복수전극을 갖는 탄성표면파(SAW)소자 및 그의 제조방법 document_id 1019910005777

[청구항 1] 압전물질로 구성되고, 상부주표면과 하부 주표면을 갖으며, 상기 상부 주표면의 일정방향으로 전파하는 탄성표면파의 통로(ch)를 제공하는 기판(51)과 상기 압전체기판의 상부주표면상에 설치되어 탄성표면파의 통로에 대응하는 로우를 형성하는 복수의 교차지전극(71,72)을 구비하며 상기 복수의 교차지 전극들은 상기 탄성 표면파의 전파방향으로 로우형으로 배치돼 있고, 상기 복수의 교차지 전극 각각은 외부 전기 접속을 위하여 상기 기판의 상부주표면상에 설치된 본팅패드(78,78′)에 공통 접속돼 있고, 기판의 상부 주표면에 포함되며 상기 탄성 표면파의 통로에 교차되는 방향으로 서로 평행으로 뻗은 복수의 횡거전극(f 1 -f n gfs 6;1-g n )을 갖는 제1부분(el1, el1′)과, 상기 제 1 부분으로부터 분리돼 있고, 상기 제 1 부분의 횡거 전극들의 방향의 반대방향을 서로 평행으로 뻗은 복수의 휭거전극들을 갖는 제 2 부분을 포함하고 있으며 상기 제 1 부분의 상기 횡거전극과 상기 제 2 부분의 상기 휭거전극은, 상기 탄성표면파의 전파방향에서 관찰할 때, 대향하는 휭거전극과 오우버랩된 상태로 상기 탄성표면파의 전파방향으로 교호로 반복 배치되어, 대향하는 휭거전극들이 탄성표면파의 통로를 한정하도록 상기 제1 부분과 제 2 부분이 상기 각각의 교차지 전극내에 배치되어 있으며 상기 기판의 상부표면상에 상기 탄성표면파의 로(ch)로 부터 벗어난 영역에 대응하여 배선패턴(54)이 설치되어 인접하는 교차지 전극들을 서로 접속한 것이 특징을 복수전극을 갖는 탄성 표면파소자 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 기판의 상부 주표면상에 각각의 교차지 전극(71,72)에 대응하여 복수의 접지 접속패드(77,77′)가 설치돼 있고, 각각의 교차지전극의 상기 제 2 부분(el2, el2′)이 대응하는 접지 접속 패드에 접속된 것이 특징인 복수 전극갖는탄성표면파 소자. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 교차시 전극의 로우가, 상기 탄성표면파의 통로를 따라 배치된 복수의 입력용 교차지전극(71)과 복수의 출력용 교차지 전극(72)을 포함하고 있고, 상기 본딩패드(78,78′)가, 상기 기판의 상부 주표면상에 간격을 두고 배치된 입력용 본딩 패드(78)와 출력용 본딩패드(78′)를 포함하고 있고, 상기 입력용 교차지 전극들의 상기 제 1 부분(el1)이 상기 입력용 본딩패드에 공통 접속돼 있고 상기 출력용 교차지 전극들의 상기 제 1 부분(el1′)이 상기 출력용 본딩 패드에 공통 접속된 것이 특징인 복수전극갖는탄성 표면과 소자. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 입력용 교처지 전극(71)의 제 1 부분(el1) 내의 상기 휭거전극들(f1-fn)이, 탄성표면파의 전파방향에 실징상 수직인 제 1 방향으로 뻗어있고, 상기 입력용 교차지 전극의 제 2 부분(el2)내의 상기 휭거 전극들 (g1-gn)이 상기 제 1 방향과 반대방향인 제 2 방향으로 뻗어있고, 상기 출력용 교차지 전극(72)의 제 2 부분(el2′)내의 상기 휭거 전극들(g1-gn)이 상기 제 2 방향으로 뻗어있고, 상기 출력을 교차지 전극(72)의 제 2 부분(el2′)내의 상기 휭거 전극들(g1-gn)이 상기 제 1 방향으로 뻗어있는 것이 특징인 복수 전극갖는탄성표면과 소자. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 배선패턴(54)이, 타성표면파 전파방향에서 관찰시, 상기 입력용 교차시 전극(71)의 최외측에 위치된 제 2 부분(el2)의 휭거전극(g1-gn)을 탄성표면파 진행 방향에서 관찰시, 인접한 출력용 교차지전극(72)의 최외측에 배치된 제 2 부분(el2′)의 대향 휭거전극(g1-gn)을 접속하도록설치된것특징인탄성표면파 소자. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 배선패턴(54)의 양측이 탄성표면파의 통로(ach)와 평행하게 뻗어 설치된 것이 특징인 복수전극갖는탄성 표면파 소자. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,탄성표면파 전파방향에서 관찰시, 상기 기판(51)의 상부주표면상에 상기 교차지 전극(71,72)로우의 양측에 한쌍의 반사기(75)를 더 구비하며, 상기 반사기 각각은; 서로 평행으로 뻗어서 탄성표면파의 통로와 교차되는 복수의 휭거전극을 갖는 제 1 부분(el1)과, 상기 제 1 부분의 휭거 전극들과 반대방향으로 서로 평행하게 뻗어서 탄성표면파의 통로와 교차된 보수의 휭거전극을 갖는 제 2 부분(el2)을 포함하고 있고, 상기 제 1 부분의 휭거들과 상기 제 2 부분의 휭거들이 탄성표면파의 전파방향으로 교호로 반복되고, 상기 제 1 부분이, 상기 기판의 상부 주표면상에 설치된 배선패턴을 통하여 상기 교차지 전극(71,72)의 제 2 부분(el2, el2′)에 접속되어, 탄성표면파의 통로로부터 배제되도록, 상기 제 1 부분과 제 2부분이 배치된 것이 특징인 복수전극갖는탄성표면파 소자. [청구항 12] 제 11항에 있어서,상기 기판(51)의 상부 주표면을 피복하는 공정에서, 상기 기판의 측벽과 상부주표면과 대향된 기판의 하부 주표면이 도체막(50a,50b)에 의해 피복되어, 이 도체막이 기판의 상부주표면상에 잔존된 상기 도체막(50)에 전기적으로 접속되도록 하고, 상기 패터닝공정은 상기 기판의 상기 측벽과 하부주표면이 패턴되지 않고 잔존하도록 행하는 것이 특징인 복수전극갖는탄성표면파소자의 제조방법.