피복두께의 균일성, 스텝 커버리지 및 스텝 커버리지의 균일성을 만드는 평탄 마그네트론 스퍼터링 공급원 document_id 1019910004982

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 틈(912,1505)은 일정한폭가지는것을특징으로하는스퍼터링 시스템. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 극부는 상기 틈(1505)의 폭과 같은 폭이 되도록 강자성재료 박판 및 절단부(1504)로 밀링함형성되는것을특징으로 하는스퍼터링 시스템. [청구항 4] 제1항상기 틈(912,15005)은 상기 회전축 a을 가로질러, 상기 웨이퍼(42)의 중심이많이스퍼터링하는것을특징으로 하는스퍼터링 시스템. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 틈(912)의 형상은 폐쇄형 경로를 형성하도록 일련으로 연결된, 일정 곡률반경의 다수의 아아크세트, 바람직하게4개세트로이루어지는것을특징으로 하는스퍼터링 시스템. [청구항 6] 제5항에 있어서,반경r1 및 아아크길이 l을 가진 상기 아아크세트중 상기 제1아아크는 축 a상에 중심이 있고, 다른 아아크들은 축 a을 중심으로 반경 r1 내에 존재하여, 스퍼터링 된 그루브가 상기 제1아아크의 아아크길이에 비례하는 깊이를 가지는타켓형성되는것을특징으로 하는스퍼터링 시스템. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기제1아아크는 r1 보다 작은 거리 δ 만큼 오프셋된 중심점을 가지고 있어, 상기 아아크는 약 r1 - δ 내지 r1 +δ까지의 범위에 걸쳐 회전축으로부터의 거리내에 배열된 점들을 가져, 타켓에 형성된관련그루브넓히는것을특징으로 하는스퍼터링 시스템. [청구항 8] 제5항에 있어서,상기 4개의 각 아아크는 서로 관련된 곡률반경을 가지며 이들 4개의 아아크 반경은 웨이퍼위의 스퍼터된 피복의 증착 균일성을 최적합하도록선택되는것을특징으로 하는스퍼터링 시스템. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 웨이퍼반경rw에 대한 타켓 반경 rt 의 비는 상기 웨이퍼 전체에 걸쳐 증착된 피복 두께 균일성을 최적합하도록선택되는것을특징으로 하는스퍼터링 시스템 [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 강자성 외극부(1502)는 단면에 있어서 사발형이고 림(1509)을 가지며, 상기 림은 내극부(1501)와 동일평면에 있고 내극부 및 외극부 사이에 틈을 만들기 위해내극부둘러싸는것을특징으로 하는스퍼터링 시스템. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 틈은 양단부에 연결된3개또는1쌍의비교차부분나사선용수철의형상가지는것을특징으로 하는스퍼터링 시스템. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 틈 사이에 자장을 생성시키는 상기 수단은 하나 이상의 희토류 자석을 포함하여, 트래핑의 효울이 증가되도록 하거나, 또는 상기 틈 사이에 자장을 생성시키는 수단은 하나 이상의 바아자석을 포함하여, 증가된 밀도의 자기 재료가극부들사이생성되도록하는것을특징으로 하는스퍼터링 시스템. [청구항 13] 제10항에 있어서,자장을 생성시키는 상기 수단(1503)을 중심으로 수밀 밀폐부를 형성하도록 외극부에 부착되는 면판(1551)을추가포함하는것을특징으로 하는스퍼터링 시스템.