에멀젼마스크 등의결함 수정방법 및 장치 document_id 1019900008244

[청구항 17] 제16항에 있어서,광원nan은레이저발진기인것을특징으로 하는에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 레이저발진기(1)는 엑시머레이지발진기인것을특징으로 하는에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치. [청구항 19] 제17항에 있어서,상기 레이저발진기(1)는 yag레이저인것을특징으로 하는에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치. [청구항 20] 제17항에 있어서,레이저빔이 개공부(5,5x)를 통과하기 전에 레이저빔(2)을 확대시키는빔익스팬더더포함하는것을특징으로 하는에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치. [청구항 21] 제16항에 있어서,외광을 투영하는 렌즈는결상렌즈인것을특징으로 하는에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치. [청구항 22] 제16항에 있어서,결함부를 관찰하는 관찰렌즈(30)와, 모니터 스크린(42)의 관찰렌즈를 통과하는 결함부의 상을 표시하는 텔레비젼카메라(31)를 더 포함하며, 상기 관찰렌즈와 상기 카메라는 상기 렌즈(6)와 측상에서 에멀젼마스크(7)에 대해서 에멀젼층(14)과 반대편에 배설되어 에멀젼층에 자외광투영하는것을특징으로 하는에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치. [청구항 23] 제16항에 있어서,상기 개공형성부(5)는 상호간에 겹쳐서 배설되는 복수개의 블레이드(5a,5b,5c,5d)를 구비하며, 각 블레이드의 에지에 의해 개공(5x)를 형성하고, 상기 블레이드는 개공의 형상을 변화시키도록위치조정가능한것을특징으로 하는에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치. [청구항 24] 제23항에 있어서,상기 블레이드(5a,5b,5c,5d)는 전진 후진동작 및 회전동작이 가능하도록지지되는것을특징으로 하는에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치. [청구항 25] 제23항에 있어서,상기 블레이드(5a,5b,5c,5d)의 에지는직선형상인것을특징으로 하는에멀젼마스크등의 에멀젼층의 결함 수정장치. [청구항 26] 제23항에 있어서,블레이드의 에지의 일부(5a′,5b′)는 개공이 원호형 윤곽을 이루도록 상호 작용하는 반원형 절결(35)과반원형돌기갖는것을특징으로 하는에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치. [청구항 27] 제16항에 있어서,상기 개공형성부는 회전가능한 개공테이블 (50)과, 이 테이블에 배설되어 투과광부(60,61)를 갖는 제1개공블레이드(51)와, 제1개공블레이드에 겹쳐서 배설되고, 차광부(63,64) 및 투과광부(62)를 갖는 제2개공블레이드(52)와, 각 개공블레이드가 상호 이동가능하도록 하는위치조정기구이루어진것을특징으로 하는에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치. [청구항 28] 제16항에 있어서,젼층(14)에 형성된 상을 관찰하는광학계더포함하는것을특징으로 하는에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치. [청구항 29] 제16항에 있어서,결함부에 맞추어진 개공(5x)의 위치를 검지하는 위치검지기(43)와, 상기 위치검지기(43)에 대응하여 상기 개공 형상에 따라 헤어라인화상을 형성하는 헤어라인화상발생기(44)와, 에멀젼층(14)의 결함부(d)를 관찰하여 결함부의 영상신호를 발생하는 텔레비젼카메라(31)와, 상기 헤어라인화상과 상기 영상신호를 합성하여 모니터스크린(42)에 함께 표시하도록 하는 수퍼임포저더포함하는것을특징으로 하는에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치. [청구항 30] 제16항에 있어서,에어를 분사하여 파괴된 결함 입자를 날려 버리는에어분사노즐더포함하는것을특징으로 하는에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치. [청구항 31] 제16항에 있어서,파괴된 결함 입자를 흡인하여 제거하는에어흡인노즐더포함하는것을특징으로 하는에멀젼마스크 등의 에멀젼층의 결함 수정장치.