전자비임 노광장치 및 그를 사용하는 노광방법 document_id 1019900015689

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 제어수단은 상기 마스크 플레이트상에 제공된 각 패턴의 개구형상에 따라 상기 조정의 촛점 조정조건 데이타를 기억하는 기억수단과, 상기 선택된 패턴 형상과 상기 선택된 패턴형상을 나타내는 식별번호에 따라 상기 기억수단으로부터 적어도 하나의 상기 소정의 촛점 조정 조건 데이타를 선택하는선택수단더포함하는것특징인전자 비임 노광장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 촛점 조정수단은 상기 마스크 플레이트상에 제공된 형상을 갖는 패턴의 개구의 횡단면적을 측정하는 측정수단과, 측정된 패턴의 상기 횡단면적과 상기 장방형 형상의 개구의 횡단면적을 일치 시키도록 가변 장방형 생성수단을 조정하는 횡단면적 조정수단과, 상기 패턴의 상기 개수의 면적에 대응하는 횡단면적을 가지며 또한 상기 가변장방형 형상 생성수단에 의해 형성되는 상기 장방형 형상 개구에 관해 상기 촛점 조정 조건 데이타를 처리하여 구하는 처리수단과, 그리고 상기 구해낸 촛점 조정 조건 데이타를 상기 기억수단으로 전달하는전달수단더포함하는것특징인전자비임 노광장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 제어수단은 상기 마스크 플레이트상의 각 패턴의 개구면적과 각 패턴의 각 촛점 조정 조건 데이타간의 관계를 나타내는기능포함하는것특징인전자비임 노광장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 기억수단은 상기 마스크 플레이트상에 제공된 각 형상을 갖는 패턴 각각의 복수의 개구들에 관한정보 또는 그의 식별 심볼과 사용될 상기 패턴들의 상기 개구들 각각에 필요한 상기 촛점 조정 조건 데이타를 포함하는테이블더포함하는것특징인전자비임 노광장치. [청구항 6] 제3항에 있어서,상기 촛점 조정 수단은 상기 샘플 고정수단상의 샘플상에 세트된 바와같은 상기 촛점이 최상의 촛점에 위치하는지를 판정하는판정수단더갖는것특징인전자비임 노광장치. [청구항 7] 제3항에 있어서,상기 촛점 조정수단은 상기 장치의 중심으로부터 상기 비임의 편치량을 판정하는판정수단더갖는것특징인전자비임 노광장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 비임축 편차 조정수단을 제어하는 상기 제어수단은 상기 편차를 조정하기 위한 소정의 조정 데이타를 기억하는 기억수단과, 상기 장치의 상기 축으로부터 상기 편차를 측정하는 측정수단과, 그리고 상기 비임축 편차 조정수단에서 상기 비임의 상기 편차 조정을 위해 사용되는 제어데이타를 생성하도록 기억된 조정 데이타로서 측정된 상기 편차 데이타를 처리하는처리수단포함하는것특징인전자비임 노광장치. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 비임축 편차 조정 수단은 패턴들의 복수의 개구들중 하나에 대한 상기 촛점 조정수단에 의해 판정되는 상기 촛점 조정 조건 데이타를 고려하여 상기 편차를 조정하기 위한 제어데이타를 생성시키도록 상기 측정된 편차 데이타를 처리하는처리수단포함하는것특징인전자비임 노광장치. [청구항 12] 제9항에 있어서,상기 장치는 적어도 2기억 수단을 더 구비하며, 하나는 상기 패턴들 각각에 대한 상기 축 편차 조정 데이타에 관한 정보를 기억하기 위한 것이고, 다른 하나는 상기 패턴들 각각에 대한 상기 촛점 조정 데이타에 관한정보기억하기위한것특징인전자비임 노광장치.