종형 열처리 장치 및 종형 확산처리 장치 document_id 1019910004335

[청구항 2] 제1항에 있어서,간극의 상기 한쪽끝단부가 아래쪽 끝단부이고, 상기 다른쪽 끝단부가 위쪽 끝단부인종형 열처리 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,확산구멍(23), (33), (45)이 상기 반응 튜우브(11)의 횡단면의 중심에 대하여, 실질적으로 점대칭배치되는종형 열처리 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,확산판(22), (32), (44)이 그의 중앙에 폐쇄부분가지는종형 열처리 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,바깥 튜우브(12)와 상기 확산판(22), (32), (44)과의 사이에, 상기 공급가스가 체류 하도록 큰 용적 부분형성되는종형 열처리 장치. [청구항 6] 제2항에 있어서,확산판(22), (32), (44)이 상기 반응 튜우브(11)의정상부규정하는수단인종형 열처리 장치 [청구항 7] 제2항에 있어서,확산판(22), (32), (44)이 상기 반응 튜우브(11)의 정상부 보다도 아래쪽에 배치되어, 상기 정상부에는 상기 공급가스 통과용의 개구형성되는종형 열처리 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 가스흐름안내수단은, 간극이 나선형상의 간막이 수단에 간막이 되어, 상기 공급가스 예열용통로(13)가 상기 가스공급수단에서 상기 확산판(22), (32), (44)까지 나선형상형성되는종형 열처리 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,간막이 수단이 석영제의 봉체로 이루어진종형 열처리 장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 가스흐름안내수단은, 공급가스가 상기 반응 튜우브(11)의 바깥둘레 전역에 걸쳐서 대체로 균일하게 분배 되도록, 상기 가스공급수단의 근방에서, 상기 간극에, 분배수단이 배열형성되는종형 열처리 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,분배수단이, 상기 간극을 간막이 또는 복수의 가스분배구멍(61a) 내지 (61e)를 가지는 분배링(61)이고, 상기 링(61)의 단위길이당 상기 분배구멍(61a) 내지 (61e)의 개구면적이, 상기 가스공급수단에 가가워되는종형 열처리 장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,분배구멍(61a) 내지 (61e)이, 상기 가스공급수단을 중심으로 하여, 형상적으로 대칭이 되도록 배열형성되는종형 열처리 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,분배링(61)이 석영제인종형 열처리 장치.