내에있는것을특징으로 하는방법.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
전하 결합 장치에서 역전하 유동을 저지하기 위해 배치되는 저지 주입부의 폭은 어느 범위 내에 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    전하 결합 장치에서 역전하 유동을 저지하는 저지 주입부의 폭 범위를 찾는 것이 과제이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 8 및 9에서 저지 주입부가 역전하 유동을 저지하도록 배치됨을 확인하고, 해당 구성요소의 폭에 관한 청구항을 탐색한다.

    • 각각의 셀로부터의 역전하 유동을 저지시키도록 배치된 각각의 저지주입부
    • 저지 주입부의 폭이 750-1,500å의근사범위내에있는것을특징으로 하는전하 결합 장치
  3. 3근거 선택evidence_selection

    저지 주입부의 폭 수치를 명시하고 있는 청구항 15를 선택한다.

    • 저지 주입부의 폭이 750-1,500å의근사범위내에있는것을특징으로 하는전하 결합 장치
  4. 4논리 통합logical_integration

    청구항 8/9의 저지 주입부 구성과 청구항 15의 폭 수치 조건을 결합하여 질문에 대한 답을 도출한다.

    • 저지 주입부의 폭이 750-1,500å의근사범위내에있는것을특징으로 하는전하 결합 장치
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    저지 주입부의 폭은 750-1,500Å의 근사 범위 내에 있다는 결론을 내린다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 수치 범위를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
750-1,500å의 근사 범위 내
핵심 해석 (core_interpretation)
전하 결합 장치에서 역전하 유동을 방지하기 위해 배치되는 저지 주입부의 물리적 폭을 특정 범위(750-1,500Å)로 제한하여 장치의 특성을 규정한다.