문맥 (context)
[청구항 45]
제44항에 있어서,안내링의 치수가 웨이퍼 및 뚜껑과 안내링의 내벽사이의 충분한 간극을 허락하므로 rta동안에웨이퍼의팽창허용되는것을특징으로 하는블랙 박스.
[청구항 46]
제44항에 있어서,상기 블랙 박스 재료는 흑연과 실리콘으로 구성되는그룹선택되는것을특징으로 하는블랙 박스.
[청구항 47]
제44항에 있어서,상기 안내링의 재료는흑연포함하는것을특징으로 하는블랙 박스.
[청구항 48]
제44항에 있어서,안내링과 뚜껑의 재료는흑연포함하는것을특징으로 하는블랙 박스.
[청구항 49]
제44항에 있어서,상기 안내링의 재료는실리콘포함하는것을특징으로 하는블랙 박스.
[청구항 50]
제44항에 있어서,안내링과 뚜껑의 재료는실리콘포함하는것을특징으로 하는블랙 박스.
[청구항 51]
제44항에 있어서,상기 베이스의 재료는실리콘포함하는것을특징으로 하는블랙 박스.
[청구항 52]
제44항에 있어서,상기 블랙 박스 성분의 내부 표면이 캡슐을 싸는 재료층으로캡슐둘러싸는것을특징으로 하는블랙 박스.
[청구항 53]
제52항에 있어서,상기 캡슐을 싸는 재료는 인규산 유리, 붕규산 유리, 바이코르(상품명), 및 sio2로 구성된 그룹으로부터선택되는것을특징으로 하는블랙 박스.
[청구항 54]
제52항에 있어서,캡슐을 싸는 재료는 2 내지 10몰 퍼센트 p2o5를 함유한인규산유리포함하는것을특징으로 하는블랙 박스.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
블랙 박스의 안내링 치수가 웨이퍼 및 뚜껑과 안내링의 내벽 사이에 충분한 간극을 갖도록 설계되었을 때, RTA 과정에서 발생하는 웨이퍼의 물리적 변화는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation안내링의 치수 설계(충분한 간극 확보)가 RTA 과정 중 웨이퍼에 미치는 물리적 변화를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 45에서 안내링의 치수가 웨이퍼와 내벽 사이의 충분한 간극을 허락한다는 내용을 추출한다.
- 안내링의 치수가 웨이퍼 및 뚜껑과 안내링의 내벽사이의 충분한 간극을 허락하므로 rta동안에웨이퍼의팽창허용되는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection간극 확보의 결과로 나타나는 웨이퍼의 물리적 변화인 '웨이퍼의 팽창'을 근거로 선택한다.
- rta동안에웨이퍼의팽창허용되는것을특징으로 하는
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4논리 통합
logical_integration충분한 간극이 존재하기 때문에 RTA 과정에서 발생하는 웨이퍼의 팽창이 허용된다는 인과관계를 파악한다.
- 안내링의 치수가 웨이퍼 및 뚜껑과 안내링의 내벽사이의 충분한 간극을 허락하므로 rta동안에웨이퍼의팽창허용되는것을특징으로 하는
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '웨이퍼의 팽창'을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 문구를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
웨이퍼의 팽창
핵심 해석 (core_interpretation)
안내링의 치수를 조절하여 웨이퍼와 내벽 사이에 충분한 간극을 확보함으로써, RTA 공정 중 발생하는 웨이퍼의 열팽창을 수용할 수 있도록 설계된 기술이다.