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플라즈마 처리장치 document_id 1019900004987

출원번호
1019900004987
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 이탈력 부여 수단은, 상기 클램핑(50)의 피처리체와 맞닿는면의 일부의 영역에서, 상기 클램핑 부재(50)로부터 이탈시키는 방향의 가하여지는 힘을 상기 피처리체에 항상 부여하는 힘을 가하는 부재구비하는플라즈마 처리장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 힘을 가하는 부재는, 상기 클램핑 부재(50)에 캔틸레버 형상으로 지지된 판스프링(60)의 자유 끝단부구비하는플라즈마 처리장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 클램핑 부재(50)에, 상기 피처리체의 끼움지지 상태에서 상기 판스프링(60)의 상기 자유 끝단부를 수납하기 위한 오목부형성되는플라즈마 처리장치. [청구항 5] 제 2 항에 있어서,상기 힘을 가하는 부재는, 코일 스프링(82)에 착설된 플레이트구비하는플라즈마 처리장치. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 클램핑 부재(50)에, 상기 피처리체(42)의 끼움지지 상태에서 상기 플레이트(80)를 수납하기 위한 오목부형성되는플라즈마 처리장치. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 이탈력 부여 수단은, 상기 클램핑 부재(50)의 피처리체와 맞닿는면의 일부의 영역에서, 상기 클램핑 부재(50)가 상기 얹어놓는대(30)로부터 떨어질때에, 상기 피처리체(42)에 상기 이탈력을 부여하는 밀어내는 부재구비하는플라즈마 처리장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,부재는, 코일 스프링(92)에 착설된 플레이즈(98)를 구비하고, 상기 클램핑 부재(50)에, 상기 피처리체의 끼움지지 상태에서 상기 플레이트(98)를 수납하기 위한 오목부(94)가 형성되며, 상기 피처리체의 끼움지지 상태에서, 상기 피처리체(42)를 밀어내는 상기 플레이트(98)의 부분 이외의 부분이, 상기 얹어놓는대(30)의 주위 부분과 부딪혀서 상기 스프링(92)을 압축시켜서, 상기 피처리체(42)를 밀어내는 상기 플레이트(98)의 부분이 상기 오목부(94)로 들어가고 상기 피처리체(42)와 비접촉 상태되는플라즈마 처리장치. [청구항 9] 제 7 항에 있어서,부재는, 벨로우즈(102)에 착설된 플레이트(100)를 구비하고, 상기 벨로우즈(102)에는 가압공기 공급 튜우브(106)가 접속되며, 상기 클램핑 부재(50)가 상기 얹어놓는대(30)로부터 떨어지는때에, 상기 벨로우즈(102)에 상기 공기가 공급되어 벨로우즈(102)가 늘어나서, 상기 플레이트(100)를 통하여 상기 피처리체밀어내는플라즈마 처리장치. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기 이탈력 부여 수단이 상기 클램핑 부재(50)의 복수장소에 배열설치되는플라즈마 처리장치. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기 클램핑 부재의 상승 속도를 높임으로써, 정전 작용에 의한 피처리체(42)와 클램핑 부재(50)와의 흡착력보다도, 피처리체(42)가 하부전극 위에 남도록 하는관성하는것을더욱 구비하는플라즈마 처리장치. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,대(30)의 윗면이 주위부로 향하여 곡면형상으로 테이퍼형성되는처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 처리장치에서 이탈력 부여 수단이 코일 스프링(92)에 착설된 플레이트(98)를 포함하는 경우, 피처리체(42)가 클램핑 부재(50)와 비접촉 상태가 되도록 하는 메커니즘은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    이탈력 부여 수단이 코일 스프링(92)과 플레이트(98)를 포함할 때, 피처리체(42)가 클램핑 부재(50)와 비접촉 상태가 되는 메커니즘을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 8에서 코일 스프링(92)에 착설된 플레이트(98)와 오목부(94)에 관한 동작 과정을 추출한다.

    • 부재는, 코일 스프링(92)에 착설된 플레이즈(98)를 구비하고, 상기 클램핑 부재(50)에, 상기 피처리체의 끼움지지 상태에서 상기 플레이트(98)를 수납하기 위한 오목부(94)가 형성되며
    • 상기 피처리체의 끼움지지 상태에서, 상기 피처리체(42)를 밀어내는 상기 플레이트(98)의 부분 이외의 부분이, 상기 얹어놓는대(30)의 주위 부분과 부딪혀서 상기 스프링(92)을 압축시켜서, 상기 피처리체(42)를 밀어내는 상기 플레이트(98)의 부분이 상기 오목부(94)로 들어가고 상기 피처리체(42)와 비접촉 상태되는
  3. 3근거 선택evidence_selection

    피처리체가 비접촉 상태가 되는 구체적인 물리적 인과관계가 담긴 구절을 선택한다.

    • 상기 피처리체의 끼움지지 상태에서, 상기 피처리체(42)를 밀어내는 상기 플레이트(98)의 부분 이외의 부분이, 상기 얹어놓는대(30)의 주위 부분과 부딪혀서 상기 스프링(92)을 압축시켜서, 상기 피처리체(42)를 밀어내는 상기 플레이트(98)의 부분이 상기 오목부(94)로 들어가고 상기 피처리체(42)와 비접촉 상태되는
  4. 4논리 통합logical_integration

    플레이트의 일부가 얹어놓는대(30)와 충돌하여 스프링(92)이 압축되면, 플레이트의 밀어내는 부분이 오목부(94)로 들어가면서 피처리체와 분리된다는 논리를 구성한다.

    • 상기 피처리체(42)를 밀어내는 상기 플레이트(98)의 부분 이외의 부분이, 상기 얹어놓는대(30)의 주위 부분과 부딪혀서 상기 스프링(92)을 압축시켜서, 상기 피처리체(42)를 밀어내는 상기 플레이트(98)의 부분이 상기 오목부(94)로 들어가고
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에 대한 답변으로, 플레이트의 일부가 얹어놓는대와 부딪혀 스프링을 압축함으로써 플레이트의 밀어내는 부분이 오목부로 들어가 비접촉 상태가 된다는 결론을 도출한다.

    • 상기 피처리체(42)를 밀어내는 상기 플레이트(98)의 부분이 상기 오목부(94)로 들어가고 상기 피처리체(42)와 비접촉 상태되는
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 메커니즘을 바탕으로 최종 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
피처리체의 끼움지지 상태에서, 피처리체를 밀어내는 플레이트(98)의 부분 이외의 부분이 얹어놓는대(30)의 주위 부분과 부딪혀 코일 스프링(92)을 압축시키고, 이로 인해 피처리체를 밀어내는 플레이트(98)의 부분이 오목부(94) 안으로 들어가면서 피처리체(42)와 비접촉 상태가 된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
플레이트의 일부가 얹어놓는대와 충돌하여 스프링을 압축함으로써, 플레이트의 돌출된 부분이 오목부로 수납되도록 유도하여 피처리체와의 접촉을 해제하는 메커니즘을 제공한다.