비임의 편향방법 및 편향장치 document_id 1019900014017

[청구항 11] 제10항에 있어서,상기 비임 궤도(3)용 상기 영역과 관련하여 이와관련하여 적어도 대칭적이고 상기 편향 전극 장치와 동일한 쪽으로 이동디고, 적어도 한쌍의 자기보상 자극이 제공되고, 상기 자극보상자극의 거리는 상기 편향 자극사이의 거리보다 짧고, 상기 편향자극사이의 거리의 절반보다 짧은 것이 바람직하고, 이 보다 더 짧은 것이 특히 바람직하며, 보상자극은 상기 편향자계의 성분과 동일방향의 상기 제1방향을 갖는 자계벡터성분을 발생하고, 상기 보상자계의 선속은 상기 편향자계의 선속과 동일하게있는것을특징으로하는장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 자극들은 영구자석 및/또는전자석장치자극인것을특징으로하는장치. [청구항 13] 제11항 또는 제12항에 있어서,자극들은 저자석자극으로 구성되어 있고, 각 전자석은 직력접속된 코일에 의해서로구동종속되는것을특징으로 하는장치. [청구항 14] 제10항 내지 제13항중의 한항에 있어서,편향자계용 자극(1, 1a)은 u형으로 배치된 한쌍의 극편의 가장자리면에 의해 성형되고, 비임 궤도용 영역이 거기에 대칭적으로 제공되고 상기 가장자리면에 의해 한정된 연결면 외측의 편향영역을 따라서주행하는것을특징으로하는장치. [청구항 15] 제10항 내지 제14항중의 한항에 있어서,편향제어장치(21)가 상기 편향자계()이 방향으로 상기 비임의 위치를 제어가능하게 변경하도록제공된것을특징으로 하는장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,굴곡제어장치는 상기 비임궤도(3)용 상기 영역의 양측면상에 적어도 하나 바람직하게는 2개의 자기 다이포울장치(21)로 구성되고, 그 축선은 상기 편향자계의 방향에 적어도거의수직배치된것을특징으로 하는장치. [청구항 17] 제14항 및 제16항에 있어서,상기 편향다이포울은 상기 극편(5)의 평면에 평행하게 배치되고 그와 일체로 된것바람직한것을특징으로 하는장치. [청구항 18] 제16항 또는 제17항중의 한항에 있어서,상기 편향 다이포울은 전자석 다이포울 및/또는영구자석다이포울구성된것을특징으로하는장치. [청구항 19] 제10항 내지 제18항중의 한항에 있어서,상기 비임(3)용초점제어장치제공된것을특징으로 하는장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 초점제어장치는 상기 비임 궤도(3)용 상기 영역의 양측상의 초점다이포울장치(23)로 구성되고, 그 축선은 상기 편향자계의 방향에 수직이며 상기 초점제어장치는 웨넬트전극장치구성된것을특징으로하는장치. [청구항 21] 제14항 및 제20항에 있어서,초점다이포울은 상기 극편에 평행하게 배치되고 이와 일체로 성형되는 것바람직한것을특징으로 하는장치. [청구항 22] 제10항 및 제21항중의 한항에 있어서,상기 자극장치의 적어도 일부는 이녹스와 같은 낮은 자기전도도를 갖는 재료내에 설치되며 자기적으로 또한 전기적으로 낮은 콘덕턴스를 갖는 재료내에 설치되는 것바람직한것을특징으로 하는장치. [청구항 23] 제20항 및 제22항중의 한항에 있어서,초점다이포울은 영구자석 다이포울 및/또는전자석다이포울구성된것을특징으로하는장치. [청구항 25] 제24항에 있어서,상기 장착장치는 장착타켓수단이 상기 극편외측으로 배치되도록배치된것을특징으로하는장치. [청구항 26] 제10항 내지 제23항중의 적어도 어느 한항에 있어서,제24항 또는 제25항중의 한항에 따른장치결합되는것을특징으로하는장치. [청구항 30] 제10항 내지 제26항중의 한항에 따른 장치에서 단극대전 입자의 비임이 가격하는 타켓의 위치 및/또는 표면범위를 제어하는 방법에 있어서,위치및/또는 범위를 khz-영역까지의웨블주파수로떨리는것을특징으로하는방법.